新型雙紐線AFM掃描軌跡之設計與控制;Design and Control of a Novel Lemniscate Afm Scanning Trajectory

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题名:	新型雙紐線AFM掃描軌跡之設計與控制;Design and Control of a Novel Lemniscate Afm Scanning Trajectory
作者:	國立中央大學電機工程學系
贡献者:	國立中央大學電機工程學系
关键词:	原子力顯微鏡;新型雙紐線掃描軌跡;映射誤差;掃描器機構振動;進階控制器;Atomic Force microscopy;Novel Lemniscate Scanning trajectory;Mapping Error;Scanner Mechanism Vibration;Advanced Controller
日期:	2022-07-26
上传时间:	2022-07-27 11:33:32 (UTC+8)
出版者:	科技部
摘要:	原子力顯微鏡(AFM)是一種奈米級的量測儀器，它已被廣泛應用於生物醫學、半導體產業與材料科學等領域，本研究計畫將針對AFM的掃描軌跡與控制方法加以改善，所提出之研究方法，與目前存在的技術相比具有其創新性，方法的使用預期可以有效地提高AFM掃描器的成像速度與精確度，在不需要改變AFM硬體架構下，皆可以應用。相信本研究計畫的執行，對於國內奈米量測技術的提升、控制研發人才的培育、以及國家生物醫學與高科技產業皆有不錯的實質助益。
關聯:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
显示于类别:	[電機工程學系] 研究計畫

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