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姓名 陳松昇(song-sang chen)  查詢紙本館藏   畢業系所 物理學系
論文名稱 低溫成長氮化鎵薄膜之特性研究
(Material Characterizations of Low temperature grown GaN films)
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摘要(英) This issue is discovered the material characterizations of low temperature growth GaN films:including electricity,optical properties,structure.
關鍵字(中) ★ 低溫成長的氮化鎵 關鍵字(英) ★ LT-GaN
論文目次 第一章簡介… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 1
第二章實驗原理與實驗裝置… … … … … … … … … … … … … … … … … 2
2-1 雜質的摻雜… … … … … … … … … … … … … … … ...… .2
2-2 離子佈植的基本理論… … … … … … … … … … … … ....2
2-2.1 離子佈植的分佈及範圍… … … … … … … … … … … … 2
2-2.2 脫序… … … … … … … … … … … … … … … … … ..… … ..5
2-2.3 退火… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 6
2-2.4 通道理論… … … … … … … … … … … … … … … … … … 6
2-3 離子佈植系統… … … … … … … … … … … … … … … .....7
2-4 霍爾量測… … … … … … … … … … … … … … … … … ....7
2-4.1 霍爾量測實驗原理… … … … … … … … … … … … … … 7
2-4.2 霍爾量測實驗裝置… … … … … … … … … … … … … 8
2-5 光性量測… … … … … … … … … … … … … … … … … … ...9
2-5.1 光激發光量測系統… … … … … … … … … … … … … 9
2-5.2 吸收光譜量測系統… … … … … … … … … … … … ..10
2-6 X-ray 繞射… … … … … … … … … … … … … … … … ...… 12
2-6.1 X-ray 繞射之基本理論… … … … … … … … … … … 12
2-6.2 X-ray 繞射之量測裝置… … … … … … … … … … … 15
2-7 原子力顯微鏡量測系統… … … … … … … … … … … .15
第三章低溫成長氮化鎵熱處理後之特性量測… … … … … … … … … … ..17
3-1 霍爾電性之量測… … … … … … … … … … … ...… … … ..17
3-2 光性量測… … … … … … … … … … … … … … … … ...… ..17
3-2.1 光激發光譜之量測… … … … … … … … … … … … ..17
3-2.2 吸收光譜之量測分析… … … … … … … … … … … ..18
3-3 X-ray 之量測分析… … … … … … … … … … … … … … ...20
3-3.1 q -2q scan… … … … … … … … … … ......… … … … ..20
3-3.2 Rocking curve… … … … … … … … … … … … … … .21
3-4 X-ray 量測結論… … … … … … … … … … … … … … … ...21
第四章低溫成長氮化鎵離子佈植後之特性量測… … … … … … … … … ...22
4-1 霍爾電性之量測分析… … … … … … … … … … … … … .22
4-1.1 改變活化時間… … … … … … … … … … … … … … ..22
4-1.2 改變佈植量… … … … … … … … … … … … … … … ..23
4-2 光性量測… … … … … … … … … … … … … … … … … ...25
4-2.1 光激發光譜之量測… … … … … … … … … … … … ..25
4-2.2 吸收光譜之量測分析… … … … … … … … … … … ..25
4-3 X-ray 繞射之量測分析… … … … … … … … … … … … … .28
4-3.1 q -2q scan… … … … … … … … .… … … … … … … ...28
4-3.2 Rocking curve… … … … … … … … … … … … … … ...30
4-4 原子力顯微鏡之量測分析… … … … … … … … … … … .31
第五章總論與未來工作… … … … … … … … … … … … .… … … … ..… ..33
5-1 總論… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 33
5-2 未來工作… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 35
參考資料… … … … … … … … … … … … … … … … … … … ..… ..74
參考文獻 參考資料
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6.鄧堯中, “X光分析成長在藍寶石基板上氮化鎵緩衝層”
7.許樹恩, 吳泰伯, “X光繞射原理與材料結構分析
指導教授 紀國鍾(G. C. Chi) 審核日期 2003-7-15
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