博碩士論文 88226022 詳細資訊




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姓名 梁逸平( Yi-Ping Lian)  查詢紙本館藏   畢業系所 光電科學與工程學系
論文名稱 熔融法折射式微透鏡陣列之設計製造與檢測
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摘要(中) 件大致上可分為繞射式與折射式兩種,本論文所研究之光阻熔融式
微透鏡陣列,則是屬於折射式光學元件之一。
論文主要在於說明如何設計、製造出一系列之微透鏡陣列,並
以各種檢測之方法,檢驗其特性,以求能找出更佳的製作參數。
實驗中製作出之微(凸)透鏡,其直徑大小在20 mm ~ 100 mm
之間,焦距約為20 mm ~ 300 mm 之間,數值孔徑則介於0.15 ~ 0.5
之間。在品質上大致良好,皆為表面平整度高之球面透鏡。
實驗所得之成品主要的缺點在於其實用性,因為光阻不是一個
好的光學材料。改進方法為利用活性離子蝕刻機,將其形狀轉換至
性質穩定之基板上,以增進其效能。
論文目次 論文摘要................................................0-1
誌謝................................................0-2
目錄....................................................0-3
圖表索引................................................0-5
第一章、序論...............................................1
第二章、基本原理...........................................3
2-1 各類折射式微透鏡陣列製程簡介........................3
2-2 熔融光阻式微透鏡陣列................................8
第三章、微透鏡陣列之設計..................................11
3-0 前言...............................................11
3-1 設計方法...........................................11
3-2 設計步驟...........................................14
第四章、微透鏡陣列之製造..................................18
4-0 前言...............................................18
4-1 製作流程簡介.......................................18
4-2 製作流程詳述.......................................19
第五章、微透鏡陣列之檢測..................................23
5-0 前言...............................................23
5-1 光學顯微鏡.........................................23
5-2 掃描式電子顯微鏡...................................25
5-3 機械式表面探測儀...................................26
5-4 光學干涉儀.........................................27
第六章、實驗結果之分析與討論..............................29
6-0 前言...............................................29
0 - 3
6-1 實驗數據結果之分析討論.............................32
6-1-1 顯微鏡之觀測.................................33
6-1-2 掃描式電子顯微鏡.............................35
6-1-3 機械式表面探測儀.............................36
6-1-4 光學干涉儀...................................39
6-1-5 綜合實驗結果所得之數據.......................41
6-2 實驗結果比較與分析.................................43
6-2-1 透鏡之高度、直徑..............................43
6-2-2 透鏡之焦距、曲率半徑、數值孔徑、聚光點大小......46
6-2-3 透鏡之光程差結果分析與討論...................49
6-3 結果歸納與改進方法.................................53
第七章、結論..............................................94
參考文獻.................................................97
0 - 4
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指導教授 張正陽(Jenq-Yang Chang) 審核日期 2001-7-17
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