矽光晶元件玻璃基板之整合應用;Photonics Integration on the Glass Substrate

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Title:	矽光晶元件玻璃基板之整合應用;Photonics Integration on the Glass Substrate
Authors:	王培勳
Contributors:	國立中央大學光電科學與工程學系
Keywords:	微調變器;製程整合;玻璃基板;感光聚醯亞胺波導;光纖-整合波導耦合;Microresonator;process integration;glass substrate;PSPI waveguide;fiber-to-waveguide coupling
Date:	2023-07-17
Issue Date:	2024-09-18 14:16:54 (UTC+8)
Publisher:	國家科學及技術委員會
Abstract:	矽光子波導技術結合半導體製程可將光波導整合微晶片上，提供可大量製作，低成本，高良率，可和成熟的金氧半導體(CMOS)製程通用、以及微型化之光學功能性。積體光路(PIC)也被視為下一世代的技術平台。而在過去矽光子波導主要的架構在於在矽基板上利用CMOS技術產生波導結構並利用全反射的特性藉以侷限光波能量於波導核內。然而在玻璃基板的利用及矽光晶製程則相對有限。本計畫將以矽光子晶片及半導體製程技術為基礎，建立在玻璃基板上實現低損耗之介電質或感光型聚醯亞胺(PSPI)之波導，在製程技術優化下實現低損耗之整合光波導，同時實現光元件之特性，包括調變器、濾波器等。
Relation:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
Appears in Collections:	[Department of Optics and Photonics] Research Project

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