博碩士論文 88226037 詳細資訊


姓名 馬景時( Jing-Sh Ma)  查詢紙本館藏   畢業系所 光電科學與工程學系
論文名稱 氮化鎵藍色發光二極體透明電極之製作與研究
檔案 [Endnote RIS 格式]    [Bibtex 格式]    [檢視]  [下載]
  1. 本電子論文使用權限為同意立即開放。
  2. 已達開放權限電子全文僅授權使用者為學術研究之目的,進行個人非營利性質之檢索、閱讀、列印。
  3. 請遵守中華民國著作權法之相關規定,切勿任意重製、散佈、改作、轉貼、播送,以免觸法。

摘要(中) 由於薄金屬電極有遮光,及電流不易均勻擴散等缺點,因此我們也研究銦錫氧化膜與p型氮化鎵的接觸,但因為銦錫氧化膜為一n型半導體材料,不易形成歐姆接觸,所以我們亦嘗試加入薄金屬改善其接觸特性。
關鍵字(中) ★ 氮化鎵
★ 藍光
★ 發光二極體
★ 鎳
★ 金
★ 銦錫氧化膜
★ 歐姆接觸
關鍵字(英) ★ GaN
★ blue
★ LED
★ Ni
★ Au
★ ITO
★ ohmic
論文目次 論文摘要………………………………………………………Ⅰ
目錄…………………………………………………………..Ⅱ
圖目……………………………………………………………Ⅲ
第一章 緒論…………………………………….………….1
第二章 傳輸線模型元件及量測分析
2.1歐姆接觸原理…………………………………………….4
2.2 p型氮化鎵的歐姆接觸………………………………...6
2.3傳輸線模型理論………………………………………...8
2.4傳輸線模型元件的製作…………………………………12
2.5實驗結果與討論…………………………………………14
第三章 藍色發光二極體之製作與分析
3.1氮化鎵藍色發光二極體工作原理………………………20
3.2氮化鎵藍色發光二極體元件製程………………………22
3.3氮化鎵藍色發光二極體特性……………………………23
3.4利用銦錫氧化膜避免電流擁擠效應……………………25
3.5實驗結果與討論…………………………………………25
第四章 結論……………………………………………… 27
參考文獻…………………………………………………. 28
參考文獻 1. S. Nakamura, T. Mukai, and M. Senoh, Appl. Phys. Lett. 64, 1687 (1994)
2. T. Mukai, D. Morita, and S. Nakamura, J. Cryst. Growth 189/190, 778(1998)
3. S. Nakamura and G. Fasol, The Blue Laser Diodes (Springer, Heidelberg, 1997)
4. T. Mukai, H. Narimatsu, and S. Nakamura, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 37, L479 (1998)
5. S. Nakamura, M. Senoh, N. Iwasa, S. Nagahama, T. Yamada, and T.Mukai, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 34, L1332 (1995)
6. S. Nakamura, T. Mukai, and M. Senoh, Jpn. J. Appl. Phys., 30, 1998 (1991)
7. G. S. Nakamura, Semicond. Sci. Technol. 14,R27(1999)
8. K. Nakamo, S. Tomiya, M. Ukita, H. Yoshida, S. Itoh, E. Morita, M. Ikeda, and A.Ishibashi, J. Electron Mater., 25, L213(1995)
9. J. I. Pankove, E. A. Miller, and J. E. Berkeyheiser, J. Lumin. 5, 84 (1972)
10. A. Amano, M. Kito, K.Hiramatsu, and I. Akassaki, Jpn. J. Appl. Phys., 28, L2112 (1989)
11. G. K. Reeves and H. B. Harrison, IEEE Electron Dev. Lett., 3, 111 (1982)
12. E. H. Rhoderick and R. H. Williams, Metal-Semiconductor Contacts, Oxford Science Publication
13. H. Kim, J. M. Lee, C. Huh, S. W. Kim, D. J. Kim, S. J. Park, and H. Hwang, Appl. Phys. Lett. 77, 1903 (2000)
14. J. K. Sheu, Y. K. Su, G. C. Chi, P. L. Koh, M. J. Jou, C. M. Chang, C. C. Liu, and W. C. Hung, Appl. Phys. Lett., 74, 2340 (1999)
15. J. K. Sheu, Y. K. Su, G. C. Chi, W. C. Chen, C. Y. Chen, C. N. Huang, J. M. Hong, Y. C. Yu, C. W. Wang, and E. K. Lin, J. Appl. Phys., 83, 3172(1998)
16. J. K. Kim, J. H. Je, J. W. Lee, Y. J. Park, T. Kim, I. O. Jung, B. T. Lee, and J. L. Lee, J. Electron Mater., 30, L8(2001)
17. C. Huh, S. W. Kim, H. M. Kim, H. Hwang, and S. J. Park, Appl. Phys. Lett., 78, 1766 (2001)
18. I. Shalish, Y. Shapira, L. Burstein, and J. Salzman, J. Appl. Phys., 89, 390(2001)
19. J. K. Kim, J. L. Lee, J. W. Lee, Y. J. Park, and T. Kim, Electron. Lett., 35, 1676 (1999)
20. J. K. Kim, J. L. Lee, J. W. Lee, H. E. Shin, Y. J. Park, and K.Tim, Appl. Phys. Lett., 73, 2953 (1998)
21. J. Sun, K. A. Rickert, J. M. Redwing, A. B. Ellis, F. J. Himpsel, T. F. Kuech, Appl. Phys. Lett., 76, 415 (2000)
22. J. K. Ho, C. S. Jong, C. C. Chiu, C. N. Huang, and K. K. Shih , L. C. Chen, F. R. Chen, and J. J. Kai , J. Appl. Phys. 86, 4491 (1999)
23. L. C. Chin, J. K. Ho, F. R. Chen, J. J. Kai, L. Chang, C. S. Jong, C.C. Chiu, C. N. Huang, and K. K. Shih, Phys. Stat. Sol., (a) 176, 733 (1999)
24. J. K. Ho, C. S. Jong, C. C. Chiu, C. N. Huang, C.Y. Chen, and K. K. Shih, Appl. Phys. Lett., 74, 1275 (1999)
25. L. C. Chin, F. R. Chen, J. J. Kai, L. Chang, J. K. Ho, C. S. Jong, C.C. Chiu, C. N. Huang, and K. K. Shih, J. Appl. Phys. 86, 3826 (1999)
26. C. F. Chu, C. C. Yu, Y. K. Wang, J. Y. Tsai, F. I. Lai, and S. C. Wang, Appl. Phys. Lett., 77, 3423 (2000)
27. B. Menschubg, C. Liu, B. Rauschenbach, K. Kornitzer, and W. Ritter, Mater. Sci. Eng., B 50,105(1997)
28. R. G. Wilson, C. B. Vartuli, C. R. Abernathy, S. J. Pearton, and J. M. Zavada, Solid-State Electron. 38, 1329 (1995)
29. J. C. Zolper, R. G. Wilson, S. J. Pearton, and R. A. Stall, Appl. Phys. Lett. 68, 1945 (1996)
30. M. Rubin, N. Newman, J. S. Chan, T. C. Fu, and J. T. Ross, Appl. Phys. Lett. 64, 64(1994)
31. L. L. Smith, M. D. Bremser, E. P. Carlson, T. W. Weeks, Jr., Y. Huang, M. J. Kim, R. W. Carpenter, and R. F. Davis, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 395,861(1996)
32. T. Kim, M. C. Yoo, and T. Kim, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 449, 1061 (1997)
33. L. Zhou, A.T. Ping, F. Khan, A. Osinsky and I. Adesida, Electronic Lett. 36, 91 (2000)
34. K. V. Vassilevski, M. G. Rastegaeva, A. I. Babanin, I. P. Nikitina, and V. A. Dmitriev, MRS Internet J. Nitride Semicond. Res. 1,38(1996)
35. D. J. King, L. Zang, J. C. Ramer, S. D. Hersee, and L. F. Lerter, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 468, 421 (1997)
36. H. Ishikawa, S. Kobayashi,Y. Kodie, S. Yamasaki, S. Nagai, J. Umezaki, M. Koike, and M. Murakami, J. Appl. Phys. 81, 1315 (1997)
37. S. J. Pearton, J. C. Zolper, R. J. Shul, and F. Ren, J. Appl. Phys. 86, 1 (1999)
38. D. Qiao, L. S. Yu, S. S. Lau, J. Y. Lin, H. X. Jiang, T. E. Haynes, J. Appl. Phys. 88, 4196 (2000)
39. H. Kawazoe, M. Yasukaws, H. Hyodo, M. Kurita, H. Yanagi and H. Hosono, Nature, 389, 939 (1997)
40. C. T. Lee, and H. W. Kao, Appl. Phys. Lett. 76, 2364 (2000)
41. T. Margalith, O. Buchinsky, D. A. Cohen, A. C.Abare, M. Hansen, S. P. DenBaars, and L. A. Coldren, Appl. Phys. Lett. 74, 3930 (1999)
指導教授 李清庭(Ching-Ting Lee) 審核日期 2001-7-7
推文 facebook   plurk   twitter   funp   google   live   udn   HD   myshare   reddit   netvibes   friend   youpush   delicious   baidu   

若有論文相關問題,請聯絡國立中央大學圖書館推廣服務組 TEL:(03)422-7151轉57407,或E-mail聯絡