Optimization of wear-corrosion properties of a-C : N films using filtered cathodic arc deposition

NCU Institutional Repository > 工學院 > 機械工程研究所 > 期刊論文 > Item 987654321/30353

請使用永久網址來引用或連結此文件: http://ir.lib.ncu.edu.tw/handle/987654321/30353

題名:	Optimization of wear-corrosion properties of a-C : N films using filtered cathodic arc deposition
作者:	Tan,A. H.;Cheng,Y. C.
貢獻者:	機械工程研究所
關鍵詞:	DIAMOND-LIKE CARBON;CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION;AMORPHOUS-CARBON;NITRIDE FILMS;VACUUM-ARC;MECHANICAL-PROPERTIES;PLASMA SYSTEM;DLC COATINGS;BIAS VOLTAGE;EMISSION
日期:	2008
上傳時間:	2010-07-06 16:17:32 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	Applying a 4-factor (negative substrate bias voltage, arc current, Ar flow and N-2/Ar ratio) 3-level (L9) orthogonal array design using the Taguchi method to optimize the wear-corrosion properties of a-C:N in Filtered Cathodic Vacuum Arc (FCVA) deposition
關聯:	DIAMOND AND RELATED MATERIALS????
顯示於類別:	[機械工程研究所] 期刊論文

文件中的檔案:

檔案	描述	大小	格式	瀏覽次數
index.html		0Kb	HTML	280	檢視/開啟

在NCUIR中所有的資料項目都受到原著作權保護.

社群 sharing