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姓名	林彥男(Yan-nan Lin)  查詢紙本館藏	畢業系所	光電科學與工程學系
論文名稱	微米金屬光柵對氮化銦鎵多重量子井發光效率之研究 (The Study of Luminescence Efficiency of InGaN MQWs by Using with Micron Metal Grating)
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摘要(中)	在本論文中，我們簡述發光二極體的發展，為了提高發光二極體的發光效率，利用電磁波與金屬表面自由電子交互作用之所產生的表面電漿子，進而對表面電漿與發光主動層之共振現象進行相關的研究。我們在氮化銦鎵多重量子井表面製作不同深度的微米尺度光柵，並且在這些光柵鍍上不同厚度的銀薄膜。量測與紀錄氮化銦鎵多重量子井發光元件在不同結構下光激發螢光光譜，發現微米尺度光柵的深度愈深，亦即越接近主動層時，則光激發螢光強度就愈強；在不同深度的光柵上鍍銀薄膜後，當金屬薄膜愈靠近主動層時其發光效率之提升愈顯著。我們可以確信金屬薄膜與主動層之間距對於表面電漿共振現象有密切的關係。另外隨著銀薄膜的厚度增加，整體發光強度會因銀薄膜的穿透率而下降。由此可知，結構參數的設計對於表面電漿在發光元件中扮演的角色有著決定性的影響，若能掌握相關設計，將能有效提升發光元件之發光效率。
摘要(英)	In this thesis, we sketch the development of LED. In order to improve the luminescence efficiency of LED, we utilized the effect of surface plasmon. We fabricated gratings with variable periods and depths onto the surface of InGaN MQWs, and deposited the silver thin films of variable thickness on these gratings. Then we measured the photo- luminescence (PL) spectra of InGaN MQWs with surface micro-gratings coated with the silver thin films of variable thickness. We found that deeper depth of this grating, the PL enhancement was stronger. In addition, after the deposition of silver thin film on these gratings with variable depths, the luminescence efficiency enhancement was more apparent when the silver thin films were closer to InGaN MQWs. We can be sure that the distance between silver thin film with InGaN MQWs has close relations to the coupling effect of surface plasmon. The luminescence efficiency decreased with increasing the thickness of silver thin films, due to the transmittance of silver thin film was lower. From all the results, we can find out that the surface plasmon effect related with light emitters was depended on the parameters of the added structures. If these structures can be well designed, we will have a chance to improve the luminescence efficiency of LED.
關鍵字(中)	★ 表面電漿 ★ 發光二極體	關鍵字(英)	★ surface plasmon ★ LED
論文目次	摘要 I 英文摘要 II 致謝 III 目錄 IV 圖目錄 VI 表目錄 XI 第一章 導論 1 1-1 發光二極體之發展概述 1 1-2 研究動機 4 1-3 研究方法 6 第二章 表面電漿發光二極體之研究回顧 7 2-1 發光二極體發光機制與效率之探討 7 2-2表面電漿之激發與再輻射[10-14] 13 2-3 表面電漿與發光二極體耦合能力之文獻回顧與探討 20 第三章 發光元件之設計、製作與量測 24 3-1 元件設計 24 3-2 氮化銦鎵多重量子井的磊晶結構 25 3-3 元件之製作流程 26 3-4 量測系統 30 3-4-1 場發射掃描式電子顯微鏡(Field Emission Scanning Electron Microscope System，FE-SEM) 31 3-4-2 原子力顯微鏡系統(Atomic Force Microscope System，AFM) 32 3-4-3 光激發螢光光譜量測系統（Photoluminescence Measurement System，PL） 32 第四章 實驗結果與討論 37 4-1 微米尺度光柵之檢測 37 4-2 金屬光柵對之氮化銦鎵多重量子井之光激發螢光光譜 44 4-3 結果分析與討論 58 第五章 結論與未來展望 73 參考文獻 75
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指導教授	張正陽(Jeng-Yang Chang)	審核日期	2007-7-17
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