博碩士論文 88222017 詳細資訊




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姓名 簡伶鈺( Lin-Yu Jian)  查詢紙本館藏   畢業系所 物理學系
論文名稱 繞射式元件之製程及特性分析
(Fabrication and Analysis of DiffractiveOptical Elements)
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摘要(中) 種,這些微透鏡具有體積輕、重量小的特性,近年來已積極被研發
使用在DVD 雷射讀寫頭等應用當中。
  本文將研究利用一般積體電路製程方式來製作繞射式微透鏡。
另外,利用灰階光罩來製作微透鏡,以做未來灰階光罩的製程依據。
本文採用之半導體製程方法包括微影技術及蝕刻。於元件製作完成
後,用表面輪廓量測(Dektak)以及掃描式電子顯微鏡(SEM)來量測蝕
刻後的形狀,並在利用杜曼-格林(Twyman-Green)干涉法以及雲紋
(moire fringes) 干涉法來量測焦距。
  本文並進一步分析微透鏡在製作的過程中所引起的蝕刻誤差造
成其光學特性的改變,計算元件在製作各步驟中誤差所容許的範圍,
以為製程之誤差提供參考依據。
論文目次 摘要……………………………………………………………………Ⅰ
致謝……………………………………………………………………Ⅱ
目錄……………………………………………………………………Ⅲ
表目錄…………………………………………………………………Ⅴ
圖目錄…………………………………………………………………Ⅵ
第一章 緒論………………………………………………………….1
第二章 繞射式透鏡之理論及設計………………………………….4
2.1 基本理論…………………………………………………4
2.2 製程誤差分析……………………………………………6
2.3 繞射式透鏡之光罩設計…………………………………10
 2.3.1 一般積體電路製程法之光罩設計…………….…….11
2.3.2 灰階光罩製程法…………………………….……….12
2.4 結論………………………………………………………13
第三章 繞射式透鏡之製程………………………………...……….15
3.1 黃光微影技術…………………………………….………15
3.2 活性離子蝕刻……………………………………………18
3.2.1 工作原理……….…………………………………...19
V
3.2.2 蝕刻氣體的選擇………………………….………...20
3.3 繞射式透鏡之製作……………………………….……..……22
第四章 元件特性之量測……………………………….………..…..27
4.1 蝕刻速率之量測……………………………….…………..….27
4.2 表面輪廓之量測………………………………….…….…..…28
  4.2.1 八階微透鏡之量測………………………….….….……..28
4.2.2 灰階微透鏡之量測……………………………..…….…..29
4.3 光學特性之量測…………………………………….……..…30
    4.3.1 杜曼-格林干涉法……………………………….……31
4.3.2 雲紋干涉法……………………………….………….. 31
4.3.3 討論……………………………………………….…..34
 4.4 結論……………………………………………….……….…..36
第五章 總結與未來展望…………………..……...…….……….…...37
5.1 總結………………………………………...…….…….……....37
 5.2 未來展望……………………………………………………..…..38
表………………………………………………………………………..41
圖………………………………………………………………………..45
參考文獻…………………………………………………………….….65
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指導教授 紀國鐘(Gou-Chung Chi) 審核日期 2001-7-12
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