無塵室揮發性有機污染物防制對策的探討

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姓名

陳志鈺(Zhi-Yu Chen) 查詢紙本館藏

畢業系所

環境工程研究所

論文名稱

無塵室揮發性有機污染物防制對策的探討
(A Study of the Prevent Countermeasures of Volatile Organic Compounds in Clean Rooms)

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摘要(中)

隨著世代變化與科技進步，人員於無塵室從事作業機會也相對提升，洩漏或逸散所產生的揮發性有機氣體污染物會造成經濟面、社會面或環境面的衝擊，且若未能採取事前的危害分析與防制對策擬訂，通常異常事件會不斷的發生。事前的危害分析與防制對策擬訂，主要在找出揮發性污染物的可能來源，並對污染來源進行事前的危害預防、事中的緊急應變與事後的補救措施，這樣分析與防制才是正確的做法。因此本研究主要應用系統化的概念與原則，建立具體可行的無塵室揮發污染源分析與防制的方法，包含一開始的無塵室製程與活動界定，分析製程與活動的組成單元，每個組成單元的輸入、輸出、運作程序與作用機制，並對可能產生的揮發性污染原因、可能造成的揮發物污染危害與影響層面進行分析，最後於事前擬訂事前的預防、事中的緊急應變與事後的補救。考量現實面經費有限情況下，亦將探討危害機率與成本提供上位者決策時的參考依據。本研究利用晶圓封裝廠無塵室進行案例研究，應用建立的分析方法與防制對策有效性，結果顯示本研究建立的系統分析方法與防制對策，可有效分析出無塵室的揮發污染源及預防事件的發生，達到危害管理預防或是降低發生的目的。

摘要(英)

With global changes and technological advances, opportunities for personnel work in the clean room opportunities also rise. Volatile Organic Compounds (VOCs) leakages and fugitive emissions may cause serious social, economic and environmental impact. Often abnormal event will occur if hazard analysis were not conducted beforehand and pollution control mechanism planned. One should use hazard analysis to find sources of pollutants, and to control thepollutants in elimination of hazards, during-emergency response situations, and postremedial measures. This analysis and control is the most effective approach. This study applies systematic concepts and principles to establish a realistic method in clean room source of pollution analysis and pollution control strategy planning. The first step is to, define the clean room manufacturing processes and activities, analyze component and structure in the processes. The structure analysis includes input, output, operational procedures, and activation mechanism. The next step is to analyzethe possible causes of VOCs pollution, potential consequences and impact. The final step is to design the pollution source control mechanism. planning control sources of pollution in pre- hazard prevention, during- emergency response, and after- remedial measure. Consider the actual cost is limited, provide hazard probability and cost information for company manager to decision. In this study, the Wafer Level Chip Scale Packaging is the target process. Effectiveness of the proposed hazard analysis and control planning methodology is verified. The results show that pollution source analysis and hazard management approach adopted in this study can effectively analyze clean room VOCs pollution and prevent the occurrence of hazardous events and accidents.

關鍵字(中)

★ 事前
★ 危害分析
★ 危害管理
★ 系統分析
★ 揮發性有機氣體

關鍵字(英)

★ beforehand
★ hazard analysis
★ hazard management
★ system analysis
★ Volatile Organic Compounds

論文目次

摘要 i
Abstract ii
誌謝 iii
目錄 iv
表目錄 v
圖目錄 vi
第一章前言 1
1.1 研究緣起 1
1.2 研究目的 2
第二章文獻回顧 3
2.1 無塵室揮發污染物危害與管理現況與問題 3
2.2 揮發性污染物相關管制不足問題原因 9
2.3 事前危害分析與管理解決問題對策 15
2.4 系統分析概念與應用 16
第三章研究方法 19
3.1 名詞界定 19
3.2 研究流程與內容 22
3.3 系統界定 23
3.4 異常與危害分析 25
3.5 防制對策擬訂 32
3.5.1事前的危害預防 33
3.5.2事中的緊急應變 34
3.5.3事後的補救措施 36
3.5.4預防設施決策選用 38
3.6 案例應用 39
第四章結果與討論 43
4.1 晶圓封裝廠無塵室系統界定 43
4.1.1小結 50
4.2 晶圓封裝廠無塵室異常與危害分析 50
4.2.1異常事件分析 50
4.2.2可能產生危害分析 51
4.2.3危害影響程度分析 55
4.2.4無塵室揮發污染源分析結果之探討 57
4.2.5小結 61
4.3 防制對策擬訂 61
4.3.1事前的危害預防 61
4.3.2事中的緊急應變 62
4.3.3事後的補救措施 63
4.3.4預防設施決策之探討 64
4.3.5小結 69
4.4 系統方法與現行方法差異探討~某事件案例為例 70
4.4.1小結 71
第五章結論與建議 72
5.1 結論 72
5.2 建議 72
參考文獻 74
附錄一無塵室揮發性污染來源分析及防制對策擬訂分析表 77
附錄二危害預防效益決策樹 97

參考文獻

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指導教授

廖述良

審核日期

2017-7-26

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