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語言 |
| DC.contributor | 機械工程學系 | zh_TW |
| DC.creator | 黃忠賢 | zh_TW |
| DC.creator | Chung-Hsien Huang | en_US |
| dc.date.accessioned | 2003-7-7T07:39:07Z | |
| dc.date.available | 2003-7-7T07:39:07Z | |
| dc.date.issued | 2003 | |
| dc.identifier.uri | http://ir.lib.ncu.edu.tw:88/thesis/view_etd.asp?URN=90323122 | |
| dc.contributor.department | 機械工程學系 | zh_TW |
| DC.description | 國立中央大學 | zh_TW |
| DC.description | National Central University | en_US |
| dc.description.abstract | 微小化是現今微光機電系統的趨勢，然而隨著尺寸越來越小，其散熱之問題亦相形重要之。本實驗室已完成微液滴主動冷卻微熱點的方式，即利用冷卻介質之相變化，直接帶走微熱點上的熱而達到冷卻的目的，以期能應用在高效能的微小光機電元件之冷卻上。本實驗即是接續積體化的步驟，利用微機電的技術製作微感測器以及微熱點，本實驗以鉑作為加熱以及溫度感測的材料，因為鉑的電阻-溫度曲線幾乎為線性，且具有穩定不易氧化的金屬特性。實驗之結果顯示以微機電系統技術所製作出來的微感測器，確實可以達到溫度感測與微熱點模擬的功用，並且在製程上所做的結構改進，亦可確實的達到補強的作用。 | zh_TW |
| DC.subject | 微機電系統 | zh_TW |
| DC.subject | 微系統 | zh_TW |
| DC.subject | 微機電 | zh_TW |
| DC.subject | micro system | en_US |
| DC.subject | microelectromechanical systems | en_US |
| DC.subject | MEMS | en_US |
| DC.title | 微熱點與微溫度感測器製作 | zh_TW |
| dc.language.iso | zh-TW | zh-TW |
| DC.title | Micro Hot Spot and Micro Temperature Sensor Manufacturing Process. | en_US |
| DC.type | 博碩士論文 | zh_TW |
| DC.type | thesis | en_US |
| DC.publisher | National Central University | en_US |