運用即時製程統計管理系統強化廠務監控系統以提升半導體廠廠務系統供應可靠度及安全性的研究

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温國清(KUO-CHING WEN) 查詢紙本館藏

畢業系所

通訊工程學系在職專班

論文名稱

運用即時製程統計管理系統強化廠務監控系統以提升半導體廠廠務系統供應可靠度及安全性的研究
(Study on Real Time SPC enhance FMCS Semiconductor Plant for Safety and Reliability)

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摘要(中)

簡稱R的某半導體廠導入SPC (Statistical Process Control system) 系統，輔助廠務監控系統FMCS (Facility Monitoring and Control System) 提升預警功能。結果成效不彰，主因是無效警報(False alarms)過多，工程師處理無效警報負荷過大。
如何使無效警報數量降低到參與人員可以接受的水位，讓系統在真實警報不遺漏之下，發揮應有的預警功能，是本文研究探討的主題。本文將說明R廠如何運用訊號偵測原理 (Signal Detection Theory) 的概念，提出新模型改善原有SPC系統，並結合異常事故管理審查機制，進一步強化新模型，並以實廠數據模擬、驗證新模型可有效控制無效警報數量，並且不會削弱原本預警功能，達到運用即時製程統計管理強化廠務監控系統以提升半導體廠廠務系統供應可靠度及安全性的目標。

摘要(英)

A semiconductor factory named R introduced a SPC (Statistical Process Control system) system into the monitoring system of the facility for its utility quality control. Too many False alarms make engineers overloaded. Eventually, the SPC system cannot function as expected.

How to reduce the number of false alarms to an acceptable level under the condition of none real alarms compromised is the main topic of this study. This thesis proposes a new model explaining how to make use of Signal Detection Theory method to improve the old SPC systems. Moreover, I also embed an abnormal event management reviewing mechanism to perfect the new model. The performance of new model is verified by real data simulation. The simulation results show the model capability of controlling the number of false alarms without downgrading the original warning functions of the system. The new model is proven to be a better feasible system that can strengthen the FMCS (Facility Monitoring and Control System). The proposed real-time statistical process control system is on the way to improve the reliability and the safety of the semiconductor plant R.

This thesis proposed some useful information for the company which introduces the SPC into their facility monitoring program.

關鍵字(中)

★ 製程統計管理系統
★ 廠務監控系統

關鍵字(英)

★ SPC
★ FMCS

論文目次

摘要 ii
Abstract iii
目錄 iv
圖目錄 vi
表目錄 vii
第一章緒論 1
1-1 研究背景與動機 1
1-2 研究目的 1
1-3 研究架構與流程 2
1-4名詞解釋 4
第二章系統介紹及實質問題 6
2-1 SPC 6
2-1-1 SPC概述[1] 6
2-1-2 SPC技術原理 6
2-1-3 常用的管制圖 7
2-1-4 半導體廠應用SPC的概況 8
2-2 FMCS半導體廠務監控系統 8
2-4廠務SPC執行上實質的困難與問題 10
2-5廠務SPC 系統改善建議 13
第三章 Real Time SPC結合FMCS的新模型 14
3-1 研究方法 15
3-2 研究步驟 16
3-2-1 系統及資料模擬詳細說明 17
3-3模型分析及驗證 21
3-3-1 各課警報總量分析 21
3-3-2 每班處理SPC警報所需的人員負荷分析 22
3-3-3 運用尼曼皮爾森引理策略放寬管制界線分析 23
3-3-4 新模型模擬管制圖個案分析 24
第四章建立製程偏移管理審查機制以強化新模型 27
4-1 受控點生命週期 27
4-2 製程偏移管理審查流程 28
4-3 強化新模型 29
第五章研究結果與討論 30
5-1 研究結果 30
5-1-1降低無效警報數量 30
5-1-2確保真實警報不遺漏 31
5-1-3實廠測試 32
5-2 問題發現 33
5-3 導入廠務SPC潛在運轉效益 34
5-4 總結 34
參考文獻 35

參考文獻

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[11] 經濟部技術處,“統計製程管制在品質提升與確保之應用研討會訓練教材,”工研技術研究院，2003.
[12] 經濟部技術處,“統計製程管制基礎應用訓練課程,”工研技術研究院。
[13] 經濟部技術處,“統計分析工具基礎應用訓練課程,”工研技術研究院。
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[15] 張國棟/邱培其,“統計製程管制與軟體應用,”中國生產力中心，2004。

指導教授

賀嘉律(C.L.Ho)

審核日期

2015-6-25

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