以微機電製程技術製作Fabry-Perot型濾光片

以作者查詢圖書館館藏

、以作者查詢臺灣博碩士

、以作者查詢全國書目

、勘誤回報

、線上人數：25

、訪客IP：18.117.166.193

姓名

商中道(Chang-Dau Sung) 查詢紙本館藏

畢業系所

光電科學與工程學系

論文名稱

以微機電製程技術製作Fabry-Perot型濾光片
(Fabrication of Fabry-Perot filters with MEMS technology)

相關論文

★ 富含矽奈米結構之氧化矽薄膜之成長與其特性研究	★ 導波共振光學元件應用於生物感測器之研究
★ 具平坦化側帶之超窄帶波導模態共振濾波器研究	★ 低溫成長鍺薄膜於單晶矽基板上之研究
★ 矽鍺薄膜及其應用於光偵測器之研製	★ 低溫製備磊晶鍺薄膜及矽基鍺光偵測器
★ 整合慣性感測元件之導波矽基光學平台研究	★ 矽基光偵測器研製與整合於光學波導系統
★ 光學滑鼠用之光學元件設計	★ 高效率口袋型LED 投影機之研究
★ 在波長為532nm時摻雜鉬之鈦酸鋇單晶性質研究	★ 極化繞射光學元件在高密度光學讀取頭上之應用研究
★ 不同溫度及波長之摻銠鈦酸鋇單晶性質研究	★ 經氣氛處理之鈦酸鋇單晶其光折變性質及電荷移轉與波長的關係
★ 在不同溫度時氣氛處理鈦酸鋇單晶性質之比較	★ 摻銠鈦酸鋇單晶的氧化還原與光折變性質

檔案

[Endnote RIS 格式]

[Bibtex 格式]

[相關文章]

[文章引用]

[完整記錄]

[館藏目錄]

[檢視]

[下載]

本電子論文使用權限為同意立即開放。
已達開放權限電子全文僅授權使用者為學術研究之目的，進行個人非營利性質之檢索、閱讀、列印。
請遵守中華民國著作權法之相關規定，切勿任意重製、散佈、改作、轉貼、播送，以免觸法。

摘要(中)

在本論文中主要以可見光做為入射光源，利用玻璃做為基板，鍍上金屬膜做為高反射層與導電層後，反射率約可達，分別以空氣及液晶做為共振腔內的介質，利用電壓的加入改變液晶之折射率，使共振腔的光學厚度產生變化，以此特性做出可調式的Fabry-Perot型濾光片。另外我們利用體型細微加工的濕蝕刻技術，在矽晶圓上開出厚度、大小約的氮化矽薄膜做為透光區域，在氮化矽薄膜鍍上金屬膜做為高反射層與導電層，以空氣做為共振腔介質，將Fabry-Perot型濾光片微型化。而微型化的可調式Fabry-Perot型濾光則因為配向方式不佳，易造成膜堆損壞，因而未能完成。

關鍵字(中)

★ 法布理-柏羅濾光器

關鍵字(英)

★ Fabry-Perot filters

論文目次

誌謝
論文摘要
目錄
圖表索引
第一章緒論 1
1-1 前言 2
1-2 可調濾光片 3
1-3 液晶式Fabry-Perot型濾光片 6
第二章相關原理 7
2-1 單層膜之介紹 7
2-2 金屬膜之介紹 9
2-3 Fabry-Perot濾光片原理 10
2-4 液晶介紹與工作原理 12
2-5 液晶的光學性質 16
第三章元件設計與模擬 18
3-1 元件架構 18
3-2 元件工作原理 19
3-3 光學薄膜的特性與估算 20
第四章製作 28
4-1 製程步驟 28
4-2 製程步驟示意圖 37
第五章實驗結果與量測 39
5-1 干涉條紋 39
5-2 量測光譜圖 51
第六章　結語 53

參考文獻

1. 陳炳輝,“微機電系統,”五南圖書,p.1-18(2001)
2. K. Aratani, P.J. French, P.M. Sarro, D.Poenar, R.F. Wolffenbuttel “Surface micromachined tuneable interferometer array”Sensors and Actuators A,43(1994)17-23
3. M.Aziz, J.Pfeiffer, M.Wohlfarth, C.Luber, S.Wu, P.Meissner,“A New and Simple Concept of Tunable Two-chip Microcavities for Filter Applications in WDM Systems,”IEEE Photonics Technology Letters, vol.12,no.11,pp.1522-1524,Nov.200
4. J.H.Jerman, D.J.Clift and S.R.Mallinson,“A miniature Fabry-Perot interferometer with a corrugated silicon diaphragm support”Sensors and Actuators A,29(1991)151-158
5. James F.Klemic, J.Marcos Sirota, M.Mehregany,“Fabrication issues in micromachined tunable optical filters,”SPIE Vol.2639,p89-100
6. 李正中, “薄膜光學與鍍膜技術,” 藝軒圖書出版社, p.144-145 (2002)
7. 松本正一,角田市良,“液晶之基礎與應用,”國立編譯館, p1-10(1996)　
8. AMNON YARIV, POCHI YEH, “Optical Wave in Crystals,”美亞書版, p84-88
9. Eugene Hecht, “OPTICS,”Nancy Gee, p421-425(2002)
10. 趙凱華, 鍾錫華, “光學,”儒林出版社, p346-357(1997)

指導教授

張正陽(Jenq-Yang Chang)

審核日期

2003-7-16

推文