製程設備之功能展開與設計-以半導體設備為例

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姓名

蔡杰(Chieh Tsai) 查詢紙本館藏

畢業系所

工業管理研究所

論文名稱

製程設備之功能展開與設計-以半導體設備為例
(The functional deployment and design for process equipment - Developing the semiconductor equipment)

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摘要(中)

半導體產業在臺灣耕耘三十多年來，從IC設計、製造、封裝、測試到系統產品，整個產業鏈相當完整，在國際上己是舉足輕重之地位。根據國際半導體設備材料產業協會（SEMI; Semiconductor Equipment and Materials International）統計，台灣地區對半導體設備需求己位居全球第一。經由設計精良的設備，才能讓商品化的產品達到品質穩定，並且可以達到大量生產的目的，以降低生產成本。然而臺灣在關鍵性設備的腳步還是無法與歐、美、日、韓等製程設備業者相抗衡。
本論文首先將半導體設備業市場特性及發展概況做資料滙整，說明其所存在問題及主要原因，並針對本研究所使用的QFD文獻匯整。本研究應用產品機能展開方法結合半導體設備設計來發展快速且有效率的設備研發。最後，由本研究案例及結論顯示，應用產品機能展開可加速導入半導體設備研發的決策時效，並有效找出開發設計上的瓶頸，可供半導體設備商作為產品研發決策模式之參考。

摘要(英)

During the past 30 years, Taiwan semiconductor industry has ever been set up by complete supply chain including design, manufacture, assembly, and testing, and played a worldwide significant role. Referring to SEMI’s (Semiconductor Equipment and Materials International) summary, Taiwan has been the most important market of global semiconductor equipment. Unfortunately, Taiwan’s local equipment makers stay behind overseas competitors in the aspect of key components.
This research is to survey the market and development of semiconductor equipments. Moreover, related issues and their causes are also reviewed. Mainly, QFD is used, in this thesis, to implement efficient semiconductor equipment development. We conclude that QFD is effective to find out the bottleneck of the equipment development, and also a feasible way for development strategy.

關鍵字(中)

★ 新產品開發
★ 品質機能展開
★ 半導體設備

關鍵字(英)

★ NPD
★ QFD
★ semiconductor equipment

論文目次

目錄
中文摘要 i
Abstract ii
誌謝 iii
目錄 iv
圖目錄 vii
表目錄 ix
第一章緒論 1
1.1 研究背景 1
1.1.1. 半導體產業現況 1
1.1.2. 半導體設備業現況 3
1.2 研究動機與目的 5
1.3 研究流程 6
1.4 論文架構 7
第二章文獻探討 9
2.1 半導體設備產業 9
2.1.1. 半導體設備產業概述 9
2.1.2. 國內半導體設備定義與範圍 10
2.1.3. 國內半導體設備產業特性 11
2.2 品質機能展開 12
2.2.1. 品質機能展開之沿革 12
2.2.2. 品質機能展開方法簡介 14
第三章研究方法與展開流程 17
3.1 研究方法 17
3.1.1. 品質機能展開方法 17
3.1.2. 親和圖法 19
3.1.2.1. 親和圖法定義 19
3.1.2.2. 親和圖法實施流程 19
3.1.3. 魚骨圖法 20
3.1.3.1. 魚骨圖法定義 20
3.1.3.2. 魚骨圖法實施流程 21
3.2 功能展開與設計流程 22
3.2.1. 品質展開 24
3.2.1.1. 要求品質部份 24
3.2.1.2. 品質企劃部份 34
3.2.2. 功能展開 44
3.2.3. 設計展開 46
3.2.4. 瓶頸技術 48
3.2.5. 功能展開與設計探討 50
第四章設備功能展開與設計實例 51
4.1 設備品質展開 52
4.1.1. 客戶需求聲音 52
4.1.2. 要求品質表 54
4.1.3. 品質標籤分群 56
4.1.4. 要求品質展開表 56
4.1.5. 要求品質重要度 58
4.1.6. 品質企劃 60
4.1.7. 品質要素展開表 62
4.1.8. 關係矩陣 64
4.1.9. 設計品質 66
4.1.10. 品質屋 66
4.2 設備功能展開 68
4.3 設備設計展開 71
4.4 瓶頸技術 74
4.5 製程設備之功能展開與設計探討 76
第五章結論與建議 82
5.1 研究成果 82
5.2 未來方向 83
參考文獻 84

參考文獻

參考文獻
中文部份
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3.水野滋、赤尾洋二，品質機能展開法，先鋒企業管理發展中心，民77年。
4.赤尾洋二著，陳茂耀譯，品質機能展開法，大學圖書供應社，民74年。
5.赤尾洋二，品質機能展開之實際應用，生產力中心譯，民80年。
6.赤尾洋二，品質展開法—品質展開法之作成與演習，聯經出版事業，民1992。
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8.中國生產力中心視聽媒體組，經濟部工業局指導，新產品開發/QFD 品質保證系統手冊，v.1，品質機能展開導論/v.2，品質展開/v.3，技術展開/v.4，次系統展開，1992。
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11.陳國宏，品質機能展開在乾式真空邦浦產品開發上的應用，機械工業雜誌，元月號，第127-136頁，1998。
12.劉漢昌，品質機能展開與兩種製程能力指數整合模式之研究，國防大學論文，民90。
13.朱艷芳，整合品質機能展開與田口方法之穩健品質設計模式，台灣大學商研所博士論文，民八七。
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15.徐國晉，企業內技術移轉管理研究—應用品質機能展開，國立交通大學科技管理研究所論文。
16.陳世強，應用品質機能展開法於醫療輔具產品開發之研究－以手動輪椅為例，南台科技大學論文，2003。
17.陳宏峻，工具機開發流程導入品質機能展開之研究，大葉大學論文，2008。
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20.陳慧娟，金屬中心業研究組，2009年半導體景氣持續衰退，影響全球廠商資本支出意願，經濟部技術處產業評析，2008。
21.陳慧娟，金屬中心業研究組，全球半導體設備市場現況，經濟部技術處產業評析，2010。
22.陳慧娟，金屬工業研究發展中心產業資訊與企劃組，半導體產業觀察與現況解析報告，經濟部工業局，中心業研究組，民九六。
23.TSIA，TSIA 09Q4/2009年台灣IC產業營運成果出爐，TSIA新聞稿，2010年。
24.經濟部投資業務處，半導體產業分析及投資機會，經濟部投資業務處，民97年。
25.工研院科技產業資訊室，2009年谷底反彈後，台灣半導體產業再出發，工研院，2010。
英文部份
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2.Bossert,J.L.,“Quality Function Deployment: A practitioner’s Approach”, ASQC quality press, Milwaukee, Wisc.,1990.
3.C.P.M. Govers,“QFD not just a tool but a way of quality management”, International Journal of Production Economics, vol. 69, pp. 151-159,2001.
4.Clark Tseng,“SEMI Equipment and Materials Market Outlook”, SEMI Taiwan Members Day, Feb,12,2009.
5.J. A. Harding, A. R. Omar and K. Popplewell, “Application of QFD within a concurrent engineering environment,”International Journal of Agile Management Systems, vol. 1, pp. 88-98, 1999.
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7.K. Bergquist and J. Abeysekera, “Quality function deployment (QFD) –a means for developing usable products,”International Journal of Industrial Ergonomics, vol. 18, pp. 269-275, 1996.
8.L. K. Chan and M. L. Wu, “Quality function deployment: a literature review” , European Journal of Operational Research, vol. 143, pp. 463-497, 2002.
9.William E. Eureka, Nancy T. Ryan,“Quality up, Costs Down, A manager’s Guide to Taguchi Methods and QFD”,IRWIN,1995.

指導教授

高信培(Hsing-pei Kao)

審核日期

2010-6-8

推文