界面活性劑改善玻璃微孔電化學放電成形精度的影響

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王家威(Jia-Wei Wang) 查詢紙本館藏

畢業系所

機械工程學系

論文名稱

界面活性劑改善玻璃微孔電化學放電成形精度的影響
(Effects of the surfactant additive improves the shape accuracy of the Micro-hole of the glass)

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摘要(中)

摘要
電化學放電加工被運用來加工陶瓷材料，但大多的研究上皆採用直流電為能量的輸入型態，以致微孔的入口處會有嚴重的擴孔現象，材料甚至會因連續的放電火花而產生微裂痕。因此本文以變化電極幾何形狀搭配脈衝電壓為電化學放電加工時的能量輸入形態，並結合界面活性劑在硼矽玻璃上鑽微孔，探討加工後微孔的形狀精度、尺寸及加工時間。
實驗結果發現，將直徑200μm之圓柱電極改成扁平電極，入口擴孔量有20％的改善率；接著，在電解液中添加界面活性劑，在添加的最佳濃度20ppm狀況下，微孔擴孔量的改善率可提昇至28％，但在加工時間上並無明顯改善。
最後以扁平電極搭配脈衝電壓為電化學放電加工時的能量輸入形態，並結合添加界面活性劑於電解液中，入口的擴孔量相較於最初以圓柱電極採用DC直流電壓輸入所鑽的微孔，有非常明顯的改善，且微孔的表面型態也獲得良好的改善。當在脈衝供給時間比脈衝休止時間比為2ms：1ms時達到最好，擴孔量改善率達60％，且加工時間可由86.6秒降至55秒。

摘要(英)

Abstract
Most of the research used the rectified DC voltage to machine the micro-hole on the Borosilicate Glass in ECDM process. One of the drawbacks is seriously inlet reaming. Extremely, the material will form micro-crack because of continuously discharge spark. This study investigate the shape accuracy and size of the micro-hole and the machining time with changing the electrode geometry, finding the best switch on and switch off time ratio, and adding surfactant into the dielectric.
The experimental results show that the reaming of the micro-hole decrease 20% by changing cylinder electrode into flat side wall electrode, 28% by adding the best surfactant concentration combined the flat side wall electrode.
Finally, the flat side wall electrode combine the pulse voltage and add surfactant into dielectric. The result shows the distinct improvement in the inlet reaming and the machine time

關鍵字(中)

★ 玻璃加工
★ 電化學放電加工

關鍵字(英)

★ glass machining
★ ECDM

論文目次

總目錄
摘要--------------------------------------------------------------------------------Ⅰ
Abstract --------------------------------------------------------------------------Ⅱ
謝誌--------------------------------------------------------------------------------Ⅲ
總目錄-----------------------------------------------------------------------------Ⅵ
圖目錄-----------------------------------------------------------------------------Ⅷ
表目錄-----------------------------------------------------------------------------Ⅸ
一、緒論 -------------------------------------------------------------------------1
1-1 研究動機 --------------------------------------------------------------1
1-2文獻回顧 --------------------------------------------- -----------------4
1-3 研究目的-------------------------------------------- -------------------5
二、實驗原理------------------------------------------------- ---- ---------------6
2-1 基本原理--------------------------------------------- ------------------6
2-2 ECDM的電化學反應 ------------------------------ -----------------8
2-3 ECDM的放電火花產生原理----------------------- ---------------10
2-4 ECDM的材料去除機制--------------------------- -----------------12
2-5 鹼對玻璃的侵蝕 ----------------------------------------------------15
三、實驗設備與方法 ---------------------------------------------------------16
3-1實驗材料---------------------------------------------------------------16
3-1-1 電解液---------------------------------------------------------16
3-1-2 碳化鎢電極 -------------------------------------------------17
3-1-3 石墨電極 ----------------------------------------------------17
3-1-4 硼矽玻璃 ----------------------------------------------------18
3-1-5 界面活性劑 -------------------------------------------------19
3-2實驗設備 -------------------------------------------------------------21
3-2-1 電化學放電加工設備 -------------------------------------21
3-2-2 電源供應器 -------------------------------------------------23
3-2-3 電極整修設備 ----------------------------------------------24
3-2-4 純水機 -------------------------------------------------------25
3-2-5 超音波洗淨機 ----------------------------------------------25
3-2-6 掃描式電子顯微鏡 ----------------------------------------26
3-3 實驗流程 -------------------------------------------------------------27
3-4 實驗參數設定 -------------------------------------------------------28
3-5 實驗步驟 -------------------------------------------------------------29
3-5-1 碳化鎢電極的整修------------------------------------------29
3-5-2 電解液之調配------------------------------------------------32
3-5-3 ECDM機構設備的調整 -----------------------------------32
3-5-4 輸入不同實驗參數值---------------------------------------32
3-5-5 試片清洗------------------------------------------------------33
3-5-6入口孔徑與表面形態之觀察與測量----------- ---------33
四、結果與討論----------------------------------------------------------------34
4-1 電極幾何外形對ECDM微孔加工的影響----------------------34
4-2 添加界面活性劑對電化學放電微孔加工之改善效果--------46
4-3 脈衝型態能量輸入的改善效果-----------------------------------50
五、結論--------------------------------------------------------------------------63
六、參考文獻--------------------------------------------------------------------64

參考文獻

六、參考文獻
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18.Chii-Rong Yang, Po-Ying Chen, Yuang-Cherng Chiou,and Rong-Tsong Lee, Effects of mechanical agitation and surfactant additive on silicon anisotropic etching in alkaline KOH solution, Sensors and Actuators, (2004) .

指導教授

顏炳華(Biing-Hwa Yan)

審核日期

2006-7-14

推文