透明導電氧化物應用在氮化鎵蕭基二極體之研究; Conductive transparent oxide applied to GaN Schottky barrier diodes

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Title:	透明導電氧化物應用在氮化鎵蕭基二極體之研究;Conductive transparent oxide applied to GaN Schottky barrier diodes
Authors:	林仕尉;Shin-Wei Lin
Contributors:	光電科學研究所
Keywords:	氮化鎵;蕭特基;透明導電氧化層;半導體;semiconductor;schottky;ITO;GaN;AZO
Date:	2005-06-29
Issue Date:	2009-09-22 10:30:29 (UTC+8)
Publisher:	國立中央大學圖書館
Abstract:	本實驗研究以氧化銦錫（ITO）、氧化鋅鋁（AZO）做為蕭特基接觸金屬，濺鍍於氮化鎵蕭特基二極體之光偵測器。而利用氧化銦錫當作透明導電膜的研究已有相當的瞭解，本論文改為利用氧化鋅鋁薄膜當作蕭S基接觸的薄膜。對於氧化鋅鋁的薄膜做過一連串的電性、光性及結構分析，找出氧化鋅鋁在不同的溫度下的電阻率及穿透率；進而製作在氮化鎵上當作光偵測器，量測的部分包括了元件的蕭特基能障高度、暗電流、照光電流響應及光頻譜響應。期望氧化鋅鋁薄膜在360nm的高穿透率，可以提高元件的光響應度。
Appears in Collections:	[Graduate Institute of Optics and Photonics] Electronic Thesis & Dissertation

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