以作者查詢圖書館館藏

、以作者查詢臺灣博碩士

、以作者查詢全國書目

、勘誤回報

、線上人數：113

、訪客IP：3.135.249.11

姓名	林正田(Cheng-Tien Lin)  查詢紙本館藏	畢業系所	電機工程學系在職專班
論文名稱	就隨機瑕疵源角度之晶圓圖分析 (Wafer Map Analysis from a Random-Defect-Source Perspective)
相關論文	★ E2T-iSEE:應用於事件與情感狀態轉移排程器之編輯 ★ “偶”:具情感之球型機器人 ★ 陣列區塊電容產生器於製程設計套件之評量 ★ 應用於數位家庭整合計畫影像傳輸子系統之設計考量與實現 ★ LED 背光模組靜電放電路徑 ★ 電阻串連式連續參考值產生器於製程設計套件之評量 ★ 短篇故事分類與敘述 ★ 延伸考慮製程參數相關性之類比電路階層式變異數分析器 ★ 以電子電路觀點對田口式惠斯登電橋模擬實例的再分析 ★ 應用於交換電容ΔΣ調變電路之電容排列良率自動化擺置平台 ★ 陣列MiM電容的自動化佈局 ★ 陣列MiM電容的平衡接點之通道繞線法 ★ 氣象資訊達人 ★ 嵌入式WHDVI多核心Forth微控制器之設計 ★ 應用於電容陣列區塊之維持比值良率的通道繞線法 ★ 使用於矽穿孔耦合分析之垂直十字鏈基板結構
檔案	[Endnote RIS 格式]    [Bibtex 格式]    [相關文章]   [文章引用]   [完整記錄]   [館藏目錄]   [檢視]  [下載] 本電子論文使用權限為同意立即開放。 已達開放權限電子全文僅授權使用者為學術研究之目的，進行個人非營利性質之檢索、閱讀、列印。 請遵守中華民國著作權法之相關規定，切勿任意重製、散佈、改作、轉貼、播送，以免觸法。
摘要(中)	產品量產之良率( Yield )高低與成本有著密不可分的關係。隨著進入奈米時代，顯現的晶圓瑕疵圖樣更加多變。由瑕疵數的分解比例，透過等比例的累積運算，我們可觀察到晶圓圖受到不同瑕疵密度的影響。並且可從晶圓圖驗證泊松分佈的可加性。 另外由於製程的變動增加以及複雜度的提高，不再只是單純由隨機微粒瑕疵所造成的故障晶粒，使得晶圓圖出現群聚瑕疵現象。而群聚瑕疵現象會導致泊松良率模型( Poisson Yield Model )預測的缺失。本文提出一種新穎的龍捲風良率模型，它是以晶圓圖故障晶粒數( NBD )和故障晶粒群聚方向數( NCD )兩項特徵為觀察座標--龍捲風圖。以最符合實際晶圓圖所顯示的情況，觀察兩項特徵值座落在龍捲風圖上的位置。 無論是製程中的隨機瑕疵或是設計參數的製程偏移，甚至於是兩者因素的結合，皆符合龍捲風圖的檢測。並應用統計分析的可加性特質，瑕疵密度對於良率的可乘性質相互呼應，可管控量產的品質並即時監測製程的穩定度。
摘要(英)	Product yield and cost of production has a close relationship. With the arrival of nanometer era, the wafer defect patterns appear to be more various. By decomposition of the ratio of the number of defects, such as through the cumulative proportion of operations, we observe wafer maps affected by different density of defects. And it can be verified that the parameters of Poisson distribution on wafer maps are additive. In addition, as the increase on process variations and complexity, it is no longer simply a random particle defects causing the distributed failure dice. The defect wafer maps appear the phenomenon of clustering, and cluster defects will lead to the yield prediction of Poisson model failed. This these proposes a novel tornado yield model, which is based on the number of bad dice (NBD) and Clustering Degrees (NCD) in wafer map for the observation of two characteristic coordinates -- Tornado Chart. Wafer maps of real cases shows the situation observed two characteristics located in the Tornado Chart. Whether random defect or parameter variation, or even then the combination of both factors, it is shown that the detection of failure by a tornado chart is valid. By applying the statistical analysis, the defect density for yield multiplicative nature echo to the parameter additive nature. It can be used to control the quality of production and real-time monitoring of the stability of the process.
關鍵字(中)	★ 製程偏移 ★ 瑕疵 ★ 可加性 ★ 泊松分佈 ★ 良率 ★ 龍捲風圖	關鍵字(英)	★ Defect ★ Tornado Chart ★ Additivity ★ Yield ★ Poisson Distribution ★ Process variation
論文目次	摘要 I Abstract II 誌謝 III 目錄 IV 圖目錄 V 表目錄 VII 第一章 簡介 1 1.1 前言 1 1.2 研究動機 5 1.3 研究方法 6 1.4 論文架構 7 第二章 前期研究 9 2.1 晶圓圖瑕疵圖樣的廣義分類 9 2.2 晶圓瑕疵圖樣之特徵化參數 11 2.3 製程偏移對於晶圓圖之影響 17 第三章 瑕疵晶圓圖樣之可加性分析 20 3.1 符合泊松分佈可加性特質 20 3.2 觀察瑕疵晶圓圖之可加性變化 21 3.3 瑕疵晶圓圖之群聚性瑕疵圖樣 29 第四章 結合瑕疵密度與製程偏移之特徵化 36 4.1 隨機瑕疵晶圓圖之龍捲風圖模型 36 4.2 製程偏移晶圓圖之龍捲風圖模型 38 4.3 隨機瑕疵與製程偏移對於良率之關係 39 第五章 結論 48 參考文獻 49
參考文獻	[1] Jwu-E Chen, Mill-Jer Wang, Yen-Shung Chang, Shaw Cherng Shyu, and Chien-Wei Ku,“ Error Classification by Wafer Map Analysisi ”4th International Workshop on the Economics of Design, Test Manufacturing. [2] Jwu-E Chen, Mill-Jer Wang, Yen-Shung Chang, Shaw Cherng Shyu,and Yung-Yuan Chen, “ Yield Improvement by Test Error Cancellation ”, IEEE Proceedings of ATS. 96 , pp.258-260,1996 [3] Tao Yuan, Way Kuo, and Suk Joo Bae, “Detection of Spatial Defect Patterns Generated in Semiconductor Fabrication Processes ”, Member, IEEE Transactions on Semiconductor manufacturing, VOL. 24, NO. 3, AUGUST 2011 [4] Jung Yoon Hwang, Way Kuo and Chunghun Ha, “Modeling of Integrated Circuit Yield Using a Spatial Nonhomogeneous Poisson Process”, IEEE Transactions on Semiconductor manufacturing, VOL. 24, NO. 3, AUGUST 2011 [5] 古建維，「晶圓圖上瑕疵圖樣之量化及其運用」，中華大學，碩士論文，民國86 年6 月。 [6] 王永業，「龍捲風模型之晶圓圖分析」，中華大學，碩士論文，民國94 年7 月。 [7] 邱政文，「一個晶圓圖特徵化與產生的歸納模型」，國立中央大學，碩士論文，民國95 年7 月。 [8] 林志成，「一個隨機瑕疵及製程偏移晶圓圖的故障晶粒/方向改變分析圖 」，國立中央大學，碩士論文，民國97年11月。 [9] 廖仁男，「迴力棒等效性：均勻分佈晶圓圖之分類器」，國立中央大學，碩士論文，民國99年12月。 [10] 陳竹一 ; 黃泓文，「從龍捲風看晶圓圖」，越吟出版有限公司，[電子測試專輯電子月刊]，民國98 年11月。 [11] 鄭國樟, 「SB_WMG: 一個製程偏移特徵晶圓產生器」，中華大學﹐碩士論文，民國97年7月。 [12] 黃美瑄，「經由多方塊分解之晶圓產生器」，中華大學，碩士論文，民國89 年7 月。 [13] 蘇文彬，「晶圓圖分析的應用對於良率的影響」，中華大學， 碩士論文，民國92年7月。 [14] yieldWerx, http://www.yieldwerx.com/ . [15] Richtek, http://www.richtek.com/ .
指導教授	陳竹一(Jwu-E Chen)	審核日期	2012-1-17
推文	facebook   plurk   twitter   funp   google   live   udn   HD   myshare   reddit   netvibes   friend   youpush   delicious   baidu
網路書籤	Google bookmarks   del.icio.us   hemidemi   myshare