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| DC.contributor | 光電科學與工程學系 | zh_TW |
| DC.creator | 羅德亨 | zh_TW |
| DC.creator | De-He Lo | en_US |
| dc.date.accessioned | 2000-7-13T07:39:07Z | |
| dc.date.available | 2000-7-13T07:39:07Z | |
| dc.date.issued | 2000 | |
| dc.identifier.uri | http://ir.lib.ncu.edu.tw:88/thesis/view_etd.asp?URN=87226032 | |
| dc.contributor.department | 光電科學與工程學系 | zh_TW |
| DC.description | 國立中央大學 | zh_TW |
| DC.description | National Central University | en_US |
| dc.description.abstract | LIGA技術起源於德國，可用已製造高精密度的微結構元件，目前在微光學元件的製作上已扮演相當重要的角色。本論文之研究為利用LIGA-like製程技術以準分子雷射加工進行微光學元件之製作，方法是使用KrF、波長248nm之深紫外光準分子雷射，透過一片含有數種圖樣之鍍鉻光罩，經由物鏡以投影方式在高分子聚合物基材上進行微加工刻除。同時，透過移動光罩之平台，選擇不同之光罩圖樣來完成各種之微光學元件，最後進行其表面輪廓與光學特性兩部分測量。主要之貢獻在於利用Matlab軟體模擬所製作之微光學元件，並對各種元件之粗糙度加以計算及分析。如此將開拓微光學元件於一個全新的應用領域。 | zh_TW |
| DC.subject | 微光學 | zh_TW |
| DC.subject | 準分子雷射 | zh_TW |
| DC.subject | LIGA-like | en_US |
| DC.title | 微光學元件之製作與量測 | zh_TW |
| dc.language.iso | zh-TW | zh-TW |
| DC.type | 博碩士論文 | zh_TW |
| DC.type | thesis | en_US |
| DC.publisher | National Central University | en_US |