博碩士論文 89226034 詳細資訊




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姓名 張育淇(Yu-Chi Chang)  查詢紙本館藏   畢業系所 光電科學與工程學系
論文名稱 極化繞射光學元件製作與檢測
(極化繞射光學元件製作與檢測)
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摘要(中) 本文利用具雙折射性質的方解石晶體,以及折射率匹配塑膠,製作出偏極化選擇的繞射式光學元件。使之對入射光的偏極化方向具有選擇性,只讓特定偏極方向的光波產生繞射。
在兩種不同切割方向的方解石基板上,我們以濕蝕刻製作了線寬從4μm到8μm的二階光柵圖案,加上匹配塑膠層後成為一偏極化的分光元件。在測試繞射光強的分布後,發現所製作的元件能夠用軟體模擬出其繞射行為。
濕蝕刻的過程中,我們觀察到呈現矩形與V字型的蝕刻溝槽,因此我們設計並且製作了具有V-型光柵結構的偏極片,光柵週期為8μm、12μm與16μm。此元件使特定方向的偏極光產生繞射,而讓原入射方向只剩下另一偏極方向的光,我們量測的消光比最小到達0.009。
關鍵字(中) ★ 方解石
★ 光學元件
★ 極化繞射
關鍵字(英) ★ diffraction optical element
★ Polarization selective
論文目次 論文摘要
目錄
圖表索引
第一章、序論
第二章、基本原理
2-1 極化繞射光學元件結構
2-2 二階相位光柵
2-3方解石晶體及光學特性
2-4元件
第三章、元件製作
3-1方解石基板製備
3-2微影製程
3-3 蝕刻製程.
3-4塗佈折射率匹配塑膠
第四章、方解石的蝕刻
4-1 ﹛10 1﹜解理面
4-2 ﹛11 0﹜面
4-3 等向性與非等向性蝕刻
4-4蝕刻的問題
第五章、元件與繞射效率
5-1 ﹛10 1﹜解理面
5-2 ﹛11 0﹜面
5-3 線性偏極片
第六章、結論
參考文獻
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指導教授 張正陽(J. Y. Chang) 審核日期 2002-7-10
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