釔鋇銅氧高溫超導薄膜的成長及診斷

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林煥庭(Huanting Lin) 查詢紙本館藏

畢業系所

物理學系

論文名稱

釔鋇銅氧高溫超導薄膜的成長及診斷
(Preparation and characterization of YBCO high-temperature superconducting thin films)

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摘要(中)

脈衝雷射沈積技術(pulsed laser deposition, PLD) 是一種多樣性的方法，可用來長成不同組成成份以及結構的薄膜。其強大的功能係源自於它可將靶材上的材料未達熱平衡時，即完全一致地轉移到基板上。此外，在 PLD 系統也可以簡易地加入其它設備以控制長膜各項參數，如加入反應氣體，單靶、雙靶甚至多靶系統，而超短脈衝雷射沈積技術(ultra-short pulsed laser deposition, uPLD)則對於電漿中離子的游離態和動能提供了更高的可調性。另外，由於PLD技術可以容忍相當高的反應氣體壓力，這在需要反應氣體的高溫超導釔鋇銅氧(Yttrium barium copper oxide , YBa2Cu3O7-δ, YBCO)薄膜成長上是一大優勢。
本實驗以超短脈衝雷射沈積技術成長YBCO超導薄膜，改變雷射脈衝能量、雷射波長、基板溫度、氧氣濃度等參數，尋找最適當的薄膜生長條件，用以成長出YBCO單晶薄膜。而後以雷射掃描共焦顯微鏡來量測此YBCO超導薄膜在不同溫度下其反射光強度的二維分佈的變化，以得到YBCO超導薄膜的臨界溫度二維分佈。

摘要(英)

By using a home-made ultrashort pulsed laser deposition system, super-conducting yttrium barium copper oxide (YBCO) thin films are fabricated. Several parameters such as pump laser energy, wavelength, substrate temperature, and oxygen density are adjusted to fine the optimal condition for the growing process. The structure and crystal orientation of the thin films are characterized by using the x-ray diffraction method, showing that polycrystalline structure is obtained. The surface quality is characterized by using a surface profiler and an optical microscopy, revealing that it is spread with micrometer-size islands. Finally, by using a laser scanning confocal microscopy to measure the reflection from the YBCO thin film, the two dimensional distribution of its critical temperature is obtained. This distribution is varied in a micrometer length scale, which consists with the results of its polycrystalline structure and surface quality.

關鍵字(中)

★ 釔鋇銅氧
★ 脈衝雷射沈積技術
★ 高溫超導

關鍵字(英)

★ PLD
★ YBCO

論文目次

中文摘要 ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ iv
英文摘要 ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ v
誌謝 ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ vi
目錄 ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ vii
圖目錄 ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ ix
表目錄 ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ xi
一、緒論
1-1超導體研究發展簡介 ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ 1
1-2高溫超導的機制 ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ 2
1-3 研究目的 ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ 3
二、脈衝雷射沈積系統
2-1 飛秒級脈衝雷射沈積技術簡介 ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ 4
2-2 十兆瓦雷射系統 ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ 10
2-3 飛秒級脈衝雷射沈積系統架設∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ 12
三、診斷工具
3-1 薄膜品質診斷儀器∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ 15
3-2 雷射共焦掃描顯微鏡系統
3-2.1 共焦顯微鏡的介紹 ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ 19
3-2.2 共焦顯微鏡之理論 ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ 20
3-2.3 雷射掃描共焦顯微鏡 ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ 23
四、實驗步驟與結果分析 ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ 27
4-1 YBCO的燒結（靶材的製作） ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ 28
4-2 薄膜的成長與診斷∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ 30
4-3 反射率與臨界溫度的二維分佈∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ 39
五、結論與未來展望 ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ 46
參考文獻 ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ 48
附錄一 ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ 50
附錄二 ∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙∙ 53

參考文獻

[1] H. K. Onnes, "The resistance of pure mercury at helium temperatures". PhysRevLett.58.908, 1911
[2] W. Meissner and R. Ochsenfeld, “Ein neuer Effekt bei Eintritt der Supraleitfähigkeit”. Naturwissenschaften 21(44): 787–788, 1933
[3] J. G. Bednorz and K. A. Müller, "Possible high Tcsuperconductivity in the Ba−La−Cu−O system". Z. Physik, B64 (1): 189–193, 1986.
[4] M. K. Wu et al., "Superconductivity at 93 K in a New Mixed-Phase Y-Ba-Cu-O Compound System at Ambient Pressure". Physical Review Letters 58 (9): 908–910, 1987.
[5] 吳茂昆，「急遽升溫的超導」，科學月刊，第三十卷第十二期，1013，1999。
[6] Michael N. R. Ashfold, Frederik Claeyssens, Gareth M. Fuge and Simon J. Henley, “Pulsed laser ablation and deposition of thin films”, CSR 33, 23 (2004)
[7] Ingolf V. Hertel, Razvan Stoian, David Ashkenasi, “On the physics of material processing with femtosecond lasers”, RIKEN Review No.32, 23-30(2001)
[8] 洪國川，「共焦拉曼與螢光顯微鏡之發展及其在材料診斷上之應用」，國立中央大學，碩士論文，民國99年
[9] 李超煌，「差動共焦顯微術及其應用」，國立台灣大學，博士論文，民國 86 年。
[10] M. Born, and E. Wolf, Principles of Optics, Pergamon Press, 1980.
[11] C. J. R. Sheppard and D. M. Shotton, Confocal Laser Scanning Microscopy, Ch3, 1997.
[12] A. P. Zhuravel, A. G. Sivakov, O. G. Turutanov, and A. N. Omelyanchouk, “Laser scanning microscopy of HTS ﬁlms and devices (Review Article)”. Low Temp. Phys. 32, 592, 2006
[13] 陳妍秀：高溫超導體之製備。取自http://www.ch.ntu.edu.tw/~genchem99/doc/d10009/9924_E24.pdf
[14] Jui-Lin She* and Ru-Shi Liu, “A Simplified Synthetic Experiment of YBa2Cu3O7–x Superconductor for First-Year Chemistry Laboratory”. Journal of Chemical Education, Vol. 85 No. 6 June 2008
[15] J. Garcı́a López, D.H.A. Blank, H. Rogalla, “Oxygen content of YBa2Cu3O6+x thin films during growth by pulsed laser deposition”. Applied Surface Science, Volumes 127–129, May 1998
[16] G A Farnan, M P McCurry, C C Smith, R J Turner and D G Walmsley, “Growth of YBa2Cu3O7- δthin films in pulsed laser deposition: influence of target, substrate and deposition rate”. Supercond. Sci. Technol., 13 262–272, 2000.
[17] D Q Shi1, R K Ko1, K J Song1, et al. “Effects of deposition rate and thickness on the properties of YBCO films deposited by pulsed laser deposition”. Supercond. Sci. Technol. 17 (2004) S42–S45.
[18] Kuen-Lin Chena, Jau-Han Chena, Hong-Chang Yanga, et al. “Off-axis pulsed laser deposited YBa2Cu3O7−δ thin films for device applications”, Physica C 372–376 (2002) 1078–1081

指導教授

朱旭新(Hsu-hsin Chu)

審核日期

2012-8-18

推文