博碩士論文 952206017 詳細資訊




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姓名 曾家瑋(Jia-Wei Tzeng)  查詢紙本館藏   畢業系所 光電科學與工程學系
論文名稱 以鎖模鈦藍寶石飛秒雷射雙光子聚合製作光波導微結構之研究
(Fabrication of waveguiding micro-structures using two photon polymerization by mode-locked Ti:sapphire femtosecond laser)
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摘要(中) 本研究以鎖模之鈦藍寶石飛秒雷射在高分子材料中引發雙光子吸收效應以製作波導微結構。雷射光以物鏡聚焦於光阻膜中,藉由短脈衝雷射的高瞬時功率引發雙光子吸收使光阻產生聚合反應,以此機制製作出可傳輸光訊號的波導,實驗中探討多項製程參數與製作成果的關係,並與理論模型相驗證,推導出能使光阻聚合的最低閥值曝光劑量,並以此為依據成功製作出截面結構尺寸為20μm×20μm 的光波導,其在波長532nm 的傳輸損耗為0.79dB/cm。
此外,本研究也嘗試以控制光束入射方向的方式一次構裝波導與微反射面,目前尚無法完成45°之斜面供光連結技術應用,但證實改變光束入射方式可製作出擁有斜面的波導結構,利用模擬和實驗比較,為將來改良製程提供方向。
摘要(英) In this thesis, waveguiding micro-structures fabricated using two photon absorption induced polymerization are reported. Mode-locked Ti:sapphire femtosecond laser is focused via an objective lens onto a layer of photoresist which is transparent to the operating wavelength (?=800nm). Parameters such as the output power of the laser and the translation speed of the sample are scanned aiming at resolving the threshold fluence for waveguide fabrication. The experimental results were in close agreement with the theoretical calculation giving a reliable estimation to fabricate waveguides with controllable cross-sections. A polymer waveguide with 20μm×20μm in cross-section was demonstrated,and the propagation loss was measured to be 0.79dB/cm at wavelength of 532nm.
To integrate waveguides and micro-mirrors in a single fabrication step, direct write was carried out with tilted incidence. The result shows that waveguides with inclined side-walls can be achieved however exact 45-degree turning mirror was not possible due to the limitation of the refraction angle predicted by Snell’s law. Future areas of directions are discussed to overcome this problem.
關鍵字(中) ★ 雙光子吸收
★ 雙光子聚合
★ 鎖模飛秒雷射
關鍵字(英) ★ two-photon absorption
★ two-photon polymerization
★ mode locked femtosecond laser
論文目次 摘要 I
Abstract II
致謝 III
目錄 IV
圖目錄 VI
表目錄 VIII
第一章 緒論 1
1-1 前言 1
1-2 雷射直寫技術 4
1-3 雙光子吸收與雙光子微影技術 7
1-4 研究動機與論文大綱 9
第二章 理論 11
2-1 光阻的聚合機制 11
2-2 雙光子吸收 13
2-3 脈衝雷射 16
第三章 實驗步驟與結果討論 19
3-1 雷射直寫系統 19
3-2 實驗步驟 21
3-3 雷射直寫製作波導 28
3-3-1 光阻聚合閥值 28
3-3-2 波導製作成果 39
3-4 雷射直寫製作斜面結構 41
3-4-1 實驗製作斜面 41
3-4-2 以FDTD模擬光場在材料中變化 44
3-4-3 實驗、模擬與理論比較討論 50
第四章 結論與展望 52
參考資料 54
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指導教授 戴朝義(Chao-Yi Tai) 審核日期 2008-9-22
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