以模擬退火法推算薄膜之光學常數

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姓名

蕭家鼎(Chia-Ting Hsiao) 查詢紙本館藏

畢業系所

光電科學與工程學系

論文名稱

以模擬退火法推算薄膜之光學常數

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摘要(中)

由於在光學鍍膜中，量測或了解所製鍍膜層之光學常數為一個重要的問題。在多層膜方面，橢圓偏振法為常利用於推算光學常數的方法，但因橢圓偏振儀價格昂貴以及操作及分析困難，故本文利用光譜儀所量測到之穿透光譜，及搭配上演算法之模擬退火法，能成功的推算出已知精確折射率以及精確消光係數之多層膜的各層厚度值，及能推算未知折射率(不包含色散)之粗略折射率以及粗略厚度値。
本文採用C++ Builder 5.0程式語言作為程式開發之工具並且完成人性化介面之程式，在輸入所知之光學常數初始値之後，能簡易的得到欲求之光學常數值。

關鍵字(中)

★ 薄膜
★ 模擬退火法
★ 光學常數

關鍵字(英)

論文目次

摘要 I
致謝 II
目錄 III
圖目錄 IX
表目錄 XI
第二章多層膜之光學常數 4
2-1基本理論 4
2-2垂直入射單界面的穿透與反射 8
2-3單層膜的穿透率與反射率 10
2-4多層膜的穿透率與反射率 14
第三章模擬退火法 15
3-1退火的物理過程 15
3-2 Metropolis演算法 18
3-3 模擬退火法 19
第四章以模擬退火法推算多層膜之光學常數 21
4-1 評比函數 22
4-2 模擬退火法計算多層膜之光學常數 23
第五章實驗與誤差分析 26
5-1未知光學常數求膜厚之AR實例 26
5-2已知光學常數求膜厚之AR實例 30
5-3已知光學常數求膜厚之Edge-Filter實例 39
第六章結論 44
參考文獻 45

參考文獻

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指導教授

李正中(Cheng-Chung Lee)

審核日期

2006-1-24

推文