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    题名: Reflection type heterodyne grating interferometry for in-plane displacement measurement
    作者: Hsu,Cheng-Chih;Wu,Chyan-Chyi;Lee,Ju-Yi;Chen,Hui-Yi;Weng,Han-Fu
    贡献者: 光機電工程研究所
    关键词: HIGH-RESOLUTION;UNCERTAINTY
    日期: 2008
    上传时间: 2010-07-08 09:43:19 (UTC+8)
    出版者: 中央大學
    摘要: A novel method is presented for one-dimensional (I-D) and two-dimensional (2-D) in-plane displacements measurement that is based on the heterodyne grating interferometry. The novel setup of the optical configuration reduces the airstreams disturbance and
    關聯: OPTICS COMMUNICATIONS
    显示于类别:[光機電工程研究所 ] 期刊論文

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