博碩士論文 88222009 詳細資訊




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姓名 謝昆龍( Kun-Long Xie)  查詢紙本館藏   畢業系所 物理學系
論文名稱 氮化銦鎵/氮化鎵量子井之光特性研究
(Studies of Optical Properties for InGaN/GaN Quantum Well Structures)
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摘要(中) 本篇論文是利用光激發的方式研究氮化銦鎵/氮化鎵量子井結構
試片的發光機制。在此我們針對兩個主要問題進行探討:高溫處理對
試片光性之影響和試片的光增益量測與分析。
首先,藉由高溫爐退火處理,在不同活化時間條件下,探討含有
高銦成份之氮化銦鎵/氮化鎵量子井試片,其端面發光光譜中,數個波
峰其波長位移的原因。其次,利用空間光譜的量測技術,進一步分析
氮化銦鎵/氮化鎵量子井結構材料端面發光的光場分佈,以瞭解試片的
光侷限情況。
在光增益量測方面,我們可以利用改變光激發長度(variable
excitation stripe length)的方法求得光增益值。更進一步地,我們用CO2
雷射將試片切成圓形以量測各個不同晶格方向的光增益值,並配合由
X 光實驗定出試片之晶格結構,我們可以分析試片在不同晶格方向光
增益的差異,並且得知在[ 0 1 2 1 ]的晶格方向可能有最大的光增益值。
此一實驗結果是和理論計算相吻合的。
摘要(英) This thesis presents the study of the properties of edge emission and
the optical gain of the InGaN/GaN quantum well, which is produced by
optical pumping. Also, the effect of the thermal annealing to the optical
properties of the InGaN/GaN single quantum well with high indium
content is analyzed. Then three mechanisms that induce the shift of the
emission lines, after the thermal annealing occurs, are proposed.
Samples of spatially resolved spectra are measured, and the
experimental setup proposed in this thesis is refined. A sub-micron spatial
resolution can be achieved without using a sub-micron translation stage.
The experimental result is used to study the emission properties of the
single quantum well samples.
The study of how crystal orientation causes a strong piezoelectric
effect on the InGaN/GaN quantum well has been a topic of much research.
The result shows that the optical gain of the laser also depends on the
orientation of the cavity. Theoretical studies indicate that the maximum
optical gain can be obtained for the cavity of edge-emitting laser oriented
along [ 0 1 2 1 ]-direction. In this thesis, the net modal gains of the
InGaN/GaN multiple quantum well samples are measured by a variational
stripe length method for the optically pumped cavity along each orientation
on (0001) plane. The experimental result is used to confirm the theoretical
study.
論文目次 Abstract (Chinese) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … i
Abstract (English) … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … ii
Contents … … … … … … … … … … … … … ...… … … … … … … … … … … iii
Figure Captions … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … v
Chapter 1 Introduction … … … … … … … … … … … … … … … … … .1
1.1 Overview … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … ..1
1.2 Organization of this Thesis … … … … … … … … … … … … … … … ...3
Chapter 2 Experimental Techniques … … … … … … … … … … … … 5
2.1 Photoluminescence (PL) … … … … … … … … … … … … … … … … ...5
2.2 Optical Pumping … … … … … … … … … … … … … … … … … … … ...7
2.3 X-ray Diffraction Apparatus and Applications … … … … … … ..… ...8
Chapter 3 Effect of Thermal Annealing on the Optical Properties
of High Indium Content InGaN/GaN Single Quantum
Well Structures … … … … … … … … … … … … … … … ...11
3.1 Introduction … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .11
3.2 Experimental Procedures … … … … … … … … … … … … … … … … 12
3.3 Results and Discussions … … … … … … … … … … … … … … … … .14
3.3.1 Analysis of Sample Structure by X-ray Diffraction … … … … 14
3.3.2 Optical Properties … … … … … … … … … … … … … … … … … 15
Chapter 4 Optical Gain Measurement and Analysis for
InGaN/GaN Multiple Quantum Well Structures … … 19
4.1 Introduction … ...… … … … … ...… … … … … … … … … … … … .… .19
4.2 Experimental Procedures … … … … … … … … … … … … … … … … 20
4.3 Results and Discussions … … … … … … … … … … … … … … … … ..22
4.3.1 Determination Crystal Orientation by X-ray Diffraction … … 22
4.3.2 Analytical Relation Between Optical Gain and Crystal
Orientation … … … … … … … … … … … … … … … … … … … ..23
Chapter 5 Conclusions … … … … … … … … … … … … ...… … … … .25
iv
Reference … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … ..… 27
Figures … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … ..… .30
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指導教授 紀國鐘(Gou-Chung Chi) 審核日期 2001-7-18
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