博碩士論文 102521010 詳細資訊




以作者查詢圖書館館藏 以作者查詢臺灣博碩士 以作者查詢全國書目 勘誤回報 、線上人數:27 、訪客IP:3.236.253.192
姓名 葉昱緯(Yu-Wei Yeh)  查詢紙本館藏   畢業系所 電機工程學系
論文名稱 迴力棒圖應用於真實量產晶圓圖
(Application of Boomerang Chart to Real-World Mass Production Wafer Maps)
相關論文
★ E2T-iSEE:應用於事件與情感狀態轉移排程器之編輯★ “偶”:具情感之球型機器人
★ 陣列區塊電容產生器於製程設計套件之評量★ 應用於數位家庭整合計畫影像傳輸子系統之設計考量與實現
★ LED 背光模組靜電放電路徑★ 電阻串連式連續參考值產生器於製程設計套件之評量
★ 短篇故事分類與敘述★ 延伸考慮製程參數相關性之類比電路階層式變異數分析器
★ 以電子電路觀點對田口式惠斯登電橋模擬實例的再分析★ 應用於交換電容ΔΣ調變電路之電容排列良率自動化擺置平台
★ 陣列MiM電容的自動化佈局★ 陣列MiM電容的平衡接點之通道繞線法
★ 氣象資訊達人★ 嵌入式WHDVI多核心Forth微控制器之設計
★ 應用於電容陣列區塊之維持比值良率的通道繞線法★ 使用於矽穿孔耦合分析之垂直十字鏈基板結構
檔案 [Endnote RIS 格式]    [Bibtex 格式]    [相關文章]   [文章引用]   [完整記錄]   [館藏目錄]   至系統瀏覽論文 ( 永不開放)
摘要(中) 本篇論文為對已分類之瑕疵晶圓圖,以過去提出之迴力棒特徵圖,將這些晶圓圖瑕疵分佈的均勻性以巨觀的概念做更深入的分析以及驗證。
首先,我們先對量產化晶圓產品選擇出欲對比的五種尺寸,再分別模擬此五種尺寸的瑕疵均勻分佈迴力棒圖形做為基準曲線。此次實驗中,將對此五組所選取的資料對各個晶圓圖產生出參數NBD、NCD,再將這兩個參數除上晶粒做正規化之產生NNBD及NNCD兩個參數,以此為基準產生出迴力棒特徵圖並與基準曲線比對觀察每種錯誤形態在迴力棒基準曲線上的位置判別其均勻性以及損壞晶粒的群聚情形。再以此為基礎,檢視未被分類的晶圓是否有存在系統性錯誤。
在本實驗中,我們使用迴力棒特徵圖驗證量產產品,透過觀察特徵圖形來找出各種錯誤類型損壞晶粒的群聚情形以及位置,檢視其瑕疵分布的均勻性。再透過未分類的資料驗證迴力棒特徵圖的實用性,進而達到提高良率、測試效率以及降低成本的目的。
摘要(英) In this paper, we use Boomerang Chart that we published in the past to analyze the classified wafer maps in a great view, whether the distribution of defects uniform or not and verify it in mass production.
At first, we choose five kinds of size of wafers that we would like to analyze, and simulate basic curve according to these five kinds of size. In this experiment, we will create parameters NBD and NCD from every wafer in every data, and normalize the two parameters to create two new parameters, NNBD and NNCD. We will create Boomerang Chart according to the two parameters and compare with basic curve to observe every failure type’s position on basic curve, we will judge whether a wafer uniform or not and the situation of clustering of bad dice by this. Then, we will view whether there are systematic errors in non-classified data based on the result.
In this experiment, we verify mass production by using Boomerang Chart ,and find out the position and the situation of clustering of every failure type by observing Boomerang Chart ,and confirm the practicability of Boomerang Chart through non-classified data set to get the achievement of increasing yield、testing efficiency and reduce the production cost.
關鍵字(中) ★ 迴力棒
★ 晶圓分析
★ 晶圓良率
關鍵字(英)
論文目次 第一章 簡介 1
1-1 前言 1
1-2 研究動機 2
1-3 研究方法 2
1-4 論文架構 3
第二章 預備知識 4
2-1 相關研究 4
2-2 迴力棒特徵圖 5
2-2.1 特徵參數NBD、NCD 5
2-2.2 特徵參數搜尋方式 6
2-2.3 特徵參數搜尋範例 7
2-2.4 損壞晶粒良率YBD 9
第三章 實驗資料及規劃 10
3-1 資料內容 10
3-2 參考基準曲線 14
3-3 實驗結果假設 17
第四章 實驗結果與分析 18
4-1 實驗操作環境 18
4-2 實驗結果 18
4-2.1 已分類晶圓實驗結果及分析 18
4-2.2 未分類晶圓實驗結果及分析 33
第五章 結論 39
參考文獻 40
參考文獻 [1] Jwu-E Chen, Mill-Jer Wang, Yen-Shung Chang, Shaw Cherng Shyu, and
Yung-Yuan Chen, “ Yield Improvement by Test Error Cancellation ”, in Test
Symposium (ATS), pp.258-260, Nov. 1996.
[2] C. - K. Hsu, Lin, F., Cheng, K. - T. Tim, Zhang, W., Li, X., Carulli, J. M., and
Butler, K. M., “Test data analytics - Exploring spatial and test-item correlations
in production test data”, in Test Conference (ITC), pp.1-10, Sep. 2013.
[3] Ming-Ju Wu, Jyh-Shing Roger Jang, and Jui-Long Chen, “Wafer Map Failure
Pattern Recognition and Similarity Ranking for Large-scale Datasets”, IEEE
Transactions on Semiconductor Manufacturing, vol.28, no.1, pp.1-12, Feb. 2015.
[4] S. Zhang, Lin, F., Hsu, C. - K., Cheng, K. - T. Tim, and Wang, H., “Joint Virtual
Probe: Joint exploration of multiple test items′ spatial patterns for efficient silicon characterization and test prediction”, in Design, Automation and Test in Europe Conference and Exhibition (DATE), pp.1-6, Mar. 2014.
[5] F. Lin, Hsu, C. - K., and Cheng, K. - T. Tim, “Learning from Production Test
Data: Correlation Exploration and Feature Engineering”, in Test Symposium
(ATS), pp.236-241, Nov. 2014.
[6] F. Lin, Hsu, C. - K., and Cheng, K. - T. Tim, “Feature engineering with canonical
analysis for effective statistical tests screening test escapes”, in Test Conference (ITC), pp.1-10, Oct. 2014.
[7] 廖仁男, “Boomerang Equivalence: A Classifier for Uniform Wafer Maps ” , 碩
士論文﹐中央大學﹐2010.
[8] 曾國銓, “A Non-uniformly Distributed Defect Map Analysis by Quantification
Model” , 碩士論文﹐中華大學﹐2013.
[9] 林正田,“Wafer Map Analysis from a Random-Defect-Source Perspective”,
碩士論文﹐中央大學﹐2012.
[10] 邱政文,“Bat-wing : an inductive model for wafer map characterization and generation”, 碩士論文﹐中央大學﹐2006.
[11] MATLAB之工程應用,http://bime-matlab.blogspot.tw/
指導教授 陳竹一(Jwu-E Chen) 審核日期 2016-2-25
推文 facebook   plurk   twitter   funp   google   live   udn   HD   myshare   reddit   netvibes   friend   youpush   delicious   baidu   
網路書籤 Google bookmarks   del.icio.us   hemidemi   myshare   

若有論文相關問題,請聯絡國立中央大學圖書館推廣服務組 TEL:(03)422-7151轉57407,或E-mail聯絡  - 隱私權政策聲明