| 姓名 |
李東諺(Do-Yian Lee)
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畢業系所 |
光電科學與工程學系 |
| 論文名稱 |
微小元件於LIGA LIKE製程上之研究
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| 摘要(中) |
本論文之研究為利用LIGA LIKE製程技術以準分子雷射加工進行微光學元件之製作，方法是使用KrF、波長248nm之深紫外光準分子雷射，透過一片含有數種圖樣之鍍鉻光罩，經由投影方式在高分子聚合物基材上進行微加工刻除。同時，透過移動光罩之平台，選擇不同之光罩圖樣來完成各種之微小元件。
為了要改善LIGA LIKE製程所造成微元件表面的粗糙度，以符合我們所需要的標準，因此我們想了一種方式來改善我們所製作出來的微小元件表面粗糙度，我們在製作出來的元件上塗佈一層光阻，由於光阻為一黏稠性的液體，故可明顯改善表面的粗糙度，進而改善我們製作的微光學元件或任何利用LIGA LIKE製程所加工之後的元件表面的品質，進而應用至其他的相關製作流程上。
本文另外由將這項方法利用到製作微小生物晶片檢測平台的製作上，利用塗佈光阻藉以改善表面粗糙度的方式，使得我們所做出來的微流道(Micro flow)能夠表面光滑，使得我們利用準分子雷射所切割之微小晶片能夠在微流道之中順利的流動，再經由我們所架設之基因檢測平台判別出各種不同的感染螢光基因，而完成一個精密且價格便宜的生物基因晶片檢測系統。 |
| 關鍵字(中) |
★ LIGA 製程
★ 準分子雷射
★ 微機電系統
★ 微渠道
★ 生物晶片 |
關鍵字(英) |
★ LIGA Process
★ Excimer Laser
★ MEMS
★ MicroFludic
★ BioChip |
| 論文目次 |
目錄……………………………………………………………………3
圖表索引………………………………………………………………5
論文摘要……………………………………………………………….9
第一章、 歷史背景回顧……………………………………………11
1.1 微光學之發展…………………………………………………11
1.2 LIGA製程技術簡介…………………………………………..12
1.2.1 LIGA製程的光源……………………………………….13
1.2.2 LIGA製程的主要特色………………………………….14
1.3類LIGA（LIGA-LIKE）製程技術簡介………………………15
第二章、 準分子雷射加工技術……………………………………17
2.1 準分子雷射的原理……………………………………………17
2.2 準分子雷射的加工機制………………………………………18
2.3 準分子雷射系統架構…………………………………………21
2.3.1 準分子雷射控制模組……………………………………23
2.3.2 準分子雷射光刻方式……………………………………25
第三章、 微小元件的設計與製作………………………………….30
3.1 光罩之設計與製作…………………………………………….30
3.1.1 直角錐狀反射鏡…………………………………………33
3.1.2 微透鏡……………………………………………………33
3.1.3 切割微小晶片格子狀光罩………………………………34
3.1.4 切割微小晶片多邊形光罩………………………………36
3.1.5切割微小晶片之圓形光罩……………………………….38
3.2微光學元件之製作……………………………………………40
第四章、 微光學元件表面粗糙度之量測及改善………………….57
4.1 微光學元件表面粗糙度量測………………………………...57
4.1.1 粗糙度的定義……………………………………………57
4.1.2 加工表面粗糙度檢測……………………………………62
第五章、 微小生物晶片檢測平台之製作及分析………………….73
5.1 生物晶片簡介………………………………………………..74
5.2 使用各材質製作微小生物晶片之結果……………………..78
5.3 微流道系統的製作…………………………………………..86
第六章、 結論與討論………………………………………………88
6.1 誤差原因探討……………………………………………….88
6.1.1 LIGA LIKE製程上的誤差……………………………..88
6.1.2 量測上的誤差………………………………………….89
6.2 改進方法……………………………………………………90
6.3 生物晶片檢測平台之討論…………………………………91
6.4 結論…………………………………………………………91
參考文獻………………………………………………………………93 |
| 參考文獻 |
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21. M.T.Gale、M.Rossi、J.Pedersen and H.Schutz，Optical Engineering，33（11），271（1994） |
| 指導教授 |
張榮森(Rong-Seng Chang)
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審核日期 |
2002-3-19 |
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