雙頻雷射共光程外差干涉橢圓儀

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姓名

鄭家麟(CHIA-LIN CHENG) 查詢紙本館藏

畢業系所

光電科學與工程學系

論文名稱

雙頻雷射共光程外差干涉橢圓儀
(Two-frequency common-path optical heterodyne ellipsometry)

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摘要(中)

利用線偏振光入射到介質表面，會造成反射光偏振態改變的特性所發展出的量測技術為橢圓偏振儀。本文主要發展出一種創新的雙頻率雷射共光程外差干涉橢圓儀，它在不需要轉動光學元件的條件下，利用電光調製器所產生的雙頻雷射光源之外差干涉訊號為時間起始零點，並連續測量經由介面反射後在四個特定時間點的外差干涉訊號強度，經由所推導的理論可計算出相對應的橢圓參數Ψ(PSI)和Δ(DELTA)，而可獲得SiO2/Si標準片薄膜的厚度值。最後由實驗結果可以驗證出本方法的理論推導是正確的。

關鍵字(中)

★ 共光程
★ 外差干涉
★ 橢圓儀

關鍵字(英)

★ common-path
★ optical heterodyne
★ ellipsometry

論文目次

摘要 I
目錄 II
圖表索引 IV
第一章緒論 1
1.1 簡介 1
1.2 研究內容 2
第二章基礎原理 3
2.1 光在空間中的電場理論 3
2.2 瓊斯向量(Jones vector) 7
2.3 橢圓特性參數(Ψ，Δ)的定義 8
2.3.1 (Ψ、Δ)與膜厚的關係 11
2.4 外差理論(heterodyne theorem) 14
2.5外差移頻技術簡介 15
2.5.1電光調製器(electro-optic modulators EOM) 18
第三章雙頻雷射共光程外差干涉橢圓儀 22
3.1實驗系統架設 22
3.2實驗理論推導 24
3.3時間起始點確認 28
3.4實驗流程 29
3.5實驗結果 31
3.6討論 33
第四章結論 35
參考文獻 37

參考文獻

參考文獻
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[14] Matlab計算程式,交大光電所趙于飛教授。

指導教授

游漢輝、周晟
(Hon-Fai Yau、Chien Chou)

審核日期

2006-1-21

推文