彩色濾光片生產線清潔生產之改善研究

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陳文照(Wen-Jaw Chen) 查詢紙本館藏

畢業系所

環境工程研究所在職專班

論文名稱

彩色濾光片生產線清潔生產之改善研究
(Improvement research of color filter production line about cleaner production)

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摘要(中)

「半導體產業」及「影像顯示產業」為政府所提出的「兩兆雙星產業」，薄膜電晶體液晶顯示器(TFT-LCD)因其輕、薄及省能的優點，因而被廣泛地應用在各項電腦、通訊及消費型電子用品(3C)上，可謂是影像顯示產業界中的明星產業。
TFT-LCD面板有五大關鍵零組件：彩色濾光片、偏光片、背光模組、驅動IC及玻璃基板。其中彩色濾光片(Color Filter；CF)為最重要的零組件，其主要的功能為藉由R、G、B三原色素的組合來表現TFT-LCD千變萬化的顏色，也因其重要性及成本考量下國內各大TFT-LCD面板廠，於第五代後的生產線便將其納入自行生產的範圍。
TFT-LCD雖然是省能環保的產品，但生產過程亦是屬於耗能產業，有鑑於此，如何在生產線規劃初期時就將清潔生產(Cleaner Production, CP)精神導入，讓「耗能」與「環保」看似衝突其實平衡的關係能夠真正實現。

摘要(英)

「Semiconductor industry 」 and 「 Display industry 」are 「Two Trillion Double Star Industry」 in Taiwan. Thin-Film Transistor Liquid-Crystal Display (TFT-LCD) has lighter ,thinner and energy-saving specialties .For the reason , TFT-LCD is widely applied in Computer, Communication and Consumer Electronics (3C).TFT-LCD is the star of the Display industry.
TFT-LCD panel has the five key parts: Color Filter
(CF),polarizer ,backlight module, driver IC and bare glass. CF is the key parts in TFT-LCD.TFT-LCD displays all kinds of color by combing Red, Green and Blue three original colors in CF. Therefore, most of the fifth generation TFT-LCD factories manufacture CF in-house.
Though TFT-LCD is a product of energy-saving and environmental-friendly, it also spends much energy in process. For the reason, it is important to scheme a manufacture line by cleaner production idea. Then, consuming-energy and environmental-friendly will be balanced.

關鍵字(中)

★ BM
★ 黑色矩陣
★ 遮光層
★ 清潔生產
★ 彩色濾光片

關鍵字(英)

★ Cleaner production
★ Color Filter (CF)
★ Black Matrices (BM)

論文目次

第一章緣起與目的 1
1.1研究緣起 1
1.2研究目的 2
第二章文獻回顧 3
2.1清潔生產與生態效率 3
2.2彩色濾光片製程簡介 10
2.2.1彩色濾光片基本結構 11
2.2.2彩色濾光片製程 12
2.2.3黑色矩陣or遮光層(Black Matrix；BM)功能 13
2.2.4 R.G.B.功能 13
2.2.5 Polish功能 19
2.2.6 ITO功能(Indium Tin Oxide，氧化銦錫膜材料為透明導電金屬) 19
2.2.7 MVA功能(Multi-domain Vertical Alignment，簡稱廣視角) 21
2.2.8 PS(Photo spacer，光阻式間隙子)功能 24
2.2.9 Repair功能 26
2.2.10正負型光阻簡介 28
2.3 BM生產線簡介 30
2.3.1Cr BM與Resin BM之製程差異 31
2.3.2前段製程與後段製程 32
2.3.3後段製程與廢棄物產出關係 35
2.4 水侯病簡介 39
第三章研究方法 43
3.1研究流程 43
3.2高壓汞燈延長實驗測試 43
3.3 3燈變2燈製程導入 45
3.4 顯影液循環延長使用實驗 48
3.5 高濃度顯影液導入 49
3.6 周波數自動調整技術 49
3.7 O.E.E.提升 52
3.7.1 O.E.E.定義 53
3.7.2事件資料庫 54
3.7.3 曝光機高壓汞燈更換方式改善 55
3.7.4 曝光方式改進 57
3.7.5 開首件手法更新 58
3.7.6 開首件法的改進：Inline-TTP 61
3.7.7 TTP熱補值法& FTP補值法 62
第四章結果與討論 65
4.1 BM各項特性值 65
4.2 3燈變2燈製程效益 69
4.3 高壓汞燈延長效益 72
4.4 顯影液效益 75
4.5 O.E.E.提升結果 79
第五章結論與建議 80
5.1 結論 80
5.2 未來方向 80
附註：專用名詞解釋 86
參考文獻 92

參考文獻

1.林杰樑：慢性鎘中毒。台灣醫誌 1989，88：298-301。
2.zh.wikipedia.org維基百科，汞中毒。(May，2008)
3.鄭森雄‧許鐘榮「水俁病」科學月刊1977年 3月 87期。
4.侯丞、何啟功：淺談汞對健康的危害，高醫醫訊月刊第十八卷第十期，1999。
5.環境資訊中心：台塑汞污泥事件的省思─淺談綠色革命。
6.Nikon team：Nikon Operation Manual 。
7.Canon team：Canon Operation Manual 1,2。
8.DECO team：DECO Operation Manual , P25。
9.友達光電網址：http://auo.com (May，2008)。
10.顧鴻壽：光電液晶平面顯示器-技術基礎及應面-Fundamental and
Applications of Qptoelectronic Liquid Crystal Display Technology 第2版。
11.USHIO株式會社網址：http://www.ushio.co.jp/en/ (March，2008)。
12.Canon半導體製造部：http://cweb.canon.jp/indtech/fpd/index.html，(March，2008)。
13.Nikon Precision Equipment：
http://www.nikon.com/products/precision/index.htm (March，2008)。
14.黃正忠：生態效益與清潔生產 P6。
15.TOPPAN版印刷株式會社網址：http://www.toppan.co.jp/(May，2008)。

指導教授

廖述良(Shu-Liang Liaw)

審核日期

2008-10-31

推文