Fabrication of long hexagonal micro-lens array by applying gray-scale lithography in micro-replication process

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題名:	Fabrication of long hexagonal micro-lens array by applying gray-scale lithography in micro-replication process
作者:	Yang,Jauh-Jung;Liao,Yunn-Shiuan;Chen,Chi-Feng
貢獻者:	光機電工程研究所
關鍵詞:	DIFFRACTIVE OPTICAL-ELEMENTS;MASK;GLASS
日期:	2007
上傳時間:	2010-07-08 09:43:21 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	A hexagonal micro-lens (HML) array with long aspect ratio of 3.3:1 designed for beam shaping was fabricated by applying gray-scale lithography in micro-replication process. The gray-scale lithography process was employed in this study to obtain unity curv
關聯:	OPTICS COMMUNICATIONS
顯示於類別:	[光機電工程研究所 ] 期刊論文

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