新穎可撓曲金屬奈米粒子/多孔隙矽晶奈米線微型散熱元件之製備及其散熱性能分析;Fabrication of Novel Flexible Metal Nanoparticles/Porous Si Nanowires Micro-Heat Sinks and Their Heat Dissipation Properties

NCU Institutional Repository > 工學院 > 化學工程與材料工程學系 > 研究計畫 > Item 987654321/91048

jsp.display-item.identifier=請使用永久網址來引用或連結此文件: http://ir.lib.ncu.edu.tw/handle/987654321/91048

题名:	新穎可撓曲金屬奈米粒子/多孔隙矽晶奈米線微型散熱元件之製備及其散熱性能分析;Fabrication of Novel Flexible Metal Nanoparticles/Porous Si Nanowires Micro-Heat Sinks and Their Heat Dissipation Properties
作者:	鄭紹良
贡献者:	國立中央大學化學工程與材料工程學系
关键词:	可撓曲微型散熱器;金屬催化蝕刻;多孔隙矽晶奈米線;垂直轉附;無電鍍金屬奈米粒子;flexible micro-heat sink;metal-catalyzed etching;porous Si nanowire;vertical transfer;electroless metal nanoparticles
日期:	2023-07-17
上传时间:	2024-09-18 14:11:28 (UTC+8)
出版者:	國家科學及技術委員會
摘要:	本計畫所研發新穎貴金屬催化橫向蝕刻矽晶結合垂直轉附技術，可提供學、研單位在其所需材質可撓曲軟板上快速製備各式準直排列矽基微奈米線陣列，有助加速對新元件結構之製程開發。本計畫所設計製備之各式新穎可撓曲且具高長寬比、高比表面積、高散熱效率之矽晶微型散熱元件及其製程技術，不僅可做微區散熱管理之基礎學術研究，未來在先進可撓曲矽基感測元件、穿戴式奈米電子元件等產業領域上，可預期也將具有很大的應用潛力。
關聯:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
显示于类别:	[化學工程與材料工程學系 ] 研究計畫

文件中的档案:

档案	描述	大小	格式	浏览次数
index.html		0Kb	HTML	5	检视/开启

在NCUIR中所有的数据项都受到原著作权保护.

社群 sharing