博碩士論文 86222025 完整後設資料紀錄

DC 欄位 語言
DC.contributor物理學系zh_TW
DC.creator嚴子明zh_TW
DC.creatorZhe-Ming Yianen_US
dc.date.accessioned2000-7-10T07:39:07Z
dc.date.available2000-7-10T07:39:07Z
dc.date.issued2000
dc.identifier.urihttp://ir.lib.ncu.edu.tw:88/thesis/view_etd.asp?URN=86222025
dc.contributor.department物理學系zh_TW
DC.description國立中央大學zh_TW
DC.descriptionNational Central Universityen_US
dc.description.abstract實驗過程中,所掃瞄記錄的波長是3000 ∼4000 之間的光訊號,因為在這個波段範圍內可以明顯的觀察到銅原子的光譜線,從實驗的結果,我們可以在各種離子束分別與銅靶表面碰撞的光譜圖中發現兩條最明顯的的中性銅原子譜線324.7 nm(4 S →4 P )、327.4 nm(4 S →4 P ),而本實驗就利用表面濺射粒子所發出光輻射的這兩條原子譜線來研究離子與金屬表面碰撞過程的一個重要物理訊息。 實驗中,在靶室腔體中控制不同氧流量,提供不同能量、種類離子射束之加速電壓,觀察銅表面濺射銅原子光輻射訊號強度,計算特定波長氧的濺射係數S 與氧的附著率C ,藉以瞭解光子產率與金屬表面附著不同程度的氧氣情況下,所表現出來的物理現象。zh_TW
DC.subject濺射zh_TW
DC.subject降激過程zh_TW
DC.subject濺射係數zh_TW
DC.subject附著率zh_TW
DC.subjectsputteringen_US
DC.subjectde-excitationen_US
DC.subjectsputtering coefficienten_US
DC.subjectsticking probabilityen_US
DC.title離子碰撞氧氣覆著Cu金屬表面氧的附著率與濺射率之研究zh_TW
dc.language.isozh-TWzh-TW
DC.type博碩士論文zh_TW
DC.typethesisen_US
DC.publisherNational Central Universityen_US

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