非各向同性薄膜光學常數之量測

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Title:	非各向同性薄膜光學常數之量測
Authors:	呂建民;Jing-Ming Lu
Contributors:	光電科學研究所
Keywords:	非各向同性
Date:	2000-06-29
Issue Date:	2009-09-22 10:23:56 (UTC+8)
Publisher:	國立中央大學圖書館
Abstract:	傳統光學濾光片的製作與設計，其理論大多是假設每一層薄膜的折射率為定值且為各向同性。然而，由於薄膜沈積分子或原子的低動能，在基板表面沈積時的移動力有限，通常慣用的電子束蒸鍍之薄膜呈現著柱狀結構。柱狀結構會使得膜層呈現非各向同性的現象，亦即膜層因光之入射角不同可解析成三種折射率。本文利用非各向同性薄膜其反射率與穿透率的特性，計算出反射率或穿透率和膜層光學常數的關係，這些光學常數包括主軸折射率、柱狀結構之傾斜角、膜層厚度。蒸鍍TiO2與ZrO2並利用所推導之關係式，由反射率求出主軸折射率、柱狀結構之傾斜角、膜層厚度。 none
Appears in Collections:	[Graduate Institute of Optics and Photonics] Electronic Thesis & Dissertation

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