博碩士論文 104329014 詳細資訊




以作者查詢圖書館館藏 以作者查詢臺灣博碩士 以作者查詢全國書目 勘誤回報 、線上人數:17 、訪客IP:54.234.190.237
姓名 秦贊異(Tsan-I Chin)  查詢紙本館藏   畢業系所 材料科學與工程研究所
論文名稱 以水熱法於單晶氧化鋁上製備二氧化釩薄膜之研究
(Hydrothermal growth of vanadium dioxides films on sapphire)
相關論文
★ 無鉛銲料錫銀銦與銅基板的界面反應★ 高度反射性銀/鑭雙層p型氮化鎵歐姆接觸之性質研究
★ 以電子迴旋共振化學氣相沉積氫化非晶矽薄膜之熱處理結晶化研究★ 研究奈晶矽與非晶矽之多層結構經熱退火處理後之性質及其在PIN太陽能電池吸收層中之應用
★ 利用陽極氧化鋁模板製備銀奈米結構陣列於玻璃基板★ 利用電子迴旋共振化學氣相沉積法沉積氫化非晶矽薄膜探討其應力與結晶行為
★ 高反射低電阻銀鑭合金P型氮化鎵歐姆接觸之研究★ 陽極氧化鋁模板製備銀奈米粒子陣列及其表面增強拉曼散射效應之應用
★ 製備磷摻雜奈米矽晶氧化矽薄膜及其於太陽能電池之應用★ 陽極氧化鋁模板製備銀奈米粒子陣列及其光學性質
★ 以電流控制方式快速製備孔洞間距400至500奈米之陽極氧化鋁模板★ 利用濕式氧化法製備氧化矽薄膜應用於矽晶太陽能電池表面鈍化技術之研究
★ 磷摻雜矽奈米晶粒嵌入於氮化矽基材之材料成長與特性分析★ 利用電子迴旋共振化學氣相沉積法製備多層SiOxNy:H/SiCxNy:H抗反射薄膜及其於矽基太陽能電池之應用
★ 利用新穎方法製作鋁背表面電場應用於結晶矽太陽能電池★ 旋轉塗佈摻雜溶液之擴散製程探討及其應用 於製備太陽能電池
檔案 [Endnote RIS 格式]    [Bibtex 格式]    至系統瀏覽論文 (2021-7-31以後開放)
摘要(中) 近幾年來,人們給於二氧化釩很大的重視,因其獨特的可逆性金屬非金屬相轉換(metal insulator transformation ),隨著溫度上升,二氧化釩從非金屬或半導體轉換成金屬態,使其電阻大幅的下降,紅外光穿透值也有顯著地變化,使其在電子元件與光學元件領域中,有很大的潛力。
本實驗於水熱釜中以水熱法的方式在單晶氧化鋁上合成B相與M相二氧化釩,並以XRD分析其為單晶薄膜,而在反應之前,另外於水熱釜中通入氮氣使其壓力上升,控制該壓力進而直接改變二氧化釩成長並得到不同形貌的薄膜,也透過控制不同釩濃度,得到不同形貌之薄膜,最後將試片置入爐管中在氮氣氛圍下退火,並用XRD分析出其為會隨溫度發生相轉換的M相二氧化釩,將試片加熱觀察其溫度與電阻的變化約3個數量級。在磊晶側向成長法(ELOG)氮化鎵上,成功地定位成長二氧化釩薄膜,並解釋其可能機制。
摘要(英)
In recent years, people give great attention to vanadium dioxides, because of its unique reversible metal non-metallic phase transformation. With the temperature rising, vanadium dioxides gradually converted from insulator to metal, so that the resistance dropped significantly, infrared light penetration value also significantly changed, which make it a great potential in the field of electronic and optical device.
In this experiment, the B-phase and M-phase vanadium dioxides thin films were successfully synthesized on the sapphire by hydrothermal method in autoclave and the films were analyzed by XRD. In addition of nitrogen, made pressure rise and then changed the growth and morphologies. Finally, the sample was placed in a furnace tube and annealed in a nitrogen atmosphere, and we could get M phase vanadium dioxides which were defined by XRD diffraction peak. The change of resistance was observed and the resistivity decreased to 3 orders. Besides, a successful patterning and the growth of vanadium dioxide film were carried out and described probably mechanism.
關鍵字(中) ★ 水熱法
★ 二氧化釩薄膜
關鍵字(英) ★ hydrothermal
★ vanadium oxide thin films
論文目次
摘要 I
Abstract II
致謝 III
第一章 緒論 1
第二章 文獻回顧 3
2.1 奈米材料 3
2.2 二氧化釩 4
2.3 二氧化釩製備方法 6
2.3.1 物理氣相沉積 6
2.3.2. 水熱法合成 7
2.3.3 退火處理 10
2.4 二氧化釩的合成影響 11
2.4.1 基板對合成的影響 11
2.4.2二氧化釩中間相之相轉換 14
第三章 實驗方法與流程 17
3.1 實驗流程 17
3.2實驗步驟 17
3.2.1試片清洗 17
3.2.2 溶液配製 18
3.2.3 製程溶液處理 18
3.2.4 油浴加熱處理 19
3.2.5 退火處理 19
3.2.6 電性量測 19
3.3 實驗材料與檢測儀器 21
第四章 結果與討論 22
4.1 製程溫度之影響 22
4.2 製程前於溶液加壓探討 26
4.3 溶液填充比之影響 30
4.4 釩濃度對於合成二氧化釩影響 33
4.5 基板對於合成之影響 37
4.6 電阻隨溫度變化探討 39
4.7 於磊晶側向氮化鎵基板成長二氧化釩 40
第五章 結論 42
第六章 參考文獻 43
參考文獻
[1] F. J. Morin, physical review letter, 1959, vol. 3, 1, 34-36
[2] Ch. Leroux et al., physical review B, 1998, vol.57, 9,5112-5120
[3] Shidong Ji et al., Journal of Solid State Chemistry, 2011, 184, 2285–2292
[4] Y. Zhang, Materials Science-Poland, 2016, 34, 169-176
[5] Armando Rua et al., J. Appl. Phys. , 2012, 111, 104502
[6] Jiasong Zhang et al., scientific reports, 2016, 6, 27898
[7] Hyun-Tak Kim1 et al., New Journal of Physics, 2004, 6, 52
[8] Hasan Kocer et al., scientific reports, 2015, 5, 13384
[9]K. Byrappa, T. Adschiri, Progress in Crystal Growth and Characterization of Materials, 2007, 53,119
[10] S. Ji et al. Journal of Solid State Chemistry, 2011, 184, 2285–2292
[11] A. P. Alivisatos, J. Phys. Chem. 1996, 100, 13226-13239
[12] A. P. Alivisatos, Science, 1996, 271, 5251
[13] S. lijima, T. Ichihashi, NATURE, 1993, 363, 603
[14] Y. Zhang, Y. Tan, H. L. Stormer snd P. Kim, NATURE, 2005, 438, 20
[15] S. Wanga, M. Liu, L. Kong, Y. Long, X. Jiang, A. Yu, Progress in Materials Science, 2016, 81,1-54
[16] A.Goncalves et al., Solar Energy Materials & Solar Cells 2016, 150, 1–9
[17] D. Zhang et al., Journal of Alloys and Compounds, 2016, 684, 719-725
[18] Zhang, J. et al., Sci. Rep., 2016, 6, 27898
[19] Lee et al., Science, 2017, 355, 371–374
[20] Y. Shigesato et al., Appl. Phys, 2000, 39, 6017 ()
[21]L.L. Fan et al., Journal of Alloys and Compounds, 2016, 312-316
[22] C. Cao, J. Phys. Chem., 2008, 112, 18810–18814
[23 ]Zhengdong Song et al., Inorg. Chem. Front., 2016, 3, 1035–1042
[24] S. Pavasupree et al., Journal of Solid State Chemistry, 2005, 2152–2158
[25]S.R. Popuri et al., Inorg. Chem., 2013, 52, 4780?4785
[26] Weilai Yu et al., RSC Adv., 2016, 6, 7113–7120
[27] Chuanxiang Cao et al., J. Phys. Chem. C 2008, 112, 18810–18814
[28] Sorapong Pavasupree, Journal of Solid State Chemistry 178, 2005, 2152–2158
[29] Evgheni Strelcov et al., American Chemical Society Nano, 2011, 5, 3373–3384
[30] Byung-Gyu Chae et al., Electrochemical and Solid-State Letters, 2006, 9,C11-C13
[31] Jiasong Zhang et al., Chem. Mater. 2015, 27, 7419?7424
[32] Ligang Bai et al., Physical Review, 2015, 91, 104110
[33] Jung Inn Sohn et al., Nano Lett., 2009, Vol. 9, No. 10,
[34] Wu et al., AIP Advances 2013, 3, 042132
[35] H.-T. Kim et al., Phys. Rev. Lett., 2006, 97, 266404
[36] Okimura et al., J. Appl. Phys., 2012, 111, 073514
指導教授 陳一塵(I-Chen Chen) 審核日期 2017-8-24
推文 facebook   plurk   twitter   funp   google   live   udn   HD   myshare   reddit   netvibes   friend   youpush   delicious   baidu   
網路書籤 Google bookmarks   del.icio.us   hemidemi   myshare   

若有論文相關問題,請聯絡國立中央大學圖書館推廣服務組 TEL:(03)422-7151轉57407,或E-mail聯絡  - 隱私權政策聲明