以奈米孔洞黃金搭配氮化銦鎵量子井製備的表面電漿共振感測器

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黃冠儒(Kuan-Ju Huang) 查詢紙本館藏

畢業系所

光電科學與工程學系

論文名稱

以奈米孔洞黃金搭配氮化銦鎵量子井製備的表面電漿共振感測器
(A Surface Plasmon Resonance Sensor Built with Nanoporous Au/InGaN Quantum Well Hybrid Structure)

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摘要(中)

本篇論文為探討在雙面拋光的藍寶石基板上，透過有機金屬化學氣相沉積法(Metal Organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD)，所成長之氮化鎵/氮化銦鎵(GaN/InGaN)多重量子井，蒸鍍上金、銀交錯的金屬層，再利用退火、濕蝕刻製程，產生具奈米孔洞的黃金層。此奈米金屬層能與量子井產生局部表面電漿共振 (Localized Surface Plasmon Resonance, LSPR)，提升螢光分子附近的局部電場強度。
我們以光致螢光頻譜(photoluminescence)，探討表面折射率變化所造成的光譜強度變化，同時藉由掃描式電子顯微鏡(scanning electron microcopy)，觀察奈米孔洞金屬的表層結構。為了要驗證LSPR效應，我們將R6G (rhodamine 6G)螢光分子塗佈在奈米孔洞金屬表面，以拉曼頻譜分析R6G所產生的散射訊號。我們發現: 與平坦的黃金層相較，奈米孔洞金屬層並沒有明顯增強R6G的散射強度，此結果顯示金屬層的孔洞直徑、密度、分佈面積都需要更多的製程優化，才能產生有效的LSPR效果。

摘要(英)

This research is aimed to induce the effect of localized surface plasmon resonance (LSPR) on InGaN/GaN multiple quantum wells (QWs). The QWs were grown on double-sided polished sapphire substrates by metal organic chemical vapor deposition (MOCVD). To induce LSPR, the metal layer consisting of alternating Au/Ag is deposited on the QW wafer, followed by the annealing and etching process, producing a nanoporous Au structure.
Using the photoluminescence (PL) spectra, we study the effect of surface refractive index on the emission intensity from QWs. We also observe the nanoporous Au fabricated with different annealing/etching conditions by scanning electron microscopy (SEM). In order to verify the LSPR effect, we applied rhodamine 6G (R6G) molecules on the nanoporous Au and studied the resultant Raman spectra. Comparing the spectra on flat Au film, the Raman intensity of R6G on the nanoporous Au is not increased. This result suggests that the dimensions, density and effective area of the nanoporous Au have to be further optimized.

關鍵字(中)

★ 表面電漿共振
★ 局域性表面電漿共振
★ 光激發螢光光譜
★ 表面增強拉曼散射
★ 氮化銦鎵
★ 量子井

關鍵字(英)

★ SPR
★ Quantum well
★ InGaN
★ LSPR
★ SERS
★ PL

論文目次

目錄
論文摘要 I
Abstract II
誌謝 III
圖目錄 VII
表目錄 IX
中英文名詞縮寫對照表 X
第一章、緒論 1
1.1前言 1
1.2表面電漿共振在生醫感測上的應用 2
1.3氮化物量子井的特性 3
1.4 研究動機與章節架構 5
本文主要分成四個章節: 6
第二章、實驗原理、方法與儀器 7
2.1表面電漿共振的原理 7
2.2金屬奈米結構與表面電漿的耦合原理 14
2.3表面增強拉曼原理介紹 16
2.4掃描式電子顯微鏡(SEM)的原理 17
2.5快速熱退火(RTA)的原理 19
2.6金銀複合金屬的選擇性濕蝕刻 20
2.7光激發螢光光譜原理介紹 21
2.8磊晶結構及製程步驟 23
第三章、分析與討論 26
3.1退火時間對金屬奈米結構的影響 26
3.2光激發螢光頻譜的變化 28
3.3表面增強拉曼光譜探討 32
3.4材料穩定性的評估 37
第四章、結論與未來展望 40
4.1結論 40
4.2未來發展 41
參考文獻 42

參考文獻

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指導教授

賴昆佑(Kun-Yu Lai)

審核日期

2019-7-12

推文