博碩士論文 100226014 詳細資訊




以作者查詢圖書館館藏 以作者查詢臺灣博碩士 以作者查詢全國書目 勘誤回報 、線上人數:8 、訪客IP:3.84.139.101
姓名 余季欣( Ji-shin Yu)  查詢紙本館藏   畢業系所 光電科學與工程學系
論文名稱 以量測反射係術探測光學薄膜之特性
(Optical thin film characterization via the measurement of reflection coefficient)
相關論文
★ 半導體雷射控制頻率★ 比較全反射受挫法與反射式干涉光譜法在生物感測上之應用
★ 193nm深紫外光學薄膜之研究★ 超晶格結構之硬膜研究
★ 交錯傾斜微結構薄膜在深紫外光區之研究★ 膜堆光學導納量測儀
★ 紅外光學薄膜之研究★ 成對表面電漿波生物感知器應用在去氧核糖核酸及微型核糖核酸 雜交反應檢測
★ 成對表面電漿波生物感測器之研究及其在生醫上的應用★ 探討硫化鎘緩衝層之離子擴散處理對CIGS薄膜元件效率影響
★ 以反應性射頻磁控濺鍍搭配HMDSO電漿聚合鍍製氧化矽摻碳薄膜阻障層之研究★ 掃描式白光干涉儀應用在量測薄膜之光學常數
★ 量子點窄帶濾光片★ 嵌入式繼光鏡顯微超頻譜影像系統應用在口腔癌切片及活體之設計及研究
★ 軟性電子阻水氣膜之有機層組成研究★ 聚光型太陽能電池模組接收器之二次光學元件設計與分析
檔案 [Endnote RIS 格式]    [Bibtex 格式]    [相關文章]   [文章引用]   [完整記錄]   [館藏目錄]   至系統瀏覽論文 ( 永不開放)
摘要(中) 本文分為兩部分,在模擬部分我們模擬了高低折射率材料的反射光譜及反射相位,比較了使用反射光譜和反射係數去擬合光學常數的準確性,成功的證明藉由量測反射係數可提高基因演算法在計算上的準確性。在實驗部分我們藉由掃描式白光干涉儀量測光學膜的干涉條紋,再經由傅利葉轉換求得反射振幅及反射相位,在量測上我們比較量測樣品四個不同區域的結果,確定實驗上的穩定性,接著利用兩者資訊搭配基因演算法擬合出折射率和厚度,實驗的結果和橢偏儀做比較,其計算結果和橢偏儀相近,証明了此實驗方法的可行性。
摘要(英) The thesis consists two parts. In first part, the reflection amplitude and reflection phase of high and low refractive index material are simulated. The accuracy of using reflectance and reflection coefficient to calculate optical constant are compared. It proves that using reflection coefficient can improve the accuracy. In the second part, we measure the interferogram of thin film by using white light scanning interferometer. The reflection amplitude and phase are calculated by transforming the interference information. In order to confirm the stability of our method, we measure four different parts of the sample. And then, we use reflection coefficient and genetic algorithms to fit the optical thickness and refractive index. The measure results are close to that measured by ellipsometry. It indicates our method is feasible.
關鍵字(中) ★ 反射係數
★ 光學薄膜
關鍵字(英) ★ reflection coefficient
★ optical thin film
論文目次 第一章 緒論 1
1-1 前言 1
1-2 研究動機 2
1-3 本文架構 3
第二章 薄膜光學基本理論 4
2-1電磁波與光學導納 4
2-2 單層膜的反射與透射理論和膜矩陣 5
2-3 多層膜的反射和透射理論 9
第三章 光學常數量測法 11
3-1破壞性量測技術 11
3-2光學量測方法 12
3-2-1 光度法 12
3-2-2 橢圓偏振儀 16
3-2-3 白光干涉技術 19
第四章 白光干涉技術 20
4-1 干涉原理 20
4-2 干涉量測技術 21
4-2-1相移干涉術 21
4-2-2 垂直掃描干涉技術 22
4-3 白光干涉理論 23
第五章 實驗原理與架構 27
5-1 白光MICHELSON干涉儀 27
5-2 實驗原理與模擬 29
5-2-1靈敏度定義和模擬 29
5-3 基因演算法 35
5-4 實驗量測結果與討論 36
第六章 結論 45
參考文獻 46
參考文獻 1. L.Deck and P.d. Groot, “High-speed Noncontact Profiler Based on Scanning White-light Interferometry,” Appl.Opt. 33, 7334(1994).
2. R. Windecker and H. J. Tiziani, “Optical Roughness Measurement Using Extended White-light Interferometry,” Opt. Eng.42, 389(1999).
3. Jing-tao Dong and Rong-sheng Lu, “Sensitivity analysis of thin-film thickness measurement by vertical scanning white-light interferometry,” Appl. Opt, 51, 5675(2012).
4. 李正中,薄膜光學與鍍膜技術,第六版,藝軒圖書出版社,2009.
5. F.Abeles, “Method for Determining Optical Parameters of Thin Films,” Progress in Optics 2,249(1963).
6. J. C. Manifacier, J. Gasiot, and J. P. Filland, “Simple Method for Determination of the Optical Constant N, K and Thickness of Weekly Absorbing Thin Films,” J. Phy. E.:Sci. Inst. 9, 1002(1976).
7. R. Swanepoel, “Determination of the Thickness and Optical Constant of Amorphous Silicon,” J.Phy. E.: Sci. Inst. 16,1214(1983).
8. R. M. A. Azzam and N. M. Bashara, Ellipsometry and Polarized Light.(North-Holland Pub. Co., 1977).
9. E. Hecht, Optics. Addison-Wesley, 2002.
10. W.H. Steel, Interferometry,2nd ed, New York, 1968.
11. D. Malacara, Optical Shop Testing, 2nd ed, John Wiley & Sons, 2007.
12. M. Vannoni, M. Trivi and G. Molesini, “Phase-shift interferometry with a digital
Photocamera” Eur. J. Phys, 28 117–124 (2007).
13. Meng-Chi Li, Der-Shen Wan, and Cheng-Chung Lee, ” Application of white-light scanning interferometer on transparent thin-film measurement” Appl. Opt, 51 8579-8586(2012).
14. M. Shokooh-Saremi, M. Nourian, M. M. Mirsalehi, S. H. Keshmiri,”Design of multilayer polarizing beam splitters using genetic algorithm,” Optical Communications, 233 57-65(2004).
15. J. Cardin, D. Leduc,” Determination of refractive index,thickness, and the optical losses of thin films from prism-film coupling measurement,” Appl. Opt., 47 894-900(2008).


16. S. Kirkpatrick, “Optimization by Simulator Annealing: Quantitative Studies,” Journal of Statistical Physics, 34 975-986 (1984).
17. F.S. Acton, “Numerical Method That work,” corrected edition, The Mathematical Association of America,1990.
指導教授 李正中(Chung-cheng Lee) 審核日期 2014-1-28
推文 facebook   plurk   twitter   funp   google   live   udn   HD   myshare   reddit   netvibes   friend   youpush   delicious   baidu   
網路書籤 Google bookmarks   del.icio.us   hemidemi   myshare   

若有論文相關問題,請聯絡國立中央大學圖書館推廣服務組 TEL:(03)422-7151轉57407,或E-mail聯絡  - 隱私權政策聲明