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Item 987654321/93298
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http://ir.lib.ncu.edu.tw/handle/987654321/93298
題名:
基於偏振與干涉術之六自由度幾何誤差量測技術開發
;
Development of Six-Degree-Of-Freedom Geometric Error Measurement Technology Based on Polarization and Interferometry
作者:
李朱育
貢獻者:
國立中央大學機械工程學系
關鍵詞:
幾何誤差
;
偏振
;
干涉
;
雙折射
;
六自由度
;
;
Geometric error
;
polarization
;
Interference
;
birefringence
;
6 degree-of-freedom
日期:
2024-01-26
上傳時間:
2024-01-29 16:57:41 (UTC+8)
出版者:
科技部
摘要:
本計畫所開發的量測系統改善了傳統干涉儀體積大架構複雜等問題,同時具備傳統干涉儀高精度的特性,更擁有小體積的優勢。在工程上能夠以輕巧的架構,在空間有限的情況下,對製程設備進行幾何誤差量測及補償,進而提升產品品質,增加產業競爭力。
關聯:
財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
顯示於類別:
[機械工程學系] 研究計畫
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