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語言 |
| DC.contributor | 物理學系 | zh_TW |
| DC.creator | 簡伶鈺 | zh_TW |
| DC.creator | Lin-Yu Jian | en_US |
| dc.date.accessioned | 2001-7-12T07:39:07Z | |
| dc.date.available | 2001-7-12T07:39:07Z | |
| dc.date.issued | 2001 | |
| dc.identifier.uri | http://ir.lib.ncu.edu.tw:88/thesis/view_etd.asp?URN= 88222017 | |
| dc.contributor.department | 物理學系 | zh_TW |
| DC.description | 國立中央大學 | zh_TW |
| DC.description | National Central University | en_US |
| dc.description.abstract | 種，這些微透鏡具有體積輕、重量小的特性，近年來已積極被研發
使用在DVD 雷射讀寫頭等應用當中。
本文將研究利用一般積體電路製程方式來製作繞射式微透鏡。
另外，利用灰階光罩來製作微透鏡，以做未來灰階光罩的製程依據。
本文採用之半導體製程方法包括微影技術及蝕刻。於元件製作完成
後，用表面輪廓量測(Dektak)以及掃描式電子顯微鏡(SEM)來量測蝕
刻後的形狀，並在利用杜曼-格林(Twyman-Green)干涉法以及雲紋
(moire fringes) 干涉法來量測焦距。
本文並進一步分析微透鏡在製作的過程中所引起的蝕刻誤差造
成其光學特性的改變，計算元件在製作各步驟中誤差所容許的範圍，
以為製程之誤差提供參考依據。 | zh_TW |
| DC.title | 繞射式元件之製程及特性分析 | zh_TW |
| dc.language.iso | zh-TW | zh-TW |
| DC.title | Fabrication and Analysis of DiffractiveOptical Elements | en_US |
| DC.type | 博碩士論文 | zh_TW |
| DC.type | thesis | en_US |
| DC.publisher | National Central University | en_US |