熱差式氣體流量計之感測模式及氣流道效應分析

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姓名

呂學明(Xiung-Ming Lu) 查詢紙本館藏

畢業系所

機械工程學系

論文名稱

熱差式氣體流量計之感測模式及氣流道效應分析

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摘要(中)

本文分別利用定溫、定電流感測電路作熱差實驗量測實驗，探討加熱線圈的熱通量差、溫度差與流量的關係，由實驗中我們發現定溫感測電路易受環境溫度影響，反應時間較快，輸出電壓和流量呈一非線性關係，定電流感測電路工作溫度範圍較廣，反應時間較慢，輸出電壓和流量大致呈線性關係。
我們利用定溫感測模式之實驗數據和數值模擬結果作比較，數值模擬和定溫感測的實驗數據比較仍有差距存在，差距是由於自製感應管無法使兩加熱線圈長度相同所造成的。但改以兩加熱段的熱通量差做比較，可去除實驗和數值解二者差距，二者的吻合度佳。

摘要(英)

Measurements from the thermal-difference experiments were made via the constant- temperature and constant-current sensing circuits; which were used to analyze the relations among the thermal-difference (temperature and thermal flux) from the two heating sections and the flowrate passing through the sensor tube. Experimental results show that sensor tube with the constant-temperature mode has faster response time, its output voltage and flowrate relation is nonlinear, and it was prone to influence of environmental temperature. The characteristics of sensor tube with the constant-current sensing circuit was: wider range of working temperature, slower response time, and roughly a linear relation between output voltage and flowrate.
Disagreement of the thermal flux of the two heating sections among the measurement data with the constant-temperature mode and the numerical simulations do exist. Such discrepancy should caused by the unequal length of two handmade heating coils wrapped around the sensor tube. The discrepancy was eliminated by comparison in terms of the thermal flux difference from two heating sections, and good agreement were obtained between numerical and experimental approaches.

關鍵字(中)

★ 熱質流量計

關鍵字(英)

★ TMFM
★ FLUENT

論文目次

目錄
中文摘要II
英文摘要III
致謝V
目錄VI
附圖目錄VIII
附表目錄XI
符號說明XII
第一章導論1
1.1研究動機1
1.2熱感式質流量計工作原理2
1.3文獻回顧3
1.4研究方向4
第二章實驗裝置、原理及程序6
2.1 實驗裝置6
2.1.1 熱質流量量測裝置6
2.1.2 測試段裝置與控制電路8
2.1.3 加熱段製作9
2.2 實驗原理10
2.2.1 感測元件10
2.2.2 流量感測電路-定溫度型感測電路11
2.2.3 流量感測電路-定電流型感測電路14
2.3 實驗步驟16
2.3.1定溫感測模式16
2.3.2定電流感測模式17
第三章數值與解析方法18
3.1 FLUENT 軟體解題程序18
3.2 感應管熱傳19
3.2.1 一字型感應管20
3.3.2 倒U型管感應管22
3.3.3 ㄇ字型氣流道感應管23
第四章結果與討論24
4.1 加熱段熱散失分析24
4.2 感測電路的比較28
4.2.1 定溫感測電路的熱流特性28
4.2.2 定電流感測電路的熱流特性32
4.3 感應管氣流道的比較33
第五章結論35
參考文獻36

參考文獻

Hinkle, L. D. and Mariano, C. F., "Toward understanding the fundamental mechanisms and properties of the thermal mass flow controller" J. Vac. Sci. Texh, A 9 (3), 2043-2047 (1991).
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Tison, S. A., "A critical evaluation of thermal mass flow meters" J. Vac. Sci. Texh., A 14 (3), 2582-2591 (1996).
Burmeister L. C., Convective Heat Transfer 2nd ed., 415-417, John Wiley & Sons, New York (1993).
Incropera P. F. and Dewitt P. D., Fundamentals of Heat and Mass Transfer 4th ed., 368-370 , John Wiley & Sons, New York (1996).
Yoritaka Isoda. " Mass Flowmeter. " 美國專利. PN 4984460. Jan. 15. 1991.
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吳俊諆，陳聖儀，鍾允昇，"熱質流量計之熱流特性"，Proceedings Symposium on Transport Phenomena and Applications，p. 35-39 (1997b)。
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鄭木火，張少貢，賴志一，熱差式氣體流量控制器，工研院期中報告 (1997)。
陳聖儀，吳俊諆，呂學明，"熱質流量計之熱傳量測與模擬"，中國機械工程
學會第16屆全國機械工程學術研討會論文集（清華大學，新竹市，1999）。

指導教授

吳俊諆(Jiunn-Chi Wu)

審核日期

2000-7-4

推文