博碩士論文 942206023 詳細資訊




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姓名 黃柏諭(Bo-yu Huang)  查詢紙本館藏   畢業系所 光電科學與工程學系
論文名稱 以奈米壓印改善陽極氧化鋁週期性
(Fabrication of Periodic AAO Films Pre-Patterned by Nanoimprint Technology)
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摘要(中) 本篇論文利用奈米壓印系統和多次陽極處理改善磷酸型之陽極氧化鋁(Anodic Aluminum Oxide;AAO )孔洞的週期性。
首先我們分別嘗試重量百分濃度1wt%與5wt%以不同電壓(90V~180V)進行陽極處理,找出適合奈米壓印母模週期的參數後,將鋁片預先以適當溫壓進行壓印,之後再進行陽極處理,陽極處理次數為五次,透過多次陽極處理以及奈米預壓印可得到較整齊的大孔洞陽極氧化鋁膜,其光子能隙可落在可見光波段。
摘要(英) A nanoimprint system and multi-step anodization were applied to improve the arrangement of phosphoric acid type of anodic aluminum oxide (AAO).
The proper anodizing parameter to match the period of the stamp mold was found out experimentally. After that, the AAO film was carried out by 5-step anodization. The pore configuration was well arranged and could have photonic band gap in visible range.
關鍵字(中) ★ 奈米壓印
★ 陽極氧化鋁
關鍵字(英) ★ nanoimprint
★ Anodic Aluminum Oxide
★ AAO
論文目次 第一章 緒論 1
1.1前言 1
1.2研究動機 2
第二章 實驗原理 3
2.1 陽極氧化鋁膜簡介 3
2.2 陽極氧化鋁形成之化學反應 7
2.3 陽極氧化鋁形成機制 9
2.4 改善陽極氧化鋁膜週期性 11
2.5 陽極氧化鋁形成之電壓與電流關係 13
第三章 實驗裝置與量測儀器 18
3.1 實驗裝置 18
3.2 量測儀器 23
第四章 實驗步驟 27
4.1實驗流程 27
4.2實驗步驟說明 28
第五章 結果與討論 31
5.1濃度和溫度對多孔氧化薄膜的影響 31
5.2多次陽極處理效果差異 35
5.3電壓對孔洞週期的影響 36
5.4電壓對孔洞大小的影響 42
5.5利用奈米壓印系統進行預壓印 44
5.6 電解液濃度與電流關係影響定電壓陽極處理 53
第六章 總結 55
參考文獻 56
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[21] SEM原理, http://www.jeol.com/
[22] 謝明倫, “薄膜式規則性多孔陽極氧化鋁膜製作,” 國立中央大學光電科學研究所碩士論文
指導教授 李正中、陳昇暉
(Cheng-Chung Lee、Sheng-Hui Chen)
審核日期 2007-9-21
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