標準晶圓製程下之微共振腔整合設計;Process Integration for Design Ideality of Waveguide-Based Resonators

NCU Institutional Repository > 理學院 > 光電科學與工程學系 > 研究計畫 > Item 987654321/88698

jsp.display-item.identifier=請使用永久網址來引用或連結此文件: http://ir.lib.ncu.edu.tw/handle/987654321/88698

题名:	標準晶圓製程下之微共振腔整合設計;Process Integration for Design Ideality of Waveguide-Based Resonators
作者:	國立中央大學光電科學與工程學系
贡献者:	國立中央大學光電科學與工程學系
关键词:	微共振腔;製程整合;雷射耦合;波導設計;Microresonator;silicon photonics;process integration;laser coupling;waveguide design
日期:	2022-07-26
上传时间:	2022-07-27 10:45:08 (UTC+8)
出版者:	科技部
摘要:	矽光子晶片已被廣泛應用於高速計算，高頻通訊以及晶片實驗感測上。利用現今成熟的金氧半導體製程，我們可以應用各種介電材料製作波導晶片，並達到小尺寸、低成本、快速大量生產、高良率的特性。本計畫將以矽光子晶片及半導體製程技術為基礎，建立更有彈性的製程方式以減少製程的困難度，同時達到高素質共振腔的要求。利用紫外光步進機做為曝光及圖案化波導之光源。配合優先蝕刻光纖凹槽的方式，預期可以降低過去製作光纖凹槽時的蝕刻複雜度，並和前端製程及光罩做結合，降低其成本。同時減少高應力沉積所造成的波導缺陷。第二部分將利用300~400 nm 單邊漸進奈米波導增加共振腔和波導之耦合程度。並討論氮化鎵波導之製程整合可行性。
關聯:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
显示于类别:	[光電科學與工程學系] 研究計畫

文件中的档案:

档案	描述	大小	格式	浏览次数
index.html		0Kb	HTML	57	检视/开启

在NCUIR中所有的数据项都受到原著作权保护.

社群 sharing