新穎可撓曲、自供水多孔隙矽晶奈米線水蒸發發電元件之製備及其產電效能分析;Fabrication of Novel Flexible， Self-Water-Drawing Porous Si Nanowire Water-Evaporation Power Generation Devices and Their Power Generation Performance

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Title:	新穎可撓曲、自供水多孔隙矽晶奈米線水蒸發發電元件之製備及其產電效能分析;Fabrication of Novel Flexible， Self-Water-Drawing Porous Si Nanowire Water-Evaporation Power Generation Devices and Their Power Generation Performance
Authors:	鄭紹良
Contributors:	國立中央大學化學工程與材料工程學系
Keywords:	水蒸發誘導發電;之字形矽晶奈米線;可撓曲矽晶片;光熱效應;自供水;;water-evaporation-induced electricity;zigzag Si nanowires;flexible Si substrate;photothermal effect;self-water drawing
Date:	2024-09-27
Issue Date:	2024-09-30 14:23:57 (UTC+8)
Publisher:	國家科學及技術委員會(本會)
Abstract:	本計畫所開發可將一般矽單晶晶片厚度快速薄化及平坦化之新穎低溫蝕刻製程技術，可提供相關晶片產業在研發製備薄型矽晶晶片新技術時之設計參考。本計畫所提出可在室溫或低溫下快速製備各式具自供水、可撓曲特性之微型矽晶奈米線水蒸發發電元件的新穎結構設計與製程技術，極具可行性且在目前已知期刊文獻中仍未曾被報導。不僅可提供一般學研單位進行微型矽晶發電裝置之基礎學術研究，可預期未來在各式先進太陽能電池、可撓曲矽晶奈米感測元件、穿戴式水蒸發發電元件等領域上，也將具有很大的應用潛力。
Relation:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
Appears in Collections:	[Department of Chemical and Materials Engineering] Research Project

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