博碩士論文 89323108 詳細資訊




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姓名 杜茂楓(Mao-feng Du)  查詢紙本館藏   畢業系所 機械工程學系
論文名稱 光強調變雷射書寫機之研製
(Laser direct writer with light intensity modulation)
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摘要(中) 國內對於灰階光罩的製程及機台尚屬於起步的研究階段,因此在本論文主要為研發灰階光罩的製作機台,名為光強調變雷射書寫機,並且利用此機台作實際的灰階光罩書寫並加以檢測,同時也將此灰階光罩經由半導體製程所製作出的成品加以量測比較,進而得知此機台所製作出的光罩是否達到要求,並以此來改善機台之精確性與可靠性,進而製作出符合需求的灰階光罩。
摘要(英) Traditionally, the diffractive optical element (ODE) is made by using the multiple binary-level lithography processes to enhance the diffractive efficiency. Due to the multiple exposures, the manufactory error will be included and more complicate processes is need to be considered. Therefore, to overcome these problems, the grey level mask can be used, in which only one exposure is needed to fabricate the optical element.
This project presents that a laser machine with light intensity modulation to fabricate grey level masks. In the writer system, a solid-state laser with the power of 180 mw is used as the working light source. The processed target is laser direct write glass developed by the Canyon Material company. An acoustic-optics modulator (AOM) is used to modulate the laser intensity. To make sure the result of the processed mask, a measurement system is built. The laser direct writer system is already out of the binary methods to manufacture optical mask. The optical elements designer can use the LDW system to design any appropriate mask. Thus, the LDW system is a quite useful system for the ODEs.
關鍵字(中) ★ 雷射書寫機
★ 光強調變
★ 灰階光罩製作
關鍵字(英) ★ LDW glass
論文目次 摘要 i
Abstract ii
目錄 iii
圖 v
表 viii
第一章 緒論 1
1-1前言 1
1-2研究動機與目的 2
1-3文獻回顧 3
第二章 光強調變雷射書寫機 5
2-1系統架構 5
2-2程式操控 7
第三章 雷射書寫系統 11
3-1微處理器控制 12
3-2光強調變 14
3-2-1聲光調變器 14
3-2-2電路控制 16
3-2-3傳輸界面資料下載 22
3-2-4資料量與記憶體擴充 25
3-2-5書寫程序控制與外部中斷 26
3-3書寫系統流程 29
3-3-1書寫系統整合 29
3-3-2書寫程序 34
3-4書寫系統校正 40
第四章 離線自動對焦 45
4-1影像濾波前處理 45
4-2自動對焦流程 47
4-3對焦校正 51
第五章 灰階光罩製作 54
5-1系統操控 54
5-2實驗結果與討論 56
第六章 結論 63
參考文獻 65
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指導教授 陳顯禎(S. J. Chen) 審核日期 2002-7-9
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