博碩士論文 87226022 詳細資訊




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姓名 袁崑益(Kuin-Yi Young)  查詢紙本館藏   畢業系所 光電科學與工程學系
論文名稱 光學薄膜熱傳導特性量測之研究
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摘要(中) 熱的特性中,熱傳導係數是蠻常見的材料特性參數。熱傳導係數在塊材時和製鍍成薄膜後,會有不同,甚至不同製成條件,也會有不同的熱傳導係數。在本文中,希望能以較精確的理論和架構求得薄膜的熱傳導係數,以及控制薄膜的製成條件,來提升熱傳導係數。
關鍵字(中) ★ 熱傳導 關鍵字(英)
論文目次 摘要……………………………………….……………………………Ⅰ
誌謝……………………………………….……………………………Ⅱ
目錄……………………………………….……………………………Ⅲ
圖目錄…………………………………….……………………………Ⅴ
表目錄…………………………………….……………………………Ⅵ
正文 ……………………………………….……………………………1
一. 導論……………………………….……………………………1
二. 基本理論……………………………….………………………2
三. 實驗架構及步驟
3-1 蒸鍍系統………………….……………….…………….8
3-1-1 真空系統……………………………………………8
3-1-2 薄膜材料蒸發系統……………………………….9
3-1-3 離子源輔助鍍膜系統………………….…………9
3-1-4 監控系統……………………………….…..……10
3-2 量測系統………………………………….………………10
3-2-1 可見光及近紅外光量測系統……………………11
3-2-2 熱傳導量測儀…………………………...……11
3-3 實驗步驟………………….……………….………….12
3-3-1 以蒸鍍系統蒸鍍待測的材料……………………12
3-3-2 以自製的熱傳導量測熱儀量測…………………13
四. 實驗結果………………….………………….……………..16
4-1 薄膜的光學常數及熱傳導係數量測結果…………16
4-1-2 結果分析……………………………………24
4-2 與其它參考文獻的比較………………………….25
4-2-1 與參考文章(10)的比較……………………25
4-2-2 各種量測方式的比較………………………25
4-2-2-1 Photothermal 的量測方式…………28
4-2-2-2 ISLC ……………………………..…30
五. 結論…………………………………………………...……33
參考資料………………………………………………………………34
參考文獻 參考資料:
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16. 曲喜新,”現代化介質薄膜”,電子元件與材料 第十五卷第四期 1996年八月 p1-4
指導教授 李正中(Cheng-Chung Lee) 審核日期 2000-6-29
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