Deposition of Al-doped and Al, Sc-co-doped zinc oxide films by RF- and DC-sputtering of the ZnO and Al-xSc (x=0, 0.4, 0.8 and 1.7 wt.%) targets

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題名:	Deposition of Al-doped and Al, Sc-co-doped zinc oxide films by RF- and DC-sputtering of the ZnO and Al-xSc (x=0, 0.4, 0.8 and 1.7 wt.%) targets
作者:	Lin,Jing-Chie;Peng,Kun-Cheng;Tseng,C. A.;Lee,Sheng-Long
貢獻者:	材料科學與工程研究所
關鍵詞:	HIGHLY TRANSPARENT;OPTICAL-PROPERTIES;MAGNETRON
日期:	2008
上傳時間:	2010-07-06 15:57:31 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	Innovative films ZnO: Al-xSc (in which x = 0, 0.4, 0.8 and 1.7 wt.%) were prepared through RF-sputtering on the ZnO target and DC-sputtering on the Al-xSc alloy targets. X-ray diffraction (XRD) of the films displayed a hexagonal wurtzite textured at (002)
關聯:	SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY????
顯示於類別:	[材料科學與工程研究所 ] 期刊論文

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