光學薄膜厚度均勻性之研究

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莊凱評(Kie-Pin Chuang) 查詢紙本館藏

畢業系所

光電科學與工程學系

論文名稱

光學薄膜厚度均勻性之研究

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摘要(中)

要如何控制膜厚均勻分布，就必須先對基板相對蒸發源的幾何位置擺設所造成的影響有所了解，進而探討蒸發源特性及成膜過程之物理特性。以作為設計改善膜厚均勻性時之參考，而達成改善厚度分布均勻性之目標。
然而，在整個研究過程中，對整個鍍膜系統之架構設計，對厚度分布均勻性及薄膜品質，造成何種程度的影響有所了解。同時，亦建立了研究時應有的基本態度與方法，以作為往後解決問題能力之基礎。

關鍵字(中)

★ 薄膜
★ 均勻性

關鍵字(英)

論文目次

第一章緒論 …………………………………………………..…….1
第二章理論分析 ……………………………………………..…….3
2.1 膜厚分布理論分析 ……………………………………..…..3
2.1.1 點源之討論 ……………………………………….…3
2.1.2 面源之討論 ………………………………………….4
2.2 各型旋轉基板支撐架之模擬膜厚分布公式推導 …………6
2.2.1 傾斜型旋轉平面基板支撐架 ……………………….6
2.2.2 傾斜型旋轉行星式基板支撐架 …………………….9
2.3 成膜過程的理論分析 ………………………………………12
2.3.1 離子束濺射靶材之碰撞理論 ……………………….12
2.3.2 薄膜沈積過程之假設 ……………………………….15
第三章儀器及量測工具 ……………………………………………17
3.1 濺鍍系統 …………………………………………………….17
3.2 原子力顯微鏡 ……………………………………………….17
3.3 光譜儀之量測 ……………………………………………….20
第四章實驗結果與分析討論 ………………………………………21
4.1 膜厚分布之探討 …………………………………………….21
4.1.1 蒸發源的發射特性 …………………………………..21
4.1.2 平面旋轉基板之單層膜實驗模擬比較 ……………..25
4.1.2.1 虛高因子 …………………………………...27
4.1.2.2 殘餘氣體分子之影響 ……………………...28
4.1.3 多層膜之實驗模擬膜厚分布 ………………………..30
4.2 薄膜分布之光學特性探討 …………………………………33
4.3 改善膜厚均勻性之分析 ……………………………………37
4.3.1 基板之架構設計 …………………………………….37
4.3.2 遮板之設計 ………………………………………….40
第五章結論 …………………………………………………………42
參考資料 ……………………………………………………………..43

參考文獻

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指導教授

李正中(Cheng-Chung Lee)

審核日期

2000-6-22

推文