博碩士論文 88323058 詳細資訊




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姓名 徐敏雯(Ming-Wen Xu )  查詢紙本館藏   畢業系所 機械工程研究所
論文名稱 58Bi42Sn無鉛銲料與Au、Ni基材界面反應及Ni-Bi-Sn三元平衡相圖之研究
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摘要(中) 目前盛行的球矩陣排列封裝(BGA)之銲點墊層之表面處理層是以
鍍Ni 再鍍Au 的Au/Ni 雙金屬層為主。目前銲錫球的組成是以Pb-Sn 共
晶合金為主,但無鉛銲料的使用是未來發展的趨勢。因此,無鉛銲料與
Au/Ni 表面處理的墊層之間的反應是非常重要的。其中58Bi-42Sn(wt.%)
為微電子用無鉛銲料的主要候選材料之一,所以本論文中選定以
58Bi-42Sn 合金(以下簡稱BiSn)為研究對象,探討58Bi-42Sn 與Au 及
Ni 間之反應。
本論文進行三部分實驗,第一部分是Au 箔與BiSn 銲錫之反應,第
二部分是Ni 與液態58Bi-42Sn 之固/液反應,第三部分則是對Ni-Bi-Sn
三元平衡相圖作一初步之研究。
第一部分包含Au 箔與液態BiSn、Au 箔與固態BiSn 兩種反應。在
Au 箔與液態BiSn 銲錫之反應中,反應於160、180、200 及220℃四個
溫度進行,反應時間1~7 小時不等。在160~220℃反應中,Au 箔與BiSn
銲錫的界面生成二層介金屬,由EPMA 分析得知分別為AuSn2 及AuSn,
介金屬總厚度隨反應時間增加而緩慢增加。另外在BiSn 合金中發現有細
長狀的介金屬生成,因為太小了,所以無法由EPMA 分析其組成。此一
部分反應生成的介金屬相生長活化能為38 KJ/mol。
在Au 箔與固態BiSn 銲錫之反應中,溫度105℃,時間24 小時,經
固態熱處理後,銲料中細長狀介金屬型態明顯變粗大。經EPMA 分析得
知為Au-Bi-Sn 三元化合物。界面處除了AuSn2 及AuSn 兩種介金屬外,
在AuSn2 上方,發現有另一層介金屬生成。EPMA 分析得知此介金屬與
銲料中細長狀介金屬同為Au-Bi-Sn 化合物。
I
I
本論文第二部分,探討Ni 與液態58Bi-42Sn 合金之反應,以Ni 片
插入熔融銲料中反應。此部分分為三組實驗,第一組為冷卻速率實驗,
是在相同反應溫度420℃及時間48 小時,反應後以五種不同的冷卻速率
使合金完全凝固。實驗可觀察到隨著冷卻速率的遞減,銲料中介金屬的
型態也愈變愈粗大,數量則變少。因此推論遠離界面銲料中之介金屬為
冷卻時生成。此介金屬經EPMA 分析得知為Ni3Sn4。
第二組實驗為Ni 與液態BiSn 合金之界面反應。反應於180、240、
300、360 及420℃五個溫度進行反應,反應時間為3?48 小時不等。在
180~240℃反應中,Ni 與BiSn 合金的界面僅有一薄生成物層,其組成由
EPMA 分析得知為Ni3Sn4。溫度300~360℃時,在Ni3Sn4 與Ni 之間的界
面有另一層介金屬生成,EPMA 分析為Ni3Sn2。溫度420℃時,除了Ni3Sn4
及Ni3Sn2 外,還發現Ni3Sn 的生成。180~420℃反應生成的Ni3Sn4 生長活
化能為34 KJ/mol。
第三組實驗為搖晃實驗,反應溫度180℃,時間26 小時。反應完成
後,立即進行搖晃,而後吹風凝固、淬火。未搖晃時,Ni3Sn4 僅在界面
附近出現,在遠離界面的合金中並未發現生成物。搖晃後的樣品,界面
附近的Ni3Sn4 會因為搖晃的關係而移動到距離界面較遠的銲料中,因此
證明出界面處部分脫離之塊狀Ni3Sn4 為反應時所生成,而不是在合金冷
卻時生成。。
第三部分實驗是對Ni-Bi-Sn 三元平衡相圖進行研究,我們以金相觀
察、電子微探儀及X光繞射等分析方法測定出125℃靠近BiSn 端的相圖
型態及450℃靠近NiBi 端部分的相圖型態。125℃相圖部分,本研究證
實Ni3Sn4-Bi-Sn 在125℃形成一三相區,其中約有2.5 at. % Bi 溶於Sn 中。
450℃相圖部分,NiBi-Ni3Sn-NiBi3 形成一三相區,NiBi 中Sn 的最大溶解約4at.%;而Ni3Sn-NiBi3-Bi 則形成另一三相區。
論文目次 摘 要........................................................................................................I
目 錄.....................................................................................................IV
圖 目 錄....................................................................................................VII
表 目 錄...................................................................................................XIII
符號說明....................................................................................................XV
第 一 章 緒論
1.1 研究背景.............................................................................. 1
1.1.1 微電子構裝..................................................................1
1.1.2 銲接.............................................................................9
1.1.3 銲料........................................................................... 14
1.1.4 無鉛銲料.................................................................... 18
1.2 研究目的.............................................................................. 26
第 二 章 文獻回顧
2.1 Au/Sn 反應實驗文獻回顧.................................................... 28
2.2 Ni/Sn 反應實驗文獻回顧..................................................... 31
2.3 Ni/Bi 反應實驗文獻回顧..................................................... 39
2.4 Bi-Sn 銲料反應文獻回顧..................................................... 47
2.5 實驗規劃.............................................................................. 51
第 三 章 實驗方法及步驟
3.1 Au 箔與液態BiSn 銲錫球之界面反應.................................. 52
3.2 Ni 與液態BiSn 反應............................................................. 59
3.2.1 Ni 與液態BiSn 之界面反應........................................ 59
3.2.2 Ni 與液態BiSn 界面反應之不同冷卻速率實驗...........64
3.2.3 Ni 與液態BiSn 界面反應之搖晃實驗......................... 67
3.3 Ni-Bi-Sn 三元平衡相圖之實驗.............................................. 68
第 四 章 Au 箔與液態BiSn 銲錫球反應之實驗結果與討論
4.1 Au 箔與液態BiSn 銲錫球之反應.......................................... 73
V
4.1.1 顯微鏡金相觀察:介金屬生長形態.......................... 73
4.1.2 介金屬生長動力學..................................................... 84
4.1.3 EPMA 組成分析........................................................ 91
4.2 Au 箔與固態BiSn 銲錫球之反應......................................... 92
4.2.1 顯微鏡金相觀察:介金屬生長形態........................... 92
4.2.2 EPMA 組成分析......................................................... 98
4.3 Au 箔與液態BiSn 銲錫球反應之討論.................................. 99
4.3.1 介金屬形態................................................................ 99
4.3.2 介金屬生長厚度與生長動力學................................ 101
第 五 章 Ni 與液態BiSn 反應之實驗結果與討論
5.1 Ni 與液態BiSn 反應之冷卻速率實驗................................. 103
5.1.1 顯微鏡金相觀察:銲料中介金屬生長形態.............. 103
5.1.2 EPMA 組成分析....................................................... 106
5.2 Ni 與液態BiSn 之界面反應.............................................……107
5.2.1 顯微鏡金相觀察:介金屬生長形態........................ 107
5.2.2 介金屬生長動力學................................................... 119
5.2.3 EPMA 組成分析..................................................... 125
5.3 Ni 與液態BiSn 界面反應之搖晃實驗................................. 126
5.3.1 顯微鏡金相觀察:介金屬生長形態......................... 126
5.4 Ni 與液態BiSn 反應之討論................................................ 128
5.4.1 介金屬形態............................................................... 128
5.4.2 介金屬生長厚度與生長動力學................................. 135
5.4.3 介金屬Ni3Sn4 生成之機制........................................ 142
第 六 章 Ni-Bi-Sn 三元平衡相圖之研究
6.1 125℃靠近BiSn 端之Ni-Bi-Sn 三元平衡相圖.................... 144
6.1.1 靠近BiSn 端Ni3Sn4-Bi-Sn 三角形區域之分析結果.. 144
6.1.1.1 顯微鏡金相觀察結果...................................... 146
6.1.1.2 XRD分析結果............................................... 146
V
I
6.1.1.3 EPMA 分析結果............................................. 146
6.1.2 Ni3Sn4-Bi-Sn 三角形區域相圖之總結....................... 149
6.2 450℃靠近NiBi 端之Ni-Bi-Sn 三元平衡相圖.................... 150
6.2.1 靠近NiBi 端Ni3Sn-NiBi-NiBi3-Bi 區域之分析結果.150
6.2.1.1 顯微鏡金相觀察結果...................................... 150
6.2.1.2 XRD 分析結果.............................................. .154
6.2.1.3 EPMA 分析結果............................................. 154
6.2.2 靠近NiBi 端Ni3Sn-NiBi-NiBi3-Bi 區域之總結......... 159
第 七 章 結論
7.1 Au 箔與液態BiSn 銲錫球之界面反應................................ 161
7.2 Ni 與液態BiSn 之反應........................................................ 163
7.3 Ni-Bi-Sn 三元平衡相圖之研究............................................ 165
參考文獻
附 錄、Ni3Sn4 XRD 圖譜之建立.......................................................... 172
a. 實驗方法與步驟............................................................... 172
b. 實驗結果與討論............................................................... 173
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指導教授 李勝隆(Sheng-long Lee) 審核日期 2001-6-29
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