半導體晶圓平坦度量測

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姓名

陳長清(Chang-Ching Chen) 查詢紙本館藏

畢業系所

光電科學研究所碩士在職專班

論文名稱

半導體晶圓平坦度量測
(Two dimensional electric field sensors)

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摘要(中)

摘要
本研究係使用二維電子感測器進行半導體晶圓平坦度之量測，利用其高精密及高靈敏之測距能力，本研究的原理是使用波形產生器產生等電位波形，在晶圓表面形成的等電位場，當晶圓表面高度有差異(也就是說不平坦時)，等電位場會產生偏移的狀況，由四端子感測棒，所感測的不同電壓差值，即可得知電位差及高度差，進而算出晶圓之平坦度。
本研究所介紹之二維電子感測器其利用四點探針，其主要元件包括，緩衝器、加減法器、反像放大器、高通濾波器、低通濾波器等，用以偵測X方向及Y方向之電位差，由此推測晶圓表面之X方向及Y方向之高度差，進而算出晶圓之平坦度。
除此之外，亦可用於玻璃面板之平坦度量測。

摘要(英)

Two dimensional electric field sensors
Abstract
This research is introduced by two dimension electrical sensors for measuring flatness of semiconductor wafer, using high sensitive and more precision capability of this equipment for measurement. The principle of this research makes use of same level of electrical field within wafer, when wafer surface are different height and it means have variation within wafer. The sensor can detect them by different delta voltage and transfer to height. In other word, it means from voltage domain to distance domain. Then we can use height of every point to calculate flatness (GBIR) of wafer.
This research is introduced by two dimension electrical sensors for measuring flatness of semiconductor wafer, its major device is included by a buffer, add and subtraction unit, amplifier, high p filter and low p filter, this device is used to detect delta voltage in X and Y direction, then also transfer to delta height in X and Y direction, then we can get flatness of wafer.
Except this, we also can use this equipment to measure flatness of TFT-LCD glass plate.

關鍵字(中)

★ 晶圓量測

關鍵字(英)

★ wafer flatness measurement

論文目次

目錄
第一章總論 --------------------------1
1.1 研究背景 ---------------------------------1
1.2研究動機 ---------------------------------2
1.3研究目的 ---------------------------------2
1.4研究方法 ---------------------------------3
1.5 緒論 -------------------------------------4
第二章文獻回顧 --------------------------4
第三章傳統的方法及原理 ---------------6
第四章實驗原理 --------------------------8
4.1 裝置原理說明 -------------------------10
4.2 裝置電路圖說明 ---------------------11
第五章實驗方法 ----------------------------13
5.1實驗設備 ----------------------------13
5.2 實驗步驟 ----------------------------14
第六章實驗結果 ----------------------------15
6.1 實驗數據 ----------------------------16
6.2 數據分析 --------------------------------25
第七章討論 -----------------------------------28
第八章結論與展望 ------------------------33
8.1 結論 -----------------------------------33
8.2 建議與展望 ----------------------------34
參考文獻 ---------------------------------------35
附錄一投稿英文期刊資料 ----------------38

參考文獻

參考文獻
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指導教授

張榮森(Rong-Seng Chang)

審核日期

2006-7-17

推文