陽極氧化鋁模板製備銀奈米粒子陣列及其光學性質

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施孟宏(Meng-Hung Shih) 查詢紙本館藏

畢業系所

材料科學與工程研究所

論文名稱

陽極氧化鋁模板製備銀奈米粒子陣列及其光學性質
(Fabrication of Silver Nanoparticle Arrays by Anodic Aluminum Oxide Templates and Their Optical Properties)

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摘要(中)

隨著科技的發展，材料的製作體積也越來越小，所以奈米材料的發展越趨於重要，而相較於微影製程 (Lithography) ，陽極氧化鋁模版 (Anodic Aluminum Oxide, AAO)的製作方式較簡單，且花費較少，近年來許多學者開始利用其做為奈米材料的製備方式並探討其應用。
本研究主要分為三個部分：(1) 以不同的操作電壓成長氧化鋁模板，並分別討論其表面形貌，孔洞大小及分布，及其成長條件。(2) 利用不同尺寸之陽極氧化鋁模板，製作出銀之奈米陣列，並討論其分布與模板之關係。(3) 製備銀奈米粒子於微晶矽薄膜上，討論銀奈米陣列對於其吸收之影響。
首先，我們先探討以40 V 與 195 V下所成長出陽極氧化鋁的孔洞尺寸及分布情況。在40 V的成長條件下，藉由擴孔時間，可控制孔洞大小由38 nm 至 90 nm，而195 V 可由155 nm 擴大至480 nm；而在成長第二階段模板時，我們將其成長時之電流維持約1mA / cm2，由其厚度與時間之關係判斷，此兩種模板的成長速率相差並不大；而我們以較短的製程時間，成長陽極氧化鋁模板並製作不同尺寸之銀奈米陣列，分別計算出其分佈情形，而整體顆粒大小與模板之孔徑接近。
值得一提的是，藉由此奈米銀陣列，其表面電漿共振效應，可有效的提升微晶矽薄膜之吸收，並由光電流的量測證明此吸收提升之效果大多來自於微晶矽薄膜，而提升的效果可達2 ~ 2.5倍。

摘要(英)

Nanomaterials have drawn much attention in many fields of study and applications. Recently, researchers used anodic aluminum oxide (AAO) membranes to fabricate the nanomaterials, because it is a simple, tunable and low-cost approach.
In this study, we focused into three part：(1) The AAO membranes were prepared by applying different voltage and discussed their pore size, distribution and growth steps condition, (2) The Ag nanoparticle arrays were fabricated using different membranes, (3) The Ag nanoparticle arrays were also fabricated on microcrystalline silicon and their optical response of surface plasmon resonance (SPR) in silicon was then investigated.
The pore size of AAO membranes have a large difference about 350 nm by applying 40 V and 195 V. It was observed that using 40 V, the pore size of AAO can be adjusted between 38 to 90 nm. On the other hand, the pore size changed from 155 to 480 nm for the high voltage of 195 V. In second andization, the membrane thickness can be controlled by anodization time which the growth rate is similar between applying 40 V and 195 V. The Ag nanoparticle arrays which were fabricated by electron evaporator through AAO membranes showed identical distribution with pore size AAO membranes.
It is worth mentioned that the absorption and photocurrent of crystalline silicon could be enhanced up to 2.5 times by the SPR phenomenon of Ag nanopaticle arrays.

關鍵字(中)

★ 陽極氧化鋁模板
★ 銀奈米陣列
★ 表面電漿共振效應

關鍵字(英)

★ Anodic Aluminum Oxide (AAO)
★ Ag nanoarrays、Surfac

論文目次

目錄
摘要 I
Abstract II
致謝 III
目錄 V
圖目錄 VIII
表目錄 XII
第一章緒論 1
第二章文獻回顧 3
2.1 奈米材料 3
2.2 陽極氧化鋁 4
2.3 多孔性陽極氧化鋁成長機制 5
2.3.1孔洞的生成 5
2.3.2穩定成長 6
2.4 製備多孔性陽極氧化鋁成長之參數 7
2.4.1電壓對陽極氧化鋁之影響 7
2.4.2 電解液及其濃度對於多孔性氧化鋁之影響 8
2.4.3 溫度對於多孔性氧化鋁之影響 9
2.5 高度規則排列多孔性氧化鋁製備方法 10
2.5.1預製圖案法 10
2.5.2二次陽極處理法 12
2.6 多孔性陽極氧化鋁應用於製備奈米材料 13
2.6.1利用電化學沉積法製備奈米線 13
2.6.2 利用電子束蒸鍍法製備奈米顆粒 14
2.7 貴金屬奈米結構的表面電漿共振特性 15
2.8 以銀奈米粒子SPR特性增加太陽能電池之吸收及應用 16
第三章實驗方法與流程 18
3.1 實驗流程 18
3.2 實驗材料 20
3.3 實驗設備 20
3.4 實驗步驟 21
3.4.1 樣品基材 21
3.4.2 電解拋光 21
3.4.3 陽極處理 22
3.4.4 移除氧化鋁 23
3.4.5 塗佈指甲油 23
3.4.6 移除金屬鋁、背部障壁層及孔洞擴大 24
3.4.7 物理氣相沉積銀奈米結構 24
3.5特性分析 25
3.5.1 顯微結構分析 25
3.5.2 光學性質分析 25
3.5.3 光電流量測分析 25
第四章結果與討論 26
4.1電解拋光 26
4.2 陽極處理 28
4.2.1 第一次陽極處理 28
4.2.2 移除第一次之陽極氧化鋁（鋁金屬碗狀結構） 28
4.2.3 二次陽極處理 33
4.2.4擴大孔洞之時間 33
4.2.5 移除背部障壁層 38
4.3不同厚度之陽極氧化鋁模板 43
4.3.1 藉由控制二次陽極處理時間製備不同厚度模板 43
4.3.2 轉移陽極氧化鋁模板至基板 43
4.4 沉積銀奈米結構於基板 55
4.4.1選擇適當的氧化鋁模板 55
4.4.2利用不同孔徑分布之陽極化鋁模板製備銀奈米粒子於基板 55
4.5 利用不同鍍膜厚度改變銀奈米陣列形狀及其光學性質 63
4.5.1改變鍍膜厚度製備不同形狀之銀奈米陣列 63
4.5.2不同形狀銀奈米陣列之光學性質 63
4.6 利用銀奈米結構提升微晶矽薄膜之吸收 67
4.6.1銀奈米粒子之表面電漿共振對矽薄膜之影響 67
4.6.2利用銀之表面電漿共振提升矽薄膜之吸收及光電流 67
第五章總結 70
參考文獻 72

參考文獻

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指導教授

陳一塵(I-chen Chen)

審核日期

2012-8-30

推文