迴力棒範圍的特徵化

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姓名

廖凱民(Kai-Min Liao) 查詢紙本館藏

畢業系所

電機工程學系

論文名稱

迴力棒範圍的特徵化
(Formulating the Range of Boomerang)

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摘要(中)

本篇論文是以過去提出的迴力棒特徵圖(Boomerang-Chart)為基準，藉由分析迴力棒的趨勢且產生迴力棒的上下限，使未來對晶圓的探討能更有效且省時。
首先，我們先對五種不同尺寸的晶圓所產生的迴力棒特徵圖(Boomerang-Chart)來做出五條迴力棒的中線，再來透過各個晶圓圖產生NBD及NCD兩個參數，把這兩個參數除上晶粒做正規化產生NNBD及NNCD兩個參數。接下來透過每個瑕疵數灑20點來紀錄當NNBD等於0.1、0.2、0.3、0.4、0.5所相對應的NNCD標準差。最後以中線加上1.96倍NNCD的標準差成為上限; 中線減去1.96倍NNCD的標準差成為下限,我們可以得到95%信賴區間的上下限網子來判別分佈的瑕疵數是否在上下限之間，進而得到提高測試效率及降低成本的目的。

摘要(英)

In this paper, we use Boomerang Chart that we published in the past to analyze the wafer maps by generating upper bound and lower bound. Most importantly, we can reduce time and analyze efficiently.
At first, we choose five kinds of size of wafers that we would like to analyze, and simulate basic centerline according to these five kinds of size. Second, we will create parameters NBD and NCD from every wafer in every data, and normalize the two parameters to create two new parameters, NNBD and NNCD. And then, we will create twenty points from every defect. When NNBD equals to 0.1, 0.2, 0.3, 0.4 and 0.5, we save the NNCD standard deviation. Last, we use the centerline to plus one point nine six times NNCD standard deviation and to subtract one point nine six times NNCD standard deviation. We can obtain the upper bound and lower bound in 95 percent confidence interval. According to the upper bound and lower bound, we understand whether the defects are inside or not. So, we set to get the achievement of increasing yield、testing efficiency and reduce the production cost.

關鍵字(中)

★ 迴力棒
★ 上下限
★ 離散性
★ 標準差
★ 晶圓

關鍵字(英)

論文目次

中文摘要 Ⅰ
英文摘要 Ⅱ
致謝 Ⅲ
目錄 IV
圖目錄 VII
表目錄 X
第一章簡介 1
1-1 前言 1
1-2 研究動機 1
1-3 研究方法 2
第二章預備知識 3
2-1 迴力棒特徵圖 3
2-1.1 特徵參數NBD、NCD 3
2-1.2 特徵參數搜尋方式 4
2-1.3 特徵參數搜尋範例 5
2-1.4 損壞晶粒良率YBD 7

2-2曲線擬合(Curve fitting) 8
2-2.1總平方誤差 9
2-2.2 曲線擬合的係數 9
2-2.3 曲線擬合的相關語法 10
第三章實驗資料整理及說明 13
3-1 不同尺寸的迴力棒圖 13
第四章實驗結果及分析 16
4-1 實驗操作環境 16
4-2 實驗結果 16
4-3 方法一:從NBD的間距產生上下限 16
4-3-1 連續瑕疵數驗證 21
4-3-2 提高曲線擬合的次方 22
4-3-3 忽略前段瑕疵數驗證 24
4-3-4 改變晶圓大小的驗證 25
4-3-5 改變瑕疵數的驗證 29
4-3-6 改方法一取間距所產生的問題 30
4-3-7 NBD間距產生初上下限的結論 31
4-4 方法二:利用離散分布及標準差產生出上下
限 32
4-4-1 不同晶圓尺寸的標準差 34
4-4-2 迴力棒的中線分析 36
4-4-3 中線搭配標準差驗證 38
4-4-4 方法一和方法二的差別 40
第五章結論 41
參考文獻 42

參考文獻

[1] 廖仁男, “Boomerang Equivalence: A Classifier for Uniform Wafer Maps ” , 碩
士論文﹐中央大學﹐2010.
[2] 葉昱緯, “Application of Boomerang Chart to Real-World Mass Production Wafer Maps ” , 碩士論文﹐中央大學﹐2016.
[3] 蕭寶威, “Wafer Map Analysis from Random Distributed Defects” , 碩士論文﹐
中央大學﹐2016.
[4] 曾國銓, “A Non-uniformly Distributed Defect Map Analysis by Quantification
Model” , 碩士論文﹐中華大學﹐2013.
[5] 林正田,“Wafer Map Analysis from a Random-Defect-Source Perspective”,
碩士論文﹐中央大學﹐2012.
[6] 張智星,“MATLAB程式設計與應用”,清蔚科技, 2000.
[7] MATLAB之工程應用,http://bime-matlab.blogspot.tw/

指導教授

陳竹一(Jwu-E Chen)

審核日期

2017-6-1

推文