使用田口法於指叉式電容性生物感測器的最佳化設計之二維電場模擬

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彭康榮(Kang-Jung Peng) 查詢紙本館藏

畢業系所

電機工程學系在職專班

論文名稱

使用田口法於指叉式電容性生物感測器的最佳化設計之二維電場模擬
(Two-dimensional Electric-field Simulation for Optimal Design of Interdigitated Capacitive Biosensor by Taguchi Method)

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摘要(中)

本研究期待設計出一套具有最大電容特性及最佳靈敏度的指叉式電容生物感測器之範本。本研究利用先進設計系統(Advanced Design System)軟體進行二維電場模擬及使用田口實驗設計分析法，可獲得指叉式電容感測器之最佳電極幾何參數設計和各電極參數與電容效應之比重關係。針對指叉式電容生物感測器，本研究所設計出的最佳電極之各幾何參數，分別為電極寬度 = 1200 μm、電極間距 = 0.01 μm、電極厚度 = 500 μm以及電極交叉長度 = 10000 μm，其整體電容效應遠大於一般文獻上之指叉式電容生物感測器，約為795.17倍；各電極參數與電容效應之比重關係為電極寬度(31.65%) > 電極間距(26.154%) > 電極厚度(23.154%) > 電極交叉長度(19.039%)。考慮以現今製程技術實現之容易度，將電極寬度與電極間距設定為一般文獻常用值10 μm，而電極厚度及電極交叉長度仍遵循本研又究所得到的最佳參數設計。在設計上遷就製程技術現實所得到的電容效應雖然只是採用最佳電極參數尺寸之設計的5.53分之一，但卻是未採用最佳化設計者的142.96倍。對於生物待測物(例如DNA cylinder、Protein G及MDA231 Cell等)的靈敏度方面，遷就製程技術所設計出的感測器與最佳化設計的表現相近。故本研究的結論建議使用遷就現有製程之最佳電極參數尺寸來設計電容性生物感測器，以利於使用現今製程來實現並提高偵測的靈敏度。

摘要(英)

The goal of this research is to develop an interdigitated capacitive biosensor with maximum capacitive response and highest sensitivity. This research concentrated on two-dimensional electric-filed simulation using ADS (Advanced Design System) to analyze and understand the capacitive response of interdigitated biosensors. Furthermore, Taguchi method was employed to find the optimal electrode geometric parameters. The optimal geometric parameters of interdigitated capacitive biosensor thus determined were: electrode width = 1200 μm, electrode spacing = 0.01 μm, electrode thickness = 500 μm, and overlapping length = 10000 μm. The capacitance of this optimal design was 795.17 times as big as that of an interdigitated capacitive biosensor with ordinary geometric parameters. The capacitance of an interdigitated biosensor is determined collectively by its geometric parameters. According to the results by Taguchi method, the relevant parameters and their weights of influences were: electrode width (31.65%), electrode spacing (26.154%), electrode thickness (23.154%), and overlapping length (19.039%). A suboptimal design was proposed to meet the current process limitation. The electrode width and spacing were both changed to 10um, whereas the electrode thickness and overlapping length followed the optimal geometric design. The resultant capacitance was reduced to 1/5.53 times as big as that of the optimal design. Nevertheless, it was still 142.96 times as big as that with the ordinary geometric parameters. For detection of DNA, protein, cell, et. al., by biosensors of suboptimal geometry design, the sensitivity doubled that of the ordinary design and was commensurate to that of the optimal design. Hence, the suboptimal design represents a good choice for capacitive biosensors to attain high sensitivity
under current process limitation.

關鍵字(中)

★ 田口設計分析法
★ 電容效應
★ 指叉式電極

關鍵字(英)

★ Taguchi's method
★ Capacitance
★ Interdigitated electrode

論文目次

中文摘要................................................................................................... I
英文摘要................................................................................................... II
誌謝........................................................................................................... IV
目錄........................................................................................................... V
圖目錄....................................................................................................... IX
表目錄....................................................................................................... XIV
第一章緒論............................................................................................. 1
1-1 前言.................................................................................................... 1
1-2 生物感測器介紹................................................................................ 2
1-2-1 生物感測器的定義與其發展歷史回顧................................. 2
1-2-2 生物感測器類型與設計......................................................... 5
1-3 電化學生物感測器之電容特性........................................................ 12
1-3-1 不同等效電路的介紹............................................................. 12
1-3-2 電雙層架構與理論................................................................. 15
1-3-3 介電電容原理推導................................................................. 19
1-4 電容式生物感測器之簡介................................................................ 26
1-4-1電容生物感測器應用範圍...................................................... 26
1-4-2 常見電容式感測器之電極型式介紹.................................... 34
1-4-3 指叉式電容感測器之介紹與幾何參數之文獻回顧............ 37
第二章研究動機與目的......................................................................... 50
2-1 研究動機............................................................................................ 50
2-2 研究目標............................................................................................ 52
第三章設計最佳指叉式電容生物感測器............................................. 54
3-1 設計指叉式電容生物感測器之幾何參數範圍................................ 54
3-1-1 定義指叉式電極參數及設定幾何參數之分析範圍............ 54
3-1-2實驗目的................................................................................. 54
3-1-3 設定電極寬度對於指叉式電容生物感測器之分析範圍.... 56
3-1-3-1 實驗方法................................................................. 56
3-1-3-2 擴大研究電極寬度對於電容大小之影響............. 57
3-1-4 設定電極間距對於指叉式電容生物感測器之分析範圍.... 58
3-1-4-1 實驗方法................................................................. 58
3-1-4-2 擴大研究電極間距對於電容大小之影響............. 59
3-1-5 設定電極厚度對於指叉式電容生物感測器之分析範圍.... 60
3-1-5-1 實驗方法................................................................. 60
3-1-5-2 擴大研究電極厚度對於電容大小之影響............. 61
3-1-6 設定電極交叉長度對於指叉式電容生物感測器之分析範圍
.................................................................................................................. 62
3-1-6-1 實驗方法................................................................ 62
3-1-6-2 擴大研究電極交叉長度對於電容大小之影響.... 63
3-1-7 ADS模擬軟體之簡介與設計步驟........................................ 64
3-1-7-1 ADS模擬軟體之簡介............................................. 64
3-1-7-2 ADS軟體模擬之設計步驟..................................... 67
3-2 指叉式電容感測器進行最佳化分析............................................... 72
3-2-1實驗背景................................................................................. 72
3-2-2實驗目的................................................................................. 74
3-2-3實驗方法與步驟..................................................................... 74
3-2-4田口設計分析實驗................................................................. 82
第四章實驗結果與討論......................................................................... 86
4-1指叉式電極之單一幾何參數與電容大小之設計範圍.................... 86
4-1-1 指叉式電極寬度與電容大小之實驗結果............................ 86
4-1-2 指叉式電極間距與電容大小之實驗結果............................ 89
4-1-3 指叉式電極厚度與電容大小之實驗結果............................ 91
4-1-4 指叉式電極交叉長度與電容大小之實驗結果.................... 94
4-1-5 指叉式電極幾何參數之設計範圍與討論............................ 96
4-2指叉式電容感測器最佳化分析結果與討論.................................... 103
4-2-1田口分析法之因子效應分析與最佳化預測......................... 103
4-2-2指叉式電容感測器進行最佳化之分析討論......................... 107
4-3 考慮現有製程設計之討論............................................................... 111
4-4 加上生物待測物之靈敏度比較....................................................... 113
4-4-1實驗方法................................................................................. 113
4-4-2 實驗結果................................................................................ 114
4-5 指叉式電容性生物感測器用於實際應用之分析比較................... 120
4-5-1實驗方法................................................................................. 121
4-5-2 實驗結果................................................................................ 122
第五章結論與未來展望......................................................................... 127
5-1 結論.................................................................................................... 127
5-2 未來展望............................................................................................ 129
參考文獻................................................................................................... 130

參考文獻

[1]　姚守拙，2006，化學與生物感測器，化學工業出版社。
[2]　台灣大學生物產業機電工程學系，生命科學與機電教學資料。
　　　　20011年7月2日取自：http://　http://140.112.94.11/~dsfon/LifeScience/lifesci.htm　
[3]　John　F.　Kennedy.,　Nahid　Turan.,　“Immobilized　Biomolecules　in　Analysis:　A　Practical　Approach”,　Tony　Cass　&　Frances　S.　Ligler　(Eds.),　(2004),　117-118.
[4]　T.　A.　P.　Biosensor　sense　and　sensitivity.　Science,　290,　(2000),　1315-1317.
[5]　吳宗正，1996，生物感測器，生物技術，九州出版社，p24~27。
[6]　張怡南，2000，生物感測器，生物技術的發展與應用，九州出版社，p303~320。
[7]　物理雙月刊廿八卷四期，2006，p704-710。
[8]　L.　Rayleigh,　Proc.　London　Math.　Soc.　17,　(1885).
[9]　P.　T.　Kissinger.,　William　R.　Heineman,　“Cyclic　Voltammetry”　Journal　of　Chemical　education,　60﹐(1983),　702-706.
[10]　H.　G.　L.　Coster,　Terry　C.　Chilcott,　Adelle　CF.　Coster,　“Impedance　spectroscopy　of　interfaces,　membranes　and　ultrastructures”,　Bioelectrochemistry　and　Bioenergetics,　40,　(1996),　79-98.
[11]　A.　Abdelghani,　C.　A.　Jacquin,　H.　Hillebrandt,　E.　Sackmann,　“Cell-based　biosensors　for　inf　lammatory　agents　detection”,　Materials　Science　and　Engineering,　C　22,　(2002),　67-72.
[12]　X.　Cui,　D.　Jiang,　D.　Jiang,　P.　Diao,　J.　Li,　“Electrochemical　studies　for　the　formation　of　sodium　lauryl　sulfate　monolayer　on　an　octadecanethiol-coated　gold　electrode”,　Colloids　and　Surfaces　A:Physicochemical　and　Engineering　Aspects,175,　(2000),　141-145.
[13]　A.　Amirudin,　D.　Thierry,　“Application　of　electrochemical　impedance　spectroscopy　to　study　the　degradation　of　polymer-coated　metals”,　Progress　in　Organic　Coatings,　26,　(1995),　1-28.
[14]　D.　Savitri,　C.　K.　Mitra,　“Modeling　the　surface　phenomena　in　carbon　paste　electrodes　by　low　frequency　impedance　and　double-layer　capacitance”,　Bioelectrochemistry　and　Bioenergetics,　48,　(1999),　163-169.
[15]　W.　Jing,　E.　Wang,　“Paint-freeze　method　to　from　self-assembled　Alkanethiol　/phospholipid　bilayers　on　gold”,　Analytical　Sciences,　14,　(1998),　117-120.
[16]　C.　Tlili,　K.　Reybier,　L.　Ponsonnet,　C.　Martelet,　H.　B.　Ouada,　M.　Lagarde,　and　N.　J.　Renault,　“Fibroblast　cells：a　sensing　bioelement　for　glucose　detection　by　impedance　spectroscopy”,　Analytical　Chemistry,　75,　(2003),　3340-3344.
[17]　吳浩青，2001，電化學動力學，科技圖書出版社。
[18]　H.　A.　Pohl　,　Dielectrophoresis　,　Cambridge　University　Press,　Cambridge,　(1978).
[19]　20011年7月2日取自：http://www.ibmm.informatics.bangor.ac.uk
[20]　X.　B.　Wang,　Y.　Huang,　F.　F.　Becker,　P.　R.　C.　Gascoyne,　“A　Unified　Theory　of　Dielectrophoresis　and　Travelling　Wave　Dielectrophoresis,”　Journal　ofPhysics　D:　Applied　Physics,　27,　(1994),　1571-1574.
[21]　W.　Xuejiang.,　S.　V.　Dzyadevych.,　J.　M.　Chovelon.,　M.　J.　Renault.,　C.　Ling.,　X.　Siqing.,　Z.　Jianfu.,　“Conductometric　nitrate　biosensor　based　on　methylviologen/Nafion/nitrate　reductase　interdigitated　electrodes”,　Talanta,　69,　(2006),　450-455.
[22]　W.　Qu.,　W.　Wlodarski.,　“A　thin-film　sensing　element　for　ozone,　humidity　and　Temperature”,　Sensors　and　Actuators　B,　64,　(2000),　42-48.
[23]　K.　Arshak.,　I.　Gaidan.,　“Development　of　a　novel　gas　sensor　based　on　oxide　thick　films”,　Materials　Science　and　Engineering　B,　118,　(2005),　44-49.
[24]　G.　Xie.,　J.　Yu.,　X.　Chen.,　Y.　Jiang.,　“Gas　sensing　characteristics　of　WO3　vacuum　deposited　thin　films”,　Sensors　and　Actuators　B,　123,　(2007),　909-914.
[25]　N.　A.　L.,　Hunter,　K.W.,　Stanbro,　W.D..　The　capacitive　affinity　sensor:　a　new　biosensor,　in:　Proceedings　of　the　Second　International　Meeting　on　Chemical　Sensors,　Bordeaux,　France,　July　7–10,　(1986),　596–598.　
[26]　R.　F.　Taylor,　I.G.　Marenchic,　R.H.　Spencer,　Anal.　Chim.　Acta　249,　(1991),　67.
[27]　C.　Berggren　G.　Johansson,　Anal.　Chem　69,　(1997),　3651.
[28]　C.　Berggren,　B.　Bjarnason,　G.　Johansson,　Biosens.　Bioelectron　13,　(1998),　1061.
[29]　S.　Ameur,　C.　Martehet,　N.　Jaffrezic-Renault,　J.M.　Chovelon,　C.　Plossu,　D.　Barbier,　Proc.　Electrochem.　Soc　19,　(1997),　1019.
[30]　A.　Gebbert,　M.　Alvarez-Icaza,　W.　StoÈcklein,　R.D.　Schmid,　Anal.　Chem　64,　(1992),　997.
[31]　A.　Gebbert,　M.　Alvarez-Icaza,　H.　Peters,　V.　JaÈger,　U.　Bilitewski,　R.D.　Schmid,　J.　Biotech　32,　(1994),　213.
[32]　H.　Maupas,　A.P.　Soldatkin,　C.　Martelet,　N.　Jaffrezic-Renault,　B.　Mandrand,　J.　Electroanal.　Chem,　421,　(1997),　165.
[33]　S.　Ameur,　H.　Maupas,　C.　Martelet,　N.　Jaffrezic-Renault,H.　Ben　Ouada,　S.　Cosnier,　P.　Labbe,　Mater.　Sci.　Eng.　C,　5,　(1997),　111.
[34]　H.　U.　Meyer,　”An　integrated　capacitive　position　sensor”　,　IEEE　Trans.　Instrument　Meas.,　45,　(1996),　521-525.
[35]　G.　Brasseur,　“A　capacitive　4-turn　angular-position　sensor”,　IEEE　Trans.　Instrument　Meas.,　47,　(1998),　275-279.
[36]　T.　Fabian　and　G.　Brasseur,　“A　robust　angular　speed　sensor”,　IEEE　Trans.　InstrumentMeas.,　47,　(1998),　280-284.
[37]　X.　Li　and　G.　C.　M.　Meijer,　“A　new　method　for　the　measurement　of　low　speed　using　amultiple-electrode　capacitive　sensor”,　IEEE　Trans.　Instrument.　Meas.,　46,　(1997),　636-639.
[38]　T.　Fabin　and　G.　Brasseur,　”A　measurement　algorithm　for　capacitive　speed　encoder　with　a　modified　front-end　topology”,　IEEE　Trans.　Instrument　Meas.,　47,　(1998),　1341-1345.
[39]　F.　N.　Toth,　C.　M.　Meijer,　and　M.　van　der　Lee,　“A　planar　capacitive　precision　gauge　for　liquid-level　and　leakage　detection”,　IEEE　Trans.　Instrument　Meas.,　46,　(1997),　644-646.
[40]　K.　Mochizuki,　T.　Masuda,　and　K.　Watanabe,　“An　interface　circuit　for　high　accuracy　signal　processing　of　differential-capacitance　transducers”,　IEEE　Trans.　Instrument　Meas.,　47,　(1998),　823-827.
[41]　G.　A.　Bertone,　Z.　H.　Meiksin,　and　N.　L.　Carroll,　“Investigation　of　a　capacitance-based　displacement　transducer”IEEE　Trans.　Instrum.　Meas.,　39,　(1990),　424-428.
[42]　A.　Fertner　and　A.　Sjolund,　“Analysis　of　the　performance　of　the　capacitive　displacement　transducer”,　IEEE　Trans.　Instrum.　Meas.,　38,　(1989),　870-875.
[43]　J.　D.　Garratt,　“Survey　of　displacement　transducer　below　50　mm”,　J.　Phys.　E,　Sci.　Instrum.,　12,　(1979),　563-573.
[44]　L.　Michelson,　“Greater　precision　for　noncontact　sensors”,　Mach.　Des.,　(1979),　117-121.
[45]　B.　E.　Noltingk,　“A　novel　proximity　gauge”,　J.　Sci.　Instrum.,　2,　2,　(1969),　356-360.
[46]　D.　P.　Poenar,　Ciprian　Iliescu　b,1,”　Glass-based　microfluidic　device　fabricated　by　parylene　wafer-to-wafer　bonding　for　impedance　spectroscopy”,　Sensors　and　Actuators　A,　139,　(2007),　162–171.
[47]　L.　Yu　Li,　Wei　Fen　Jiang,　Shun　Hua　Xiao,Yong　Fen　Dong,　Hui　Fang　Ji,　Xin　Jian　Li,”Effect　of　electrode　configuration　on　capacitive　humidity　sensitivity　of　silicon　nanoporous　pillar　array”,　PhysicaE41,　(2009),　621–625.　
[48]　S.　K.　Clark　and　K.D.　Wise,　“Pressure　sensitivity　in　anisotropically　etched　
　　　　thin-diaphragm　pressure　sensors,”　IEEE　Transactions　on　Electron　Devices,　26,　(1979),　1887-1896.
[49]　W.　P.　Eaton　and　J.H.　Smith,　“Micromachined　pressure　sensors:　review　and　
　　　　recent　developments,”　Smart　Master.,　Struct.　6,　(1997),　530-539.
[50]　Y　R　zhao,　A　P　Shi,　G　Q　Chen,　Y　Y　Chang,　Z　Hang　and　B　M　Liu,　New　Type　Multielectrode　Capacitance　Sensor　for　Liquid　Level,　Journal　of　Physics:　Conference　Series,　48,　(2006),　223–227.
[51]　E.　R.,　Baumann,　W.,　Brischwein,　M.,　Schwinde,　A.,　Stegbauer,　K.,　Wolf,　B.,.　Monitoring　of　cellular　behavior　by　impedance　measurements　on　interdigitated　electrode　structures.　Biosens.　Bioelectrons.　12,　1,　(1997),　29–41.
[52]　M.　Morita,　O.　Niwa,　T.　Horiuchi,　Interdigitated　array　microelectrodes　as　electrochemical　sensors,　Electrochim.　Acta,　42,　(1997),　3177–3183.
[53]　P.　van　Gerwen,　W.　Laureyn,　W.　Laureys,　G.　Huyberechts,　M.O.D.　Beeck,　K.　Baert,　J.　Suls,W.　Sansen,　P.　Jacobs,　L.　Hermans,　R.　Mertens,　Nanoscaled　interdigitated　electrodes　array　for　biochemical　sensors,　Sens.　Actuators　B,　49,　(1998),　73–80.
[54]　K.　A.,　Yavuz,　H.,　Odabasi,　M.,　Denizli,　A,.　Human　serum　albumin　chromatography　by　Cibacron　Blue　F3GA-derived　microporous　polyamide　hollow-fiber　affinity　membranes.　Journal　of　Chromatography　B,　746,　(2000),　123–132.
[55]　Z.　Z.,　Kai,　J.,　Rust,　M.J.,　Han,　J.,　Ahn,　C.H.,　Functionalized　nano　interdigitated　electrodes　arrays　on　polymer　with　integrated　microfluidics　for　direct　bio-affinity　sensing　using　impedimetric　measurement.　Sensors　and　Actuators　A,　136,　(2007)　518–526.
[56]　E.　R.,　Baumann,　W.,　Brischwein,　M.,　Schwinde,　A.,　Wolf,　B.,　On-line　control　of　cellular　adhesion　with　impedance　measurements　using　interdigitated　electrode　structures.　Med.　Biol.　Eng.　Comput.　36,　(1998),　365–370.
[57]　Y.　Wang,　N.　Chong,　Y.　L.　Cheng,　H.　L.　W.　Chan,　and　C.　L.　Choy,"Dependence　of　capacitance　on　electrode　configuration　for　ferroelectric　films　with　interdigital　electrodes,"　Microelectronic　Engineering,　66,　(2003),　880-886.
[58]　A.　A　Nassr,　Wael　H　Ahmed　and　Wael　W　El-Dakhakhni,　"Coplanar　capacitance　sensors　for　detecting　water　intrusion　in　composite　structures”　Measurement　Science　and　Technology,　19,　(2008),　75702.
[59]　F.　Starzyk,　“Parametrisation　of　interdigit　comb　capacitor　for　dielectric　impedance　spectroscopy”　Archives　of　Materials　Science　and　Engineering,　34,　1,　(2008),　31-34.
[60]　J.　H.,　Dae　Sung　YOON1y,　Myung-Il　PARK,　Jongwan　CHOI,　Tae　Song　KIM1,”　A　Dielectric　Biosensor　Using　the　Capacitance　Change　with　AC　Frequency　Integrated　on　Glass　Substrates”,　Japanese　Journal　of　Applied　Physics,　43,　8A,　(2004),　5639–5645.
[61]　A.V.　Mamisheva,*,　Parameter　estimation　in　dielectrometry　measurements,　Journal　of　Electrostatics,　56,　(2002),　465–492.
[62]　Z.　C.　and　Ren　C.　Luo,　Fellow,　IEEE,　Design　and　Implementation　of　Capacitive　Proximity　Sensor　Using　Microelectromechanical　Systems　Technology,　IEEE　Trans,　45,　6,　(1998).
[63]　A.V.　Mamishev,　M.　Zahn,　B.C.　Lesieutre,　B.A.　Berdnikov/　Influence　of　geometric　parameters　on　characteristics　of　an　interdigital　sensor,　in:　IEEE　Conference　on　Electrical　Insulation　and　Dielectric　Phenomena,　San　Francisco,　CA,　October　(1996),　550–553.
[64]　B.C.　Lesieutre,　A.V.　Mamishev,　Y.　Du,　E.　Keskiner,　M.　Zahn　and　G.C.　Verghese　,　Forward　and　inverse　parameter　estimation　algorithms　of　interdigital　dielectrometry　sensors.　IEEE　Trans.　Dielectrics.　Insul.　8,　(2001),　577-588.
[65]　Tunability　and　Calculation　of　the　Dielectric　Constant　of　Capacitor　H.N.　AL-SHAREEF,　Structures　with　Interdigital　Electrodes,　Journal　of　Electroceramics　1,　2,　(2007),　145-153.
[66]　P.　Wang,　C.　Y.　Tan,　Analysis　of　conductor　loss　in　interdigital　capacitor　based　measurement　of　dielectric　constant　of　ferroelectric　thin　film,　Microwave　and　Optical　Technology　Letters,　50,　3,　(2008).
[67]　R.　H.　Bhuiyan,　Roger　A.　Dougal,　Senior　Member,　IEEE,　and　Mohammod　Ali,　Senior　Member,　IEEE,　Proximity　Coupled　Interdigitated　Sensors　to　Detect　Insulation　Damage　in　Power　System　Cables,　IEEE　Sensors　Journal,　7,　12,　(2007).
[68]　A.　V.　Mamishev,　Member,　IEEE,　"Interdigital　Sensors　and　Transducers",　Proceedings　of　the　IEEE,　92,　5,　(2004).
[69]　A.　V.　Mamishev,　"Interdigital　Dielectrometry　Sensor　Design　and　Parameter　Estimation　Algorithms　for　Nondestructive　Materials　Evaluation,"　Ph.D.　Dissertation,　Department　of　Electrical　Engineering　and　Computer　Science,　Massachusetts　Institute　of　Technology,　Cambridge,　MA,　(1999).
[70]　R.　Igreja,　C.J.　Dias,　Analytical　evaluation　of　the　interdigital　electrodes　capacitance　for　a　multi-layered　structure,　Sensors　and　Actuators　A,　112,　(2004),　291-301.
[71]　R.　Igreja,　C.J.　Dias,　Dielectric　response　of　interdigital　chemocapacitors:　The　role　of　the　sensitive　layer　thickness,　Sensors　and　Actuators　B,　115,　(2006),　69-78.
[72]　M.　W.　den　Otter,　Approximate　expressions　for　the　capacitance　and　electrostatic　potential　of　interdigitated　electrode,　Sensors　and　Actuators　A,　96,　(2002),　140-144.　
[73]　R.　Matsuzaki　,　Akira　Todoroki,　Wireless　flexible　capacitive　sensor　based　on　ultra-flexible　epoxy　resin　for　strain　measurement　of　automobile　tires,　Sensors　and　Actuators　A,　140,　(2007),　32-42.
[74]　M.　Kitsara　a,　D.　Goustouridis　a,　S.　Chatzandroulis　a,　M.　Chatzichristidi　a,　Single　chip　interdigitated　electrode　capacitive　chemical　sensor　arrays,　Sensors　and　Actuators　B,　127,　(2007),　186-192.
[75]　M.　Varshneya,　Interdigitated　array　microelectrode　based　impedance　biosensors　for　detection　of　bacterial　cells,　Biosensors　and　Bioelectronic,　24,　(2009),　2951-2960.
[76]　F.　A.　Jr.,　D.　T.　Price.,　and　S.　Bhansali.,　Optimization　of　Interdigitated　Electrode　(IDE)　Impedance　Based　Evaluation　of　Hs　578T　Cance　Cells,　International　Conference　on　Electrical　Bioimpedance,　224,　(2010),　012134.
[77]　鄭燕琴，1993，田口品質工程技術理論與實務，中華民國品質管制學會。
[78]　P.　M.　S.,　Quality　Engineering　Using　Robust　Design　,AT　&　T　Bell　Laboratories,　(1985).
[79]　鍾清章等，1994，品質工程(田口方法)，中華民國品質學會。
[80]　蘇朝敦，2002，品質工程，中華民國品質學會。
[81]　D.　C.　Montgomery,　Introduction　to　Statistical　Quality　Control　5th　edition,　JohnWiley　&　Sons,　Inc,　(2005).
[82]　鄭崇義，2000，田口品質工程技術理論與實務，中華民國品質學會。
[83]　C.　K.　Yang,　J.　S.　Chang,　S.　D.　Chao,　and　K.　C.　Wu,　Appl.　Phys.　Lett.　91,　(2007),　113904.
[84]　S.　T.,　and　C.　L.　Brooks,　III.　Charge　screening　and　the　dielectric　constant　of　proteins:　insights　from　molecular　dynamics.　J.　Am.　Chem.　Soc,　118,　(1996),　8452–　8458.
[85]　S.　Uno,　Mami　Iio,　Hiroaki　Ozawa,　and　Kazuo　Nakazato.　Full　Three-Dimensional　Simulation　of　Ion-Sensitive　Field-Effect　Transistor　Flatband　Voltage　Shifts　Due　to　DNA　Immobilization　and　Hybridization.　Japanese　Phys,　49,　(2010).
[86]　S.　E.　C.;　Bono,　S.　J.;　Shields,　G.　C.　Further　quantum　mechanical　evidence　that　difluorotoluene　does　not　hydrogen　bond.　J.　Phys.　Chem.　B,　105,　(2001),　8445−8451.
[87]　B.　F.　F.　et　al.　Separation　of　human　breast-cancer　cells　from　blood　by　differential　dielectric　affinity.　Proc.　Natl　Acad.　Sci.　USA,　92,　(1995),　860–864.
[88]　B.　D.　Gates,　Q.　Xu,　M.　Stewart,　D.　Ryan,　C.　G.　Willson,　and　G.　M.　Whitesides.　"New　Approaches　to　Nanofabrication:　Molding,　Printing,　and　Other　Techniques".　American　Chemical　Society,　105,　(2005),　1171–1196.
[89]　Sanjv　Electronic，技術交流--被動元件產品及技術發展趨勢2，來源http://　www.sanjv.com/
[90]　M.　Brischwein,　S.　Herrmann,　W.　Vonau,　F.　Berthold,　H.　Grothe,　E.　R.　Motrescu　and　B.　Wolf.　"Electric　cell-substrate　impedance　sensing　with　screen　printed　electrode　structures".　The　Royal　Society　of　Chemistry,　6,　(2006),　819-822.
[91]　C.　A.　Galan-Vidal,　J.　Munoz,　C.　Dominguez,　S.　Alegret.　"Chemical　sensors,　biosensors　and　thick-film　technology".　Trends　in　analytical　chemistry　14,　5,　(1995).

指導教授

蔡章仁(Jang-Zern Tsai)

審核日期

2011-8-26

推文