Rapid thermal annealing effects on the structural and nanomechanical properties of Ga-doped ZnO thin films

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題名:	Rapid thermal annealing effects on the structural and nanomechanical properties of Ga-doped ZnO thin films
作者:	鄭憲清;Jian, S.-R.;Chen, G.-J.;Wang, S.-K.;Lin, T.-C.;Jang, J.S.-C.;Juang, J.-Y.;Lai, Y.-S.;Tseng, J.-Y.
貢獻者:	工學院材料科學與工程研究所
關鍵詞:	Cross-disciplinary physics: materials science;rheology;Exact sciences and technology;Materials science;Methods of deposition of films and coatings;film growth and epitaxy;Physics;Surface treatments
日期:	2013-09-25
上傳時間:	2026-04-23 11:43:38 (UTC+8)
出版者:	Elsevier;Amsterdam: Elsevier
摘要:	出版者： Amsterdam: Elsevier 出版日期： 2013-09-01 出處： Surface & coatings technology, 2013-09, Vol.231, p.176-179 版權： 2014 INIST-CNRS 識別號： ISSN: 0257-8972 識別號： DOI: 10.1016/j.surfcoat.2012.06.060 識別號： CODEN: SCTEEJ
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